ウエハー除電 No.4
ウエハー除電
除電の概要
搬送途中の接触・摩擦によって発生した静電気を取り除く
ことで静電破壊を防止します。また、ウエハーの帯電によ
って生じるホコリやチリの付着を防止します。
従来までの問題点と対策方法
従来の問題点
除電器による対策が取られていましたが、一般的にクリーンタイプの除電器は、エア流量が少量に抑えら
れており、除電速度が遅くなるケースがありました。また、除電器を設置することでクリーンルーム内の
層流を乱す問題もありました。
対策方法
クリーンルーム内で使用することを想定した、 リーンモデル SJ-HV シリーズによって除電時間と乱流化
ク
の問題を解決することができます。
キーエンスのノウハウ
SJ-HV シリーズ＋層流アシストパーツで
秘 クリーン除電！！
テ ク ニッ ク
SJ-HV シリーズは I.R.G.構造と Dual I.C.C.機能によって従来比 5 倍の除電時間を達成しました。 リ
ク
ーンルーム内でも高速除電が可能です。
また、クリーンルーム内での使用を想定し、層流をサポートする専用アシストパーツをご用意しまし
た。アシストパーツを装着することでクリーンルームのダウンフロー下でも層流を乱すことなく除電
できます。
層流アシストパーツ
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「静電気・除電器 に関 する最 新情報 はこちら」 静 電気対 策・クリーン機 器オンライン
0120-66-3000
技 術相談、 お問合 せ 株式会社キーエンス
Marking Test Report
テスト 印 字 報 告 書
【シリコンウエハへのマーキング】
【使用機種】MD-S9910
www.keyence.co.jp/marking
Marking Test Report テスト印 字 報 告 書
【シリコンウエハへのマーキング事例】
■ご依 頼内容
■ワーク全 体 画 像
シリコンウエハバックサイドへの印字
■対 象ワーク
シリコンウエハ（12インチ）
■テスト内容
ＷＬ-ＣＳＰへの型式、ロットＮＯの印字
■使 用機 種
ＳＨＧ（グリーン）レーザ
■清書印字画 像
印字部拡大画像
パーティクルを抑えるため、極力熱ダメージを抑えた
マーキングをしています。
スポット可変機能にてデフォーカスしパワー密度を調
整しています。
【 印字パターン例】
黒マーキング
レーザスポットを調整し、
・ 白 黒マーキングの使い分けを行ないます。
納入先の要望により使い分けが可能です。
スポット可変機能は、位置精度そのままにレーザスポッ トを調整できるため
１台で簡単に印字条件を使い分けることができます。
白マーキング
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【ウエハへのマーキングでの要望点】
①印字カス（パーティクル）を出したくない
②エリア全面で高精度なマーキングをしたい
③ウエハの反りに対応したい、 割りたくない
④納入先に合わせた視認性の印字がしたい
①印字カス（パーティクル）を出したくない
周辺への飛び散りを抑えたい。
印字深さを数μｍ以内に抑えたい。
従 来問 題 点
・洗浄工程でもパーティクルが落ちない。
・弱いパワーだと印字カスレ、ムラが発生し不安定。
②エリア全面で高精度なマーキングをしたい
エリアの中心と端で同等の品質にしたい。
エリアの端での位置ズレ、位置調整の手間をなくしたい。
従 来問 題 点
・印字エリアの中心しか使えないため搬送装置が必要。
タクトアップ、コストダウンが困難。
・均等配置をしてもエリアの端で微妙な誤差が生じるため、
個別に位置調整が必要。
③ウエハの反りにも対応したいし、割りたくない
個々の反りのバラつきを補正し、精度良くマーキングしたい。
物理的に押さえる事で製品にダメージを与えたくない。
従 来問 題 点
・物理的に押さえた際に割れてしまう。
・完全に平面にならないため精度が出ない。
④納入先に合わせた視認性の印字がしたい
納入先に合わせた視認性のマーキングを簡単に使い分けたい。
従 来問 題 点
・白マーキング用 黒マーキング用それぞれの専用機を配備。
・
・段取り替えの工数が発生。
・条件出しが非常に困難。
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【 M D - S 9 9 0 0のお奨め機能】
■高ピークパワー＆ショートパ ルスレーザ
印 字 品質 熱ダメージを与えないマーキング。
■スポット可変機 能
スポット径を任意に調整し、
浅彫りマーキング可能。
■曲 線 補正機 能
パルスエネルギーを均一に補正。高速、極小文字の際に美麗印字を実現。
■3 次 元制 御
精 度 エリア全面での高精度マーキング 加工が可能。
・
■新パレット印字 機 能
255 255個を一括設定可能。ワーク全長幅を均等配置可能。個々のオフセットを簡単設定。
■エリア補正ソフト
設置後のステージの傾き 歪みを補正可能。
・
■クラス最高パワーリニアリティ
■ 安定性 低いパワーでも ２％を実現。
■長 寿命オートパワーセーブモード
印字中以外はＬＤの負担を低減。
■パワーモニタ内蔵でレーザパワーを自動管 理
測定、補正、異常出力を自動管理し長期安定印字を実現。
■ウエハの 反り』
『 への対応
対応力 個々の反りにも正確に対応した３次元制御マーキングを実現。
■白 黒マーキング自由自在
・ 段取り替え不要、
高精度で任意の視認性を実現。
他にもお役立ち機能が多数あります。
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
キーエンスは最適なマーキングのご提案をいたします。
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【レーザマーカのことならキーエンスにお問い合わせください】
3次元制御グリーンレーザマーカ
3次元制御CO 2レーザマーカ 3次元制御YVO4レーザマーカ
MD-V9900シリーズ MD-S9900シリーズ
ML-Z9500
紫外域 可視域 赤外域
光
波
長
分 (nm) 300 380 400 500 532 600 700 780 800 1064 10600
布
図 波長
波長 波長
1064nm 10600nm
532nm
MD-V9900シリーズ CO2レーザ
MD-S9900シリーズ
www.marking.jp
より詳細な情報は
レーザマーカのプロフェッショナルサイト
「LASER MARKING.jp」でご覧いただけます。
お 問 い 合 わ せ は こちらま で
www.keyence.co.jp/marking
06 - 6325 - 6957 0120 -830 -911
0 - 06 - 6325 - 6957
0発信の場合は、
0をお忘れなく
□ カタログ送付希望 □ 詳細説明希望 □ テスト印字希望 □ 見積り希望 □ 導入予定あり
（ ケ月後）
会社名 所属 役職
・
ふりがな
製造品目
お名前
〒
所在地
( ) ( )
TEL FAX
E-mail
当社は個人情報保護法に関する法令などを遵守し、お客さまの住所 部署 氏名等の個人情報は、
・・ 生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
0120 -830 -911
FIGNA事業部 フリーダイヤル
マーキング機器
〒569-0806 大 阪府高槻市明田町2 - 13 Tel 072 - 686 - 3211 Fax 072 - 686 - 3011 専用ダイヤル
FG7-0089
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16 POINT
ウエハーの飛び出し検 出
鏡 面ワークも大丈夫
長 微小
光沢 距離 段差
装置フレーム（底面）
でDATUMチューニングすれば、
ウエハーのような鏡面ワークも確実に検出します。
仮 に、 処 理されたウエハーが 光を吸 収したと
膜
＜飛び出 し＞
しな ＜飛び出 り＞
しあ しても検出は可能です。
検出内容
ラック内のウエハーの飛び出しを検出します。
17 POINT
ケース内のディスク有 無 確 認
多色 微小 色 の混在や光沢も問題なし
光沢
混在 段差
ケース底 面でD A T U Mチューニングすれば、様々
な色 彩が印 刷されたディスクの微 小 段 差も確 実
に検出できます。
＜OK＞
検出内容
ケース内に、 DやD V Dなどのディスクがきっちり
C
＜NG＞
と納まっているかどうかを確認します。
18 POINT
フォルダ内のボタン電 池 有 無 確 認
傾 いても問題なし
角度 微小
光沢 変化 段差
60万倍光量コントロールのGVシリーズは、傾いた
ワークでも正確に距離を検出します。
検出内容
＜NG＞ ＜OK＞ ＜OK＞
搬 送 用フォルダ内 の ボタン 電 池 の 有 無 確 認を
行います。傾いて入っているものも『有り
（正常）』
と判断します。
9
16 POINT
ウエハーの飛び出し検 出
鏡 面ワークも大丈夫
長 微小
光沢 距離 段差
装置フレーム（底面）
でDATUMチューニングすれば、
ウエハーのような鏡面ワークも確実に検出します。
仮 に、 処 理されたウエハーが 光を吸 収したと
膜
＜飛び出 し＞
しな ＜飛び出 り＞
しあ しても検出は可能です。
検出内容
ラック内のウエハーの飛び出しを検出します。
17 POINT
ケース内のディスク有 無 確 認
多色 微小 色 の混在や光沢も問題なし
光沢
混在 段差
ケース底 面でD A T U Mチューニングすれば、様々
な色 彩が印 刷されたディスクの微 小 段 差も確 実
に検出できます。
＜OK＞
検出内容
ケース内に、 DやD V Dなどのディスクがきっちり
C
＜NG＞
と納まっているかどうかを確認します。
18 POINT
フォルダ内のボタン電 池 有 無 確 認
傾 いても問題なし
角度 微小
光沢 変化 段差
60万倍光量コントロールのGVシリーズは、傾いた
ワークでも正確に距離を検出します。
検出内容
＜NG＞ ＜OK＞ ＜OK＞
搬 送 用フォルダ内 の ボタン 電 池 の 有 無 確 認を
行います。傾いて入っているものも『有り
（正常）』
と判断します。
9
16 POINT
ウエハーの飛び出し検 出
鏡 面ワークも大丈夫
長 微小
光沢 距離 段差
装置フレーム（底面）
でDATUMチューニングすれば、
ウエハーのような鏡面ワークも確実に検出します。
仮 に、 処 理されたウエハーが 光を吸 収したと
膜
＜飛び出 し＞
しな ＜飛び出 り＞
しあ しても検出は可能です。
検出内容
ラック内のウエハーの飛び出しを検出します。
17 POINT
ケース内のディスク有 無 確 認
多色 微小 色 の混在や光沢も問題なし
光沢
混在 段差
ケース底 面でD A T U Mチューニングすれば、様々
な色 彩が印 刷されたディスクの微 小 段 差も確 実
に検出できます。
＜OK＞
検出内容
ケース内に、 DやD V Dなどのディスクがきっちり
C
＜NG＞
と納まっているかどうかを確認します。
18 POINT
フォルダ内のボタン電 池 有 無 確 認
傾 いても問題なし
角度 微小
光沢 変化 段差
60万倍光量コントロールのGVシリーズは、傾いた
ワークでも正確に距離を検出します。
検出内容
＜NG＞ ＜OK＞ ＜OK＞
搬 送 用フォルダ内 の ボタン 電 池 の 有 無 確 認を
行います。傾いて入っているものも『有り
（正常）』
と判断します。
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半 導体製造関連のお客様へ
画像センサ
テクニカル ソリューション
【半導体編】
実績用途例
ウエハ着座確認（中心座標検出）
POINT
新・円検出アルゴリズム
1 （トレンドエッジ機能）搭載
ノッチ部分 背景の変化などのノイズ成分を無視
・ し、ウエハ端面のエッジ成分を安定検出。幾何演
算によりウエハ中心座標 直径などを求めます。
・
POINT
200万画素
2 デジタル転送カメラ
高精度計測、 ワークサイズアップにも対応でき
ます。さらに、200万画素超小型カメラもライン
ナップ。装置のダウンサイジングにも対応します。
ウエハ の 一 部 の 円 弧から POINT
新 統計解析機能搭載
・ 仮想円を求め、 ウエ ハ の
3
中心を出力します。
NG履歴 計測データの蓄積ができます。
・ さら
に、運転中にもNG画面が確認できるため、
ライ
ン稼働中に不良要因追求が可能です。
ウエハマッピング アライメントマーク検出
抜け 倒れ エッジ検出機能でウエ 新方式サーチ 「Shape
ハ の 枚 数 、 置・倒 れ
位 Trax」により、欠損のあ
検査が可能。 るマークや大きさの変
超小型カメラ （12mm わったマークも安定し
□ ） ロボッ
で ト搭 載も て検出できます。
OK 一部欠損
可能です。 また、 白黒反転しても
検出可能です。
反転
翻訳キーワード集
