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07
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 1 コプラナ テ 測定
リィ
Ｌ トト



コプラナリティ測 定 の 設 定 方 法

ＩＣのピンの反りなどのコプラナリティ測定する際の
設定方法は以下のよ になり
う ます。




ICのコプラナ テ 測定
リィ




準備

センサヘッドの取り付け 移動方向とセンサヘッド
長手方向を垂直取付
センサヘッドの取り付けは測定対象物の移動方向に
対してセンサヘッドの長手方向が垂直になるように
取り付けてください。




移動方向




コントローラの設定

付属ソフ Ｌ − ａ ｉ ａ ｏ（Ｌ − １Ｗ）
ト Ｋ Ｎ ｖｇ ｔ ｒ Ｋ Ｈ を使用して、
コト ン ローラの設定を行います。


1 設定の初期化
『初期化』をクリ します。
ック
① 初期化を実行すると、付属ソフトの設定内容が初期値になります。


『コントローラへ設定を送信』をクリ します。
ック
②



2 サンプリング周期の設定
共通設定の『サンプリング周期』設定を ０ ｓ 』
『５ μ にします。

07
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 2 コプラナ テ 測定
リィ
Ｌ トト




3 ヘッ のＡＢＬＥ 調整をＭＡＮＵＡＬチューニングします。
ドＡ
Ａ Ｌ 調整は測定対象物の表面状態に応じて最適な光量と感度に調整する機能ですが、
ＢＥ
この機能をマニュアルで調整します。


① センサスポットがピンの中央に当たるように、対象物の移動位置を調整します。
（ピンの中央で静止させます）


②Ａ Ｌ を
Ｂ Ｅ 『ＭＡ Ｕ Ｌ 』
Ｎ Ａ にして、 Ｂ Ｅ チューニング』
『Ａ Ｌ をクリ します。
ック

移動方向




③Ａ Ｌ チューニングの
ＢＥ 『スター をクリ し、
ト』 ック ゆっく した速度 ｍｍ／ ｅ 程度）
り （５ ｓｃ で対象物を移動させ、
『ス ップ』
ト をクリ します。
ック




数ピンを
ゆっ り移動させます
く




4 ＡＢＬＥチューニング後、受光波形を見ながら微調整を行います。
①『受光波形表示』『受光データ取得開始』
、 をクリ します。
ック


② センサスポットを各ピンに移動させて、
ピン部で受光量が
  ２ ０ 付近、
０ ピンとピンの間部で受光量が 付近であれば
０
  Ａ Ｌ チューニングは完了です。
ＢＥ




ピン部 ピンとピンの間部

07
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 3 コプラナ テ 測定
リィ
Ｌ トト



③ センサスポットを各ピンに移動させて、
ピン部で受光量が ０
２ ０付近より小さ なる場合は
く
ＭＮＡ
Ａ Ｕ Ｌ設定範囲の上限値を大き します。
く
  また、
ピンとピンの間部で受光量が 付近より大き なる場合はＭ Ｎ Ａ 設定範囲の上限値を小さ します。
０ く ＡＵＬ く
 ※ＭＡ Ｕ Ｌ 設定値を変更した場合は
ＮＡ 『コントローラへ設定を送信』 リ してく
をク ック ださい。


〈 
〈 ピンとピンの間部が0付近より大きい場合 〉
〉




5 平均回数の設定
① Ｏ Ｔ の平均回数の設定を
Ｕ１ ４回に設定します。




②『コントローラへ設定を送信』 リ します。
をク ック




測定データ

コネク ピンのコプラナリテ 測定した場合の測定結果です。
タ ィ
各コネク ピンの反り
タ （高度差）が32． ｍ にな ま
6μ り した。

測定条件：使用センサ  Ｌ Ｋ-Ｇ ０／Ｌ
３ Ｋ-Ｇ ０ ０
３０ Ｖ 1 1
     ピン 本の幅  約０． ｍｍ
１ ２５ 100.00
μm
     移動スピー ド  １ ０
０ ｍｍ／ ｅ
ｓｃ
     ※移動スピードは高速に出来ます。
      （上記は一例です） 0.00




-100.00
-12000.00 μm



区分 高度差
1 32.62μm
※区分1はカーソル1と波形の交点の高度差です。

［ レーザ 変 位 測 定 のシステム 構 成 ］

レー ザ 測 定 器 演 算・制 御

■ 反射タイプ 共焦点方式
■ 反射タイプ 2次元変位センサ
■ 波形処理タイプ




RJ
LT-9500シ ーズ
リ LJ-Gシ ーズ
リ





■ 透過タイプ
■ 反射タイプ 三角測距方式
■ 数値処理タイプ




LKシ ーズ
リ

LK-Gシ ーズ
リ
RD



LBシ ーズ
リ LS-5000シ ーズ
リ
LS-7000シ ーズ
リ
（新原理LED方式）


記 録・観 測


■ モバイルタイプ
■ 小型・絶縁8ch高速マルチタイプ
■ マルチ入力タイプ

レー ザ 測 定 器



GR-7000 NR-500/600 NR-1000/2000




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0 6 - 6379 - 1130
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熊 谷 048 - 527 - 0311 東 京 03 - 5715 - 6211 厚 木 046 - 224 - 0911 安 城 0566 - 71- 0011 滋 賀 077 - 526 - 8122 岡 山 086 - 224 - 1911
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山 形 023 - 626- 7311
水 戸 029 - 302 - 0811 川 崎 044 - 220 - 3011 静 岡 054 - 203 - 7100 津   059 - 224 - 0911 大阪中央 06 - 6943 - 6111 北九州 093 - 511 - 3911
郡 山 024 - 933 - 0911
柏   04 - 7165 - 7011 横浜中央 045 - 263 - 1311 浜 松 053 - 454 - 0911 富 山 076 - 444 - 1433 堺   072 - 224 - 4911 福 岡 092 - 452 - 8411
宇都宮 028 - 627 - 1911
幕 張 043 - 296 - 7511 藤 沢 0466 - 29 - 0711 豊 田 0565 - 25 - 3211 金 沢 076 - 262 - 0911 神 戸 078 - 322 - 0911 熊 本 096 - 278 - 8311
長 岡 0258 - 38 - 5311
神 田 03 - 5825 - 6211
高 崎 027 - 328 - 1911

海 外 事 業 部   〒533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14  Tel 0 6 - 6379 - 2211 Fax 0 6 - 6379 - 2131
AP8-0128
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。

K1018T-0019-2
Copyright ⃝ 2 008 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
C

1
4 実 績アプリケーション


レ ーザダ ブルブランクセン サ ギヤの 歯 の 高 さ、 れ 測 定
振
検出概要 検出概要
鉄板の２枚送り検出を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使用 ギヤの歯の高さ及び、歯先の振れ測定を、 レーザ式変位センサ、グラフ
することで実現します。 ィックアナログコントローラ用いて実現します。
CCDレーザ変位センサ
CCDレーザ変位センサ




グラフィックアナログ
コントローラ


進行方向




CCDレーザ変位センサ




シート 材 の 厚 み測 定 ガラス 基 板 の そり測 定
検出概要 検出概要
シート材の厚み測定を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使 ガラス基板の反りを、レーザ変位計をスキャンすることで測定します。
用することで実現します。




CCDレーザ CCDレーザ
変位センサ 変位センサ




ＤＶＤの 面 振 れ 測 定 ＩＣのコプラナリティ測 定
検出概要 検出概要
ＤＶＤ用ターンテーブルの面振れ測定を、レーザ式変位センサとアナロ ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位センサを用いて実現しま
グコントローラで実現します。 す。



CCDレーザ
変位センサ
CCDレーザ 面振れ
変位センサ




13

1
4 実 績アプリケーション


レ ーザダ ブルブランクセン サ ギヤの 歯 の 高 さ、 れ 測 定
振
検出概要 検出概要
鉄板の２枚送り検出を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使用 ギヤの歯の高さ及び、歯先の振れ測定を、 レーザ式変位センサ、グラフ
することで実現します。 ィックアナログコントローラ用いて実現します。
CCDレーザ変位センサ
CCDレーザ変位センサ




グラフィックアナログ
コントローラ


進行方向




CCDレーザ変位センサ




シート 材 の 厚 み測 定 ガラス 基 板 の そり測 定
検出概要 検出概要
シート材の厚み測定を、２台のレーザ式の変位センサを挟み込んで使 ガラス基板の反りを、レーザ変位計をスキャンすることで測定します。
用することで実現します。




CCDレーザ CCDレーザ
変位センサ 変位センサ




ＤＶＤの 面 振 れ 測 定 ＩＣのコプラナリティ測 定
検出概要 検出概要
ＤＶＤ用ターンテーブルの面振れ測定を、レーザ式変位センサとアナロ ＩＣのコプラナリティ測定を、レーザ式変位センサを用いて実現しま
グコントローラで実現します。 す。



CCDレーザ
変位センサ
CCDレーザ 面振れ
変位センサ




13

コネクタ製造関連のお客様へ



画像センサ
テクニカル ソリューション

【コネクタ編】
実績用途例①

ピッチとコプラナリティの同時測定
POINT
200万画素・4カメラ接続
1 業 界初「200万画素」カメラ4台同時撮像を
実現。 コプラナリティとピッチ測 定が同 一 の
ステーションでかつ高精度に測定が可能です。
制御はコントローラ1台なので、 低予算で実現
カメラ1 ピッチ測定
： できます。
カメラ1

POINT
高精度な寸法測定
2 高画質なデジタル転送、200万画素カメラや、
安定性の高い独自のエッジ検出方式により、
高精度な寸法測定を実現します。
カメラ2 3 コプラナリティ測定

・： POINT
簡単設定
3
カメラ2
ウィ ドウ一括移動機能により、
ン 従来非常に時間
がかかっていた複数ウィ ドウの位置調整でも、
ン
任意のウィ ドウを一括で移動できるため、
ン 調整
カメラ3
時間を大幅に短縮できます。
さらに1つのウ ン
ィ ドウで最大5000箇所のエッジ
検出ができる「トレン ドエッジ機能」を装備。
今まで必要だった複数のウィン ドウ設定が不要
になります。


実績用途例② 実績用途例③
端子のギャップ測定 コネクタ樹脂部のコゲ ショート検出

・ 1つのウィ ドウで
ン 樹脂部のコゲや汚れ、
ギャップの測定が最高 ショートなどの不良を
5000箇所可能。 傷検査モードを使用し
複数のウィ ドウを作る
ン て検出します。
必要がありません。

Q1
レーザ 変 位 計 で Ｃピン の 反りの
Ｉ

コプラナリティ測 定を行 いたい 。

どのように 測 定 すれば
良 いですか？
ICのコプラナリティ測定




センサヘッドの取り付け
A1 センサヘッドの取り付けは測 定 対 象 物 Ｉ の
（ Ｃ）
移 動 方 向に対してセンサヘッドの 移動方向とセンサヘッド
長手方向を垂直取付
長 手 方 向が垂 直になるように取り付けてください。




移動方向




レーザ変 位 計の必 要 能 力


ワークが移 動すると受 光 量が大きく変 化します。
（ピン部 ⇒ 受 光あり ピンとピンの隙 間 ⇒ 受 光なし）
レーザ変 位 計は受 光 量が大きく変 化するワークを高 速に移 動しながら
測 定する場 合、 定が不 安 定になるケースがあります。
測 レーザ変 位 計
には急 激に変 化する受 光 量に追 従できる能力が要 求されます。
弊 社のレーザ変 位 計ＬＫ−Ｇシリーズは高 性 能Ｃ Ｕによるリアルタイ
Ｐ ICピン

ム制 御により、 来 品と比 べて高 速 化しま
従 したので、Ｃピンのコプラ
Ｉ
ナリティ測 定が安 定します。




 従来のレーザ変位計  弊社のレーザ変位計


0.2
測
0.2
測
ICピンの太さが
定
定
バラバラ。 0.1
0.1
値
値
1本検出さ も
え
で きていない。 ［mm］
［mm］ 光量制御の高速 0
0
応答によ 、 ンの
り ICピ
→高速な光量変化
部分がデータ抜けな く -0.1
-0.1
に追従で ていない
き
すべて測定で ている。
き
ためICピンの最初の
-0.2
-0.2
部分が測定で きずに、
0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500
デー が欠けている。
タ
移 動 距 離［ m］
移 動 距 離［ m］ μ
μ

7
事例 高精度 安定測定における課題と改善

・

従来の問題点

狭ピッチ化、小型化に対して測定器の精度や
安定性が不満。 満足なインライン検査が
できていませんでした。

改善ポイント

ABLEで解決！
新アルゴリズム レーザ変位計により

・ 従来実現できなかった検査が可能に。
従来比90倍のダイナミックレンジをもつABLE方式を搭載
したCCDレーザ変位センサによりインライン測定、 検査が
コ ネクタのコプラナリティ測定  LK- G)
（
行なえるようになり、品質確保と時間短縮に役立ちました。
高速 小スポッ

・ トタイプを使用すれば狭ピッチになるほどより高度な安定
を実現します。



インライ
ン測 インライン測定シリーズ
定 おすすめ機種
シリー 金属 ガラスでも安定 高精度測定

・
・ 幅と高さを瞬時に高精度測定
ズ LK-Gシリーズ LJ-Gシリーズ

■ 高精度CCDレーザ式
■ あらゆる対象物を安定に

■ 超高速 ０ Hzサンプリング
５ｋ 測定 ８

・ ポイント同時判別

■ 高精度±0.02%
■ 高速3.8msサンプリング

■ 高精度±0.1% of F.S.




実例アプリケーション




メモリーカード コネクタ電極モ ールド形状測定 （LJ-G)
リードフレ ーム 上 のチップ高さ測 定 （ L K -G )
モールド後のコネクタ部形状を 次元的に同時測定。
２ 電極とモールドの高さ、
チップと基準面の高さを高速、高精度に測定する必要がありましたが、
幅を同時に測定できるのでモール ド不良が瞬時に、高精度に判別できます。
小スポットタイプを用いて簡単にインライン測定が実現できます。


12

測 定 器・変 位 セ ン サ

改善事例集


チップ部品の ピエゾアクチュエータの 基板の反り測定
1 2 3
重なり検出 振幅量測定

● 実装前のＰＣ基板の反り量の測定
● チップ部品の立ちや重なりをテーピ
● ピエゾ素子への印加電圧と振幅量

を行います。
ング前に検出 ます。
し の検査を行います。

● ワーク表面をセンシングするＡ Ｌ
ＢＥ
● レーザによる非接触・極小スポット 毎秒50000回の超高速サンプリン

●
機能により、樹脂部と金属部の色
のため、小型化の進むチ プ部品に
ッ グにより高速で振幅する ピエゾ素子
の影響を受けずに測定が可能です。
ダメ を与えず測定が可能です。
ージ の挙動を正確に把握するこ とが可
能です。




Ｃ レーザ変位計 ＬＫ-Ｇ リーズ ＬＫ-Ｇ リーズ ＬＫ-Ｇ リーズ
高速 高精度Ｃ Ｄ
・ 高速 高精度Ｃ Ｄ

・ Ｃ レーザ変位計 高速 高精度Ｃ Ｄ

・ Ｃ レーザ変位計
シ シ シ




精密コネクタの チップ抵抗の グリーンシートの
4 5 6
コプラナリティ測定 抵抗体膜厚測定 厚み測定
● 端子間ピ チが ．
ッ ０５ ｍｍ以下の精密
● ハイブリ ドチッ
ッ プ抵抗の抵抗体の
● スラリー状の原料を ト状に伸ば
シー
コネクタのコプラナリ ィ
テ 測定を行い 膜厚を測定します。 して成型する際の厚み管理を行い
ます。 ます。

● 最高分解能０.0１ ｍで測定するこ
μ
●００ μ
． ｍの高分解能で測定が可能
２ とが可能です。
● ワイドスポット光学系により表面粗
です。 さによる測定値のバラツキを押さえ、
高精度ダブルスキャン方式により、

● ００ μ
． ｍの高分解能で高精度測定
５
毎秒50000回の高速サンプリング セラ ッ 抵抗体などの表面の材
ミ ク、
● が可能です。
により、 ンライ
イ ンでの高速測定に 質の影響を受けず、安定した測定
対応します。 が可能です。




Ｌ シリーズ
Ｔ
Ｃ レーザ変位計 ＬＫ-Ｇ リーズ Ｃ レーザ変位計 ＬＫ-Ｇ リーズ
ダブルスキ ン
ャ レーザ測定器
高速 高精度Ｃ Ｄ
・ 高速 高精度Ｃ Ｄ

・ シ シ




電子部品業界