ICのコプラナリティ測定
移動方向とセンサヘッド
長手方向を垂直取付
ＩＣのピンの反りなどのコプラナリティ測定する際の
設定方法は以下のようになります。
①『初期化』をクリックします。
初期化を実行すると、付属ソフトの設定内容が初期値になります。
②『コントローラへ設定を送信』をクリックします。
共通設定の『サンプリング周期』設定を『５０μｓ』にします。
センサヘッドの取り付けは測定対象物の移動方向に
対してセンサヘッドの長手方向が垂直になるように
取り付けてください。
センサヘッドの取り付け
コプラナリティ測定
準 備
コプラナリティ測 定 の 設 定 方 法
Vol．07ＬＫ-Ｇシリーズサポートシート
設定の初期化1
サンプリング周期の設定2
コントローラの設定
付属ソフトＬＫ−Ｎａｖｉｇａｔｏｒ（ＬＫ−Ｈ１Ｗ）を使用して、
コントローラの設定を行います。
1
移動方向
〈〈 ピンとピンの間部が0付近より大きい場合 〉〉
測定条件：使用センサ ＬＫ-Ｇ３０／ＬＫ-Ｇ３０００Ｖ
ピン１本の幅 約０．２５ｍｍ
移動スピード １００ｍｍ／ｓｅｃ
※移動スピードは高速に出来ます。
（上記は一例です）
コネクタピンのコプラナリティ測定した場合の測定結果です。
各コネクタピンの反り（高度差）が32．6μｍ になりました。
① ＯＵＴ１の平均回数の設定を４回に設定します。
②『コントローラへ設定を送信』をクリックします。
③ センサスポットを各ピンに移動させて、ピン部で受光量が２００付近より小さくなる場合は
ＭＡＮＵＡＬ設定範囲の上限値を大きくします。
また、ピンとピンの間部で受光量が０付近より大きくなる場合はＭＡＮＵＡＬ設定範囲の上限値を小さくします。
※ＭＡＮＵＡＬ設定値を変更した場合は『コントローラへ設定を送信』をクリックしてください。
平均回数の設定5
測定データ
32.62μm1
高度差区分
1
100.00
μm
0.00
-100.00
-12000.00μm
1
※区分1はカーソル1と波形の交点の高度差です。
コプラナリティ測定Vol．07ＬＫ-Ｇシリーズサポートシート 3
移動方向
ピン部
ＡＢＬＥ調整は測定対象物の表面状態に応じて最適な光量と感度に調整する機能ですが、
この機能をマニュアルで調整します。
① センサスポットがピンの中央に当たるように、対象物の移動位置を調整します。
（ピンの中央で静止させます）
② ＡＢＬＥを『ＭＡＮＵＡＬ』にして、『ＡＢＬＥチューニング』をクリックします。
③ＡＢＬＥチューニングの『スタート』をクリックし、ゆっくりした速度（５ｍｍ／ｓｅｃ程度）で対象物を移動させ、
『ストップ』をクリックします。
①『受光波形表示』、『受光データ取得開始』をクリックします。
② センサスポットを各ピンに移動させて、ピン部で受光量が
２００付近、ピンとピンの間部で受光量が０付近であれば
ＡＢＬＥチューニングは完了です。
ピンとピンの間部
数ピンを
ゆっくり移動させます
コプラナリティ測定Vol．07ＬＫ-Ｇシリーズサポートシート
ヘッドＡのＡＢＬＥ調整をＭＡＮＵＡＬチューニングします。3
ＡＢＬＥチューニング後、受光波形を見ながら微調整を行います。4
2
会社名
所在地
業 種
TEL
E-mail
□ 変位計総合カタログ送 付 □ 詳 細 説 明 □ 実 機テスト □ 見積り □ E-mailマガジン配 信
( ) ( )
製造品目
FAX
所属・役職 お名前
フリガナ
〒
FAX No. 06-6379-1130
本ガイドの測定器について、ご希望の□に 印をご記入ください。
K1018T-0019-2
FAXお問い合わせシート レーザ変位測定についてのご質問・資料請求はこのFAXシートでどうぞ
［ レーザ 変 位 測 定 のシステム 構 成 ］
■ 透過タイプ
LS-7000シリーズ
（新原理LED方式）
LS-5000シリーズ
■ 反射タイプ 共焦点方式
■ 反射タイプ 三角測距方式
■ モバイルタイプ■ 小型・絶縁8ch高速マルチタイプ ■ マルチ入力タイプ
LT-9500シリーズ
LK-Gシリーズ
■ 反射タイプ 2次元変位センサ
LJ-Gシリーズ
LKシリーズ
GR-7000 NR-500/600
LBシリーズ
NR-1000/2000
レーザ 測 定 器
レーザ 測 定 器
記 録・観 測
RJ
RD
■ 波形処理タイプ
■ 数値処理タイプ
演 算・制 御
APSULT事業部
本社・研究所／APSULT事業部 〒533-8555 大阪市東淀川区東中島1- 3-14 Tel 06- 6379 - 1131 Fax 06- 6379 - 1130
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川 崎 044- 220- 3011
横浜中央 045- 263- 1311
藤 沢 0466- 29- 0711
厚 木 046- 224- 0911
長 野 026- 237- 0911
松 本 0263- 36- 3911
静 岡 054- 203- 7100
浜 松 053- 454- 0911
豊 田 0565- 25- 3211
安 城 0566- 71- 0011
名古屋 052- 971- 3911
一 宮 0586 - 47- 7511
津 059- 224- 0911
富 山 076- 444-1433
金 沢 076- 262- 0911
岡 山 086- 224- 1911
高 松 087- 834- 8911
広 島 082- 261- 0911
北九州 093- 511- 3911
福 岡 092- 452- 8411
熊 本 096- 278- 8311
滋 賀 077- 526- 8122
京 都 075- 352- 0911
大阪北 06- 6338- 1471
大阪中央 06- 6943- 6111
堺 072- 224- 4911
神 戸 078- 322- 0911
盛 岡 019- 603- 0911
仙 台 022- 224- 0911
山 形 023- 626- 7311
郡 山 024- 933- 0911
宇都宮 028- 627- 1911
長 岡 0258- 38- 5311
高 崎 027- 328- 1911
13
1
4 実績アプリケーション
検 出 概 要
CCDレーザ変位センサ
CCDレーザ変位センサ
進行方向
レーザダブルブランクセンサ
検 出 概 要
ギヤの歯の高さ、振れ測定
鉄板の２枚送り検出を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使用
することで実現します。
ギヤの歯の高さ及び、歯先の振れ測定を、レーザ式変位センサ、グラフ
ィックアナログコントローラ用いて実現します。
グラフィックアナログ
コントローラ
CCDレーザ変位センサ
検 出 概 要
CCDレーザ
変位センサ
CCDレーザ
変位センサ
CCDレーザ
変位センサ
面振れ
CCDレーザ
変位センサ
検 出 概 要
ガラス基板のそり測定
ガラス基板の反りを、レーザ変位計をスキャンすることで測定します。
検 出 概 要
ＤＶＤの面振れ測定
検 出 概 要
ＩＣのコプラナリティ測定
ＤＶＤ用ターンテーブルの面振れ測定を、レーザ式変位センサとアナロ
グコントローラで実現します。
ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位センサを用いて実現しま
す。
シート材の厚み測定
シート材の厚み測定を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使
用することで実現します。
4 実績アプリケーション
■レーザダブルブランクセンサ
・検 出 概 要
鉄板の２枚送り検出を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使用することで実現します。
・使用機種
CCDレーザ変位センサ
■ギヤの歯の高さ、振れ測定
・検 出 概 要
ギヤの歯の高さ及び、歯先の振れ測定を、レーザ式変位センサ、グラフィックアナログコントローラ用いて実現します。
・使用機種
グラフィックアナログコントローラ
CCDレーザ変位センサ
■シート材の厚み測定
・検 出 概 要
シート材の厚み測定を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使用することで実現します。
・使用機種
CCDレーザ変位センサ
■ガラス基板のそり測定
・検 出 概 要
ガラス基板の反りを、レーザ変位計をスキャンすることで測定します。
・使用機種
CCDレーザ変位センサ
■ＤＶＤの面振れ測定
・検 出 概 要
ＤＶＤ用ターンテーブルの面振れ測定を、レーザ式変位センサとアナログコントローラで実現します。
・使用機種
CCDレーザ変位センサ
■ＩＣのコプラナリティ測定
・検 出 概 要
ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位センサを用いて実現します。
・使用機種
CCDレーザ変位センサ
ICのコプラナリティ測定
Q1
A1
レーザ 変 位 計でＩＣピンの 反りの
コプラナリティ測 定を行いたい 。
どのように 測 定すれば
良いですか？
センサヘッドの取り付けは測定対象物（ＩＣ）の
移動方向に対してセンサヘッドの
長手方向が垂直になるように取り付けてください。
センサヘッドの取り付け
ワークが移動すると受光量が大きく変化します。
（ピン部⇒受光あり ピンとピンの隙間⇒受光なし）
レーザ変位計は受光量が大きく変化するワークを高速に移動しながら
測定する場合、測定が不安定になるケースがあります。レーザ変位計
には急激に変化する受光量に追従できる能力が要求されます。
弊社のレーザ変位計ＬＫ−Ｇシリーズは高性能ＣＰＵによるリアルタイ
ム制御により、従来品と比べて高速化しましたので、ＩＣピンのコプラ
ナリティ測定が安定します。
レーザ変位計の必要能力
ICピン
従来のレーザ変位計
測
定
値
［mm］
0.2
0.1
0
-0.1
-0.2
450040003500300025002000150010005000 450040003500300025002000150010005000
移 動 距 離［μm］
ICピンの太さが
バラバラ。
1本検出さえも
できていない。
→高速な光量変化
に追従できていない
ためICピンの最初の
部分が測定できずに、
データが欠けている。
弊社のレーザ変位計
光量制御の高速
応答により、ICピンの
部分がデータ抜けなく
すべて測定できている。
測
定
値
［mm］
0.2
0.1
0
-0.1
-0.2
移 動 距 離［μm］
移動方向とセンサヘッド
長手方向を垂直取付
移動方向
■概略図 ■検出概要
↓
↓
正反射方向
ワークの移動速度が極力遅い箇所で計測してください。
移動速度が速すぎると測定値が安定しない場合があり
ます。
ワークの移動速度は、
５０ｍｍ／秒以下
を目安としてください。
スポット径が最小となるように設置高さを調整します。
①表面にメッキ処理がある場合…
足の部分がメッキ処理されていて、金属光沢が強い場合
センサヘッドを正反射方向に傾けることで安定した検出が
可能になる場合があります。
センサヘッドを正反射方向に傾けます。
（完全に正反射するまで傾けなくてもＯＫです）
②ワークの移動速度
①センサヘッドの設置
センサヘッドの設置位置は、ＩＣの足の部分にレーザ
スポットを当てたときに、最小スポットとなるような距
離に設置してください。
②センサヘッドの設置方向
上記の図のように、移動方向に対して、センサヘッドの
長手方向が垂直になるように設置してください。
■検出を安定させるテクニック
レーザ式変位センサのアナログ出力をグラ
フィックアナログコントローラに入力します。
グラフィックアナログコントローラの公差判
定機能を使用し、１ピンごとの公差判定を
行います。
■導入のメリット
人による抜き取り検査を実施していましたが、測定者による検査のバラツキや工数が問題となっていました。
レーザ式変位センサを導入することで、全数自動検査が可能になり、品質基準を明確にすることが可能になりました。
ＭＥＭＯ
Ｖｏｌ．6 用途別、お役立ち提案書 コプラナリティ編
ＩＣのコプラナリティ測定
ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位セ
ンサを用いて実現します。
■システムの流れ
ＩＣの足の部分でレーザスポットが最小とな
るようにセンサヘッドを設置します。
■検出の注意点
ＩＣ
移動方向
○
移動方向
×
ＩＣ
CCDレーザ変位センサ
グラフィックアナログ
コントローラ
■概略図 ■検出概要
↓
↓
正反射方向
ワークの移動速度が極力遅い箇所で計測してください。
移動速度が速すぎると測定値が安定しない場合があり
ます。
ワークの移動速度は、
５０ｍｍ／秒以下
を目安としてください。
スポット径が最小となるように設置高さを調整します。
①表面にメッキ処理がある場合…
足の部分がメッキ処理されていて、金属光沢が強い場合
センサヘッドを正反射方向に傾けることで安定した検出が
可能になる場合があります。
センサヘッドを正反射方向に傾けます。
（完全に正反射するまで傾けなくてもＯＫです）
②ワークの移動速度
①センサヘッドの設置
センサヘッドの設置位置は、ＩＣの足の部分にレーザ
スポットを当てたときに、最小スポットとなるような距
離に設置してください。
②センサヘッドの設置方向
上記の図のように、移動方向に対して、センサヘッドの
長手方向が垂直になるように設置してください。
■検出を安定させるテクニック
レーザ式変位センサのアナログ出力をグラ
フィックアナログコントローラに入力します。
グラフィックアナログコントローラの公差判
定機能を使用し、１ピンごとの公差判定を
行います。
■導入のメリット
人による抜き取り検査を実施していましたが、測定者による検査のバラツキや工数が問題となっていました。
レーザ式変位センサを導入することで、全数自動検査が可能になり、品質基準を明確にすることが可能になりました。
ＭＥＭＯ
Ｖｏｌ．6 用途別、お役立ち提案書 コプラナリティ編
ＩＣのコプラナリティ測定
ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位セ
ンサを用いて実現します。
■システムの流れ
ＩＣの足の部分でレーザスポットが最小とな
るようにセンサヘッドを設置します。
■検出の注意点
ＩＣ
移動方向
○
移動方向
×
ＩＣ
CCDレーザ変位センサ
グラフィックアナログ
コントローラ
高速・高精度ＣＣＤレーザ変位計 ＬＫ-Ｇシリーズ 高速・高精度ＣＣＤレーザ変位計 ＬＫ-Ｇシリーズ
● チップ部品の立ちや重なりをテーピ
ング前に検出します。
●レーザによる非接触・極小スポット
のため、小型化の進むチップ部品に
ダメージを与えず測定が可能です。
チップ部品の
重なり検出
● 端子間ピッチが０．５ｍｍ以下の精密
コネクタのコプラナリティ測定を行い
ます。
●０．０２μｍの高分解能で測定が可能
です。
● 毎秒50000回の高速サンプリング
により、インラインでの高速測定に
対応します。
精密コネクタの
コプラナリティ測定
● ハイブリッドチップ抵抗の抵抗体の
膜厚を測定します。
● 最高分解能０.0１μｍで測定するこ
とが可能です。
● 高精度ダブルスキャン方式により、
セラミック、抵抗体などの表面の材
質の影響を受けず、安定した測定
が可能です。
チップ抵抗の
抵抗体膜厚測定
● スラリー状の原料をシート状に伸ば
して成型する際の厚み管理を行い
ます。
●ワイドスポット光学系により表面粗
さによる測定値のバラツキを押さえ、
０．０５μｍの高分解能で高精度測定
が可能です。
グリーンシートの
厚み測定
●ピエゾ素子への印加電圧と振幅量
の検査を行います。
● 毎秒50000回の超高速サンプリン
グにより高速で振幅するピエゾ素子
の挙動を正確に把握することが可
能です。
ピエゾアクチュエータの
振幅量測定
● 実装前のＰＣ基板の反り量の測定
を行います。
● ワーク表面をセンシングするＡＢＬＥ
機能により、樹脂部と金属部の色
の影響を受けずに測定が可能です。
基板の反り測定1
4 5 6
2 3
電子部品業界
高速・高精度ＣＣＤレーザ変位計 ＬＫ-Ｇシリーズ 高速・高精度ＣＣＤレーザ変位計 ＬＫ-Ｇシリーズ 高速・高精度ＣＣＤレーザ変位計 ＬＫ-Ｇシリーズ
ダブルスキャンレーザ測定器 ＬＴシリーズ
測 定 器・変 位 セン サ
改善事例集
バックナンバー
