1-4 用途別測定方法
1
形状 そり測定方法
・
商品紹介
■ 形状 そり測定アプリケーション
・
セラミックシャフトの形状測定 シートエッジ部のそり測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
１軸 ス キ ャ ン 方 式
スキャニングにより連 続した波形データから各種形状を求めます 。
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
キッ
ャ プ部
スキャニング
波形データ
ピー ピーク2
ク1
応用実績
ボトム1
ボトム2
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
ピーク3 ピーク4
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
透 過 型 ２ヘ ッド
ワ ークが左 右に 振れても
（ A ＋B ）は一定なので
Ｃ フレを吸 収し ます 。
Ｌ
Ａ Ｂ
幅 L ＝C −（A ＋ B ）
コントロ ーラで
自動 計 算します。
1-17
1-4 用途別測定方法
1
形状 そり測定方法
・
商品紹介
■ 形状 そり測定アプリケーション
・
セラミックシャフトの形状測定 シートエッジ部のそり測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
１軸 ス キ ャ ン 方 式
スキャニングにより連 続した波形データから各種形状を求めます 。
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
キッ
ャ プ部
スキャニング
波形データ
ピー ピーク2
ク1
応用実績
ボトム1
ボトム2
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
ピーク3 ピーク4
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
透 過 型 ２ヘ ッド
ワ ークが左 右に 振れても
（ A ＋B ）は一定なので
Ｃ フレを吸 収し ます 。
Ｌ
Ａ Ｂ
幅 L ＝C −（A ＋ B ）
コントロ ーラで
自動 計 算します。
1-17
1-4 用途別測定方法
1
形状 そり測定方法
・
商品紹介
■ 形状 そり測定アプリケーション
・
セラミックシャフトの形状測定 シートエッジ部のそり測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
１軸 ス キ ャ ン 方 式
スキャニ ングにより連 続した波形データから各 種 形 状を求めます 。
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
キッ
ャ プ部
スキャニング
波形データ
ピー ピーク2
ク1
応用実績
ボトム1
ボトム2
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
ピーク3 ピーク4
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
透 過 型 ２ヘ ッド
ワ ークが左 右に振れても
（ A＋B ）は一定なので
Ｃ フレを吸 収し ます 。
Ｌ
Ａ Ｂ
幅 L ＝C −（A ＋ B ）
コントローラで
自動 計 算します。
1-17
1-4 用途別測定方法
1
形状 そり測定方法
・
商品紹介
■ 形状 そり測定アプリケーション
・
セラミックシャフトの形状測定 シートエッジ部のそり測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
１軸 ス キ ャ ン 方 式
スキャニ ングにより連 続した波形データから各 種 形 状を求めます 。
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
キッ
ャ プ部
スキャニング
波形データ
ピー ピーク2
ク1
応用実績
ボトム1
ボトム2
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
ピーク3 ピーク4
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
透 過 型 ２ヘ ッド
ワ ークが左 右に振れても
（ A＋B ）は一定なので
Ｃ フレを吸 収し ます 。
Ｌ
Ａ Ｂ
幅 L ＝C −（A ＋ B ）
コントローラで
自動 計 算します。
1-17
1-4 用途別測定方法
1
形状 そり測定方法
・
商品紹介
■ 形状 そり測定アプリケーション
・
セラミックシャフトの形状測定 シートエッジ部のそり測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
１軸 ス キ ャ ン 方 式
スキャニ ングにより連 続した波形データから各 種 形 状を求めます 。
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
キッ
ャ プ部
スキャニング
波形データ
ピー ピーク2
ク1
応用実績
ボトム1
ボトム2
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
ピーク3 ピーク4
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
透 過 型 ２ヘ ッド
ワ ークが左 右に振れても
（ A＋B ）は一定なので
Ｃ フレを吸 収し ます 。
Ｌ
Ａ Ｂ
幅 L ＝C −（A ＋ B ）
コントローラで
自動 計 算します。
1-17
形状・そり測定方法
形状 そり測定アプリケーション
・ LED透過型方式 三角測距方式 共焦点測定方式
セラ ッ シ フ
ミ ク ャ トの形状測定 ゴムローラの偏心測定 プル ッ
ト プの残厚測定
代表的な形状 そり測定方法を２通り紹介します。
・
1 1 軸 ス キャン 方 式
スキャニングにより連 続した波 形データから各 種 形 状を求めます 。
反射タイプ 透過タイプ
波形コントローラ RJ
波形コントローラ RJ
ビンの
データ収集機 NR
データ収集機 NR キッ
ャ プ部
スキャニング
メシ
カ ャーシ
スキャニング
波形データ
ピーク1 ピーク2
ワークをセンサで
波形データ
手順 1
スキャニング
ピーク
ボトム1
そり量 ボトム2
測 測定データを連続した波形データにします。
定
値
応用実績
ピーク3 ピーク4
ボトム
手順 2 演算処理 スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
波形コントローラを用いて、
になります。波形コントローラを用い
ピーク、 トムを求め、 り量を割り出します。
ボ そ
時間
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
同じ手順で、 各種形状測定が行なえます。
2 2 軸 ス キャン 方 式
精密ステージをピッチ送りしてX 、（ステージ） Z 測 定器 ）
Y 、（ のデータを同時に取り込み、 次 元 形 状を求めます 。
3
精 密 ステージで 、 、 軸を移 動
XY
させ て 測 定 器 の Z 軸 デ ータと同
期させ て 、 データを取り込むこと
で正確な形状測定が行なえます 。
チップ実装面
6
セラミックシャフトの形状測定 ゴムローラの偏心測定 プルトップの残厚測定
形状・そり測定方法
LED透過型方式 三角測距方式 共焦点測定方式
形状・そり測定アプリケーション
代表的な形状・そり測定方法を２通り紹介します。
スキャニングにより連続した波形データから各種形状を求めます。
1 1 軸 ス キ ャ ン 方 式
メカシャーシ
スキャニング
データ収集機 NR
波形コントローラ RJ
ピーク
ボトム
そり量
時間
測
定
値
ビンの
キャップ部
波形データ
波形データ
ピーク1
スキャニング
ボトム2
ボトム1
ピーク2
ピーク3 ピーク4
データ収集機 NR
波形コントローラ RJ
反射タイプ 透過タイプ
スキャニング速度を一定間で制御す
ることで、幅方向の寸法測定も可能
になります。波形コントローラを用い
れば、幅寸法も自動測定が可能です。
測定データを連続した波形データにします。
ワークをセンサで
スキャニング
手 順 1
波形コントローラを用いて、
ピーク、ボトムを求め、そり量を割り出します。
同じ手順で、各種形状測定が行なえます。
演 算 処 理手 順 2
応用実績
精密ステージをピッチ送りしてX、Y（ステージ）、Z（測定器）のデータを同時に取り込み、3次元形状を求めます。
2 2 軸 ス キ ャ ン 方 式
精 密ステージで、X 、Y 軸を移 動
させて測 定 器 の Z 軸データと同
期させて、データを取り込むこと
で正確な形状測定が行なえます。
チップ実装面
6
［ 高さ そり ］
・ 基板上のチップ高さ、
メモリーカード
OUT01 GO
14.421 測定中
Program01 [mm]
ZERO
そり測定
OK
30.000mm X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO
OUT2 GO
プロフ ル上の 任意 の範囲で測
ァイ
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
定ポイ ト
ン を指定します。 同時に最
OUT6 GO
OUT7 GO
大8カ所のポイ トが指定でき、
ン そ
OUT8 GO
全OUT
れらの演算をする と
こ も可能です。
トリガ間隔
5 ms
-30.000mm
測定時間
-20.000mm 20.000mm 5 ms
① ②
③
OUT 1 : ①（チップ高さ 1）
OUT 2 : ②（チップ高さ 2）
メモリーカード
OUT01 GO
14.421 測定中
OUT 3 : ① -②
Program01
（チップ傾き）
[mm]
ZERO
OK
30.000mm X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO
OUT 4 : ③ ピーク高さ（チップピーク高さ） OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT 5 : ③ボトム高さ
（チップボトム高さ） OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
OUT 6 : OUT 4 - O UT 5
（チップそり） トリガ間隔
5 ms
-30.000mm
測定時間
-20.000mm 20.000mm 5 ms
メモリーカード
測定中
Program01
OK
5.000 GO
OUT1 HI 16.000
LO -5.000
[mm]
ZERO
3.500 GO 16.000 OUT1 GO
HI
OUT2
-5.000
[mm] LO OUT2 GO
1.500 GO OUT3 GO
HI
OUT3 16.000
LO
[mm] -5.000 OUT4 GO
OUT5 GO
9.260 GO HI 16.000
OUT4
LO -5.000
[mm] OUT6 GO
OUT7 GO
6.100 GO HI
OUT5 16.000
LO -5.000 OUT8 GO
[mm]
全OUT
3.160 GO HI
OUT6 16.000
LO
[mm] -5.000
1.070 GO
OUT7 16.000
HI
-5.000
[mm] LO トリガ間隔
5 ms
2.455 GO
OUT8 HI 16.000
測定時間
LO -5.000
[mm]
5 ms
メモリの金端子高さ そり測定
・
［ 幅 段差 ］
・ 自動車の ドア
メモリーカード
OUT01 GO
10.652 測定中
Program01 [mm]
ZERO
すき
・ ま幅 段差測定
OK
30.000mm X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO
OUT2 GO
様々な色の自動車に対応し測定
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
します。 ②はそれぞれの平均
①、
OUT6 GO
OUT7 GO
高さを測定値と ①-② の演算を
し
OUT8 GO
全OUT
③
行う と
こ で段差を測定します。 は、
プロフ イ
ァ ルの形状の変曲点を ら
と
トリガ間隔
5 ms
-30.000mm
測定時間
え、幅を測定します。
-20.000mm 20.000mm 5 ms
① ③ ②
OUT 1 : ① -②（ドア段差）
OUT 2 : ③（ドアすきま幅）
メモリーカード
OUT01 GO
10.000 測定中
Program01 [mm]
ZERO
OK
30.000mm X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
トリガ間隔
5 ms
-30.000mm
測定時間
-20.000mm 20.000mm 5 ms
ゴムシートの重なり幅、段差測定
業界別アプ ケーシ ン
リ ョ
スポットタイプ
シリコンウエハ厚み測定 ディスペンサの高さ制御 スピーカーコーンの振幅測定
ガラス越しのピン高さ測定 基板のそり測定 モーター軸の揺れ測定
半 導体 液晶
・ 電子部品 電気製品
ガラス上シール材の幅、高さ測定 クリーム半田形状・高さ測定 リチウムコイン電池の形状測定
メモリーカード メモリーカード メモリーカード
OUT01 OUT01 OUT01
GO GO GO
0.500 0.500 2.500
測定中 測定中 測定中
Program01 Program01 Program01
[mm] [mm] [mm]
ZERO ZERO ZERO
OK OK OK
30.000mm 30.000mm 30.000mm
X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO OUT1 GO OUT1 GO
OUT2 GO OUT2 GO OUT2 GO
OUT3 GO OUT3 GO OUT3 GO
OUT4 GO OUT4 GO OUT4 GO
OUT5 GO OUT5 GO OUT5 GO
OUT6 GO OUT6 GO OUT6 GO
OUT7 GO OUT7 GO OUT7 GO
OUT8 GO OUT8 GO OUT8 GO
全OUT 全OUT 全OUT
トリガ間隔 トリガ間隔 トリガ間隔
10 ms 10 ms 10 ms
-30.000mm -30.000mm -30.000mm
測定時間 測定時間 測定時間
-20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm
30 ms 30 ms 30 ms
高さ/幅 2次元タイプ
6
業界別アプ ケーシ ン
リ ョ
スポットタイプ
シリコンウエハ厚み測定 ディスペンサの高さ制御 スピーカーコーンの振幅測定
ガラス越しのピン高さ測定 基板のそり測定 モーター軸の揺れ測定
半 導体 液晶
・ 電子部品 電気製品
ガラス上シール材の幅、高さ測定 クリーム半田形状・高さ測定 リチウムコイン電池の形状測定
メモリーカード メモリーカード メモリーカード
OUT01 OUT01 OUT01
GO GO GO
0.500 0.500 2.500
測定中 測定中 測定中
Program01 Program01 Program01
[mm] [mm] [mm]
ZERO ZERO ZERO
OK OK OK
30.000mm 30.000mm 30.000mm
X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO OUT1 GO OUT1 GO
OUT2 GO OUT2 GO OUT2 GO
OUT3 GO OUT3 GO OUT3 GO
OUT4 GO OUT4 GO OUT4 GO
OUT5 GO OUT5 GO OUT5 GO
OUT6 GO OUT6 GO OUT6 GO
OUT7 GO OUT7 GO OUT7 GO
OUT8 GO OUT8 GO OUT8 GO
全OUT 全OUT 全OUT
トリガ間隔 トリガ間隔 トリガ間隔
10 ms 10 ms 10 ms
-30.000mm -30.000mm -30.000mm
測定時間 測定時間 測定時間
-20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm
30 ms 30 ms 30 ms
高さ/幅 2次元タイプ
6
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