カ
波長380nmから780nmの光で、
人の目に見える波長の光のこと。
可視光
（ visible ）
・光とは
「電磁波」と言う
「波」の一種です。波ですから波長という基準があ ごく短
り、
いものから無限大に長いものまで存在します。
・色とは
物体に当たる光の波長のう 物体に吸収されないで反射された波長を人
ち、
の目の網膜が受け取る 我々はその波長を物体の
と、 「色」 して認識します。
と
例えば、 赤いりんごは、 人間には赤色に見える特定波長の光線を含む白昼
（
光を受ける ）
と、 赤い波長の光 （600∼700ｎ を反射し、
ｍ） ほかの波長の光を
すべて吸収します。 ※黒い物体は、 すべての光を吸収するために黒くみえます。
・可視光とは
波長の長い部分の 「赤」 から、
短い方の 「紫」までの連続したカラースペクト
ルを形成する ものを「可視光」と言います。 た光と
ま して関知で ない領域の長
き
い方のエリ を
ア 「赤外線」 短い方を
、 「紫外線」と呼びます。
紫外線 可視光
VUV UVC UVA UVA 青 緑 黄 赤
100 200 300 400 500 600 700nm
波長
10° 100 1 1/100 10°
V放射線エネルギー
紫外線 可視光
10° 10°
10° 10° 10°
nm
赤外線
γ線 マイクロ波 電波
YAG CO 2
ガイド光とはレーザ光の照射位置を示し位置調整するための補助光のこと。
ガ イド光
印字レーザが不可視光なので可視で確認できるガイド光で調整します。
（ alignment beam ）
管 内に封止したガスに高電圧を加えて放電し、 ガスをプラズマ状態にし
ガスレーザ
発振させる レーザ方式のこ と。
（ gas laser ）
よく使われるガスは、 （炭酸ガス）
CO 2 He-Ne ヘリ
・ （ ウム ネオン）。
He-Neレーザは、 トエレク ロニクスの光源と
オプ ト して、 2レーザは、
CO
印字や加工に用いられている。
固体・気体・液体 の３つに分かれます
レーザは大別すると、
レーザ
固体
ＹＡＧ ッ リウム アルミニウム ガーネッ
（イ ト
・
・ ト）
N d:YAG
・汎用マーキング用途
基本波長（1,064ｎｍ）
・シリコンウエハーへのソフトマーキング用途
第二高調波 （532ｎｍ）
微 細加工向き
（グリーンレーザ）
・Ｃ Ｌ Ｄの印字、
リぺア加工、Ｉ
Ｖ Ａホール加工等の超微細加工用途
第三高調波 （355ｎｍ）
液 晶リぺア加工…コーティングパターンをカッ して修復する工程
ト
（UVレーザ）
Ｖ Ａホール加工…プリン
Ｉ ト基板の穴加工
・小文字マーキング用途
Nd:Ｙ Ｏ（1.054ｎ
Ｖ４ ｍ）
ＹＶＯ（イ ト ウム バナデイ
ッリ
・ ト）
４
レ 高いＱ ｗ周波数で高いピークパワー。
ｓ エネルギー変換効率が良い
ー LD
（650∼905ｎｍ）
ザ
・半導体レーザ（GaAs、GaAlAs、GaInAs）
の
種 気体
類
・加工機、マーキング用途、
レーザメス
CO（ 10.5μｍ）
2
・測定器用途（形状測定など）
He--Ne
（630ｎｍ）
（赤色） が一般的 最も多く出回っているレーザ。出力が低く形状測定などに使用。
・半導体露光装置、眼医療
不 活性ガスとハロゲンガスを混合して、
その気体中で放電する。
エキシマ（193ｎｍ）
比較的簡単な構造で強力な紫外線レーザを作ることが出来る。 究極の紫外レーザ ＵＶ）
（Ｄ で、
吸収率が高く、 眼医療では水晶体を加工 （蒸発）
させ、網膜に焦点を合わせる矯正に使われる。
・理化学用用途
アルゴン（488∼514ｎｍ） 色々な色を出すことができ、主にバイオ関係など研究所で使用される
液体
・理化学用用途
レーザー光により励起された色素は、蛍光を発する。
Ｄ （330∼1300ｎ
γe ｍ）
03
化学業界 化学業界
■ ゲート部 残留応力
■ 太 陽電池
■ 注 射針 先端
■ 多層フィルム 膜厚測定
表面状態を観察しようにも一部しか
樹脂の残留応力を観察したい 先端の形状がわかりやすい写真が撮れない 多層フィルムの膜厚を正確に測定したい
ピントが合わない
深度合成機能により全焦点画像での観察が
フリーアングル観察システムで
偏光照明アダプタで観察可能 自動エッジ選択機能で正確な測定が可能
可能
自由な角度から観察可能
（ｘ20） （ｘ3000）
（ｘ100） （ｘ1000）
通常の照明では観察できない残留応力やウエルド上での樹脂の流れなどを偏光照 リアルタイム深度合成を使用すればピント調整ダイアルを回すだけで瞬時にピント
レンズを傾けるだけであらゆる方向からの観察ができます。傾けた状態での深度合 クリックしたポイントがずれている場合でもエッジを自動的に検出し補正するので、人的な誤差をなくします。また、
明アダプタを使用することで観察できます。 の合った画像で観察できます。
成も可能ですので、最適な角度からの観察が可能です。 透明な多層フィルムでも、偏光照明と組み合わせることで、各層のさかい目を鮮明に観察することが可能です。
■ 傷 磨耗 体積測定
・
■ 薬 品の結晶観察
■ ナトリウム結晶
■ ガラス瓶 ネジ部計測
白っぽいワークを撮影するとコントラストが
傷や磨耗の体積が測定できない 薬品の結晶の解析を行いたい 照明が写りこんでしまい、上手く写真がとれない
はっきりしない
スーパーチャージシャッターで照明を
3D計測機能で体積の測定が可能 偏光観察が可能 可変照明アダプタで陰影をつけた観察が可能
使用せずに撮影可能
（ｘ200） （ｘ1000） （ｘ50） （ｘ10）
3D画像上で体積の計測が可能です。耐久試験後の磨耗量測定、傷や巣穴の体積 通常の照明での観察では結晶の形態までしか観察できませんが、偏光観察によ 照明を側面から当てることで、コントラストが弱い、乳白色系の対象物でも鮮明に 照明を使用せずに、長時間露光で明るさをカバーします。肉眼と同じ照明条件で撮
測定が行えます。 り、たんぱく質の観察や結晶の偏光状態を観察できます。 観察できます。 影できる為、ハレーションのなく観察、計測が行なえます。
その他の用途事例
実装部品 はんだ
・ （×50）
VHX-600なら、こんなに便利
［2］ V IE W 傾き
究極の使いやすさを実現する観察システム 紙・繊 維 その他
・インクジェット用紙の
・繊維の表面や断面観察
・触媒の表面状態観察
・ゴムブレードの表面形状測定
レンズを固定したままで、周囲360度からの観察を実現。ベストな 真上 30° 60°
コーティング膜厚測定
・ダイス・ガイド・ノズルの
・フィルム フィッシュアイの観察
・接着テープのはがれ具合観察
観察ポイントを瞬時に発見できます。手ブレの影響がなく、あらゆ
・印刷ドットずれ計測 磨耗状態観察
・ローラーの表面形状測定
・フィルター上の異物カウント
る方向から安定した観察ができます。
・不織布の繊維
・中空糸の断面形状観察
・アスベストの観察
・昆虫の種類判別
回転
からみぐあいの観察
・切断用カッター刃先の観察
20° 60° 80°
4 5
化学業界 化学業界
■ ゲート部 残留応力
■ 太 陽電池
■ 注 射針 先端
■ 多層フィルム 膜厚測定
表面状態を観察しようにも一部しか
樹脂の残留応力を観察したい 先端の形状がわかりやすい写真が撮れない 多層フィルムの膜厚を正確に測定したい
ピントが合わない
深度合成機能により全焦点画像での観察が
フリーアングル観察システムで
偏光照明アダプタで観察可能 自動エッジ選択機能で正確な測定が可能
可能
自由な角度から観察可能
（ｘ20） （ｘ3000）
（ｘ100） （ｘ1000）
通常の照明では観察できない残留応力やウエルド上での樹脂の流れなどを偏光照 リアルタイム深度合成を使用すればピント調整ダイアルを回すだけで瞬時にピント
レンズを傾けるだけであらゆる方向からの観察ができます。傾けた状態での深度合 クリックしたポイントがずれている場合でもエッジを自動的に検出し補正するので、人的な誤差をなくします。また、
明アダプタを使用することで観察できます。 の合った画像で観察できます。
成も可能ですので、最適な角度からの観察が可能です。 透明な多層フィルムでも、偏光照明と組み合わせることで、各層のさかい目を鮮明に観察することが可能です。
■ 傷 磨耗 体積測定
・
■ 薬 品の結晶観察
■ ナトリウム結晶
■ ガラス瓶 ネジ部計測
白っぽいワークを撮影するとコントラストが
傷や磨耗の体積が測定できない 薬品の結晶の解析を行いたい 照明が写りこんでしまい、上手く写真がとれない
はっきりしない
スーパーチャージシャッターで照明を
3D計測機能で体積の測定が可能 偏光観察が可能 可変照明アダプタで陰影をつけた観察が可能
使用せずに撮影可能
（ｘ200） （ｘ1000） （ｘ50） （ｘ10）
3D画像上で体積の計測が可能です。耐久試験後の磨耗量測定、傷や巣穴の体積 通常の照明での観察では結晶の形態までしか観察できませんが、偏光観察によ 照明を側面から当てることで、コントラストが弱い、乳白色系の対象物でも鮮明に 照明を使用せずに、長時間露光で明るさをカバーします。肉眼と同じ照明条件で撮
測定が行えます。 り、たんぱく質の観察や結晶の偏光状態を観察できます。 観察できます。 影できる為、ハレーションのなく観察、計測が行なえます。
その他の用途事例
実装部品 はんだ
・ （×50）
VHX-600なら、こんなに便利
［2］ V IE W 傾き
究極の使いやすさを実現する観察システム 紙・繊 維 その他
・インクジェット用紙の
・繊維の表面や断面観察
・触媒の表面状態観察
・ゴムブレードの表面形状測定
レンズを固定したままで、周囲360度からの観察を実現。ベストな 真上 30° 60°
コーティング膜厚測定
・ダイス・ガイド・ノズルの
・フィルム フィッシュアイの観察
・接着テープのはがれ具合観察
観察ポイントを瞬時に発見できます。手ブレの影響がなく、あらゆ
・印刷ドットずれ計測 磨耗状態観察
・ローラーの表面形状測定
・フィルター上の異物カウント
る方向から安定した観察ができます。
・不織布の繊維
・中空糸の断面形状観察
・アスベストの観察
・昆虫の種類判別
回転
からみぐあいの観察
・切断用カッター刃先の観察
20° 60° 80°
4 5
化学業界 化学業界
■ ゲート部 残留応力
■ 太 陽電池
■ 注 射針 先端
■ 多層フィルム 膜厚測定
表面状態を観察しようにも一部しか
樹脂の残留応力を観察したい 先端の形状がわかりやすい写真が撮れない 多層フィルムの膜厚を正確に測定したい
ピントが合わない
深度合成機能により全焦点画像での観察が
フリーアングル観察システムで
偏光照明アダプタで観察可能 自動エッジ選択機能で正確な測定が可能
可能
自由な角度から観察可能
（ｘ20） （ｘ3000）
（ｘ100） （ｘ1000）
通常の照明では観察できない残留応力やウエルド上での樹脂の流れなどを偏光照 リアルタイム深度合成を使用すればピント調整ダイアルを回すだけで瞬時にピント
レンズを傾けるだけであらゆる方向からの観察ができます。傾けた状態での深度合 クリックしたポイントがずれている場合でもエッジを自動的に検出し補正するので、人的な誤差をなくします。また、
明アダプタを使用することで観察できます。 の合った画像で観察できます。
成も可能ですので、最適な角度からの観察が可能です。 透明な多層フィルムでも、偏光照明と組み合わせることで、各層のさかい目を鮮明に観察することが可能です。
■ 傷 磨耗 体積測定
・
■ 薬 品の結晶観察
■ ナトリウム結晶
■ ガラス瓶 ネジ部計測
白っぽいワークを撮影するとコントラストが
傷や磨耗の体積が測定できない 薬品の結晶の解析を行いたい 照明が写りこんでしまい、上手く写真がとれない
はっきりしない
スーパーチャージシャッターで照明を
3D計測機能で体積の測定が可能 偏光観察が可能 可変照明アダプタで陰影をつけた観察が可能
使用せずに撮影可能
（ｘ200） （ｘ1000） （ｘ50） （ｘ10）
3D画像上で体積の計測が可能です。耐久試験後の磨耗量測定、傷や巣穴の体積 通常の照明での観察では結晶の形態までしか観察できませんが、偏光観察によ 照明を側面から当てることで、コントラストが弱い、乳白色系の対象物でも鮮明に 照明を使用せずに、長時間露光で明るさをカバーします。肉眼と同じ照明条件で撮
測定が行えます。 り、たんぱく質の観察や結晶の偏光状態を観察できます。 観察できます。 影できる為、ハレーションのなく観察、計測が行なえます。
その他の用途事例
実装部品 はんだ
・ （×50）
VHX-600なら、こんなに便利
［2］ V IE W 傾き
究極の使いやすさを実現する観察システム 紙・繊 維 その他
・インクジェット用紙の
・繊維の表面や断面観察
・触媒の表面状態観察
・ゴムブレードの表面形状測定
レンズを固定したままで、周囲360度からの観察を実現。ベストな 真上 30° 60°
コーティング膜厚測定
・ダイス・ガイド・ノズルの
・フィルム フィッシュアイの観察
・接着テープのはがれ具合観察
観察ポイントを瞬時に発見できます。手ブレの影響がなく、あらゆ
・印刷ドットずれ計測 磨耗状態観察
・ローラーの表面形状測定
・フィルター上の異物カウント
る方向から安定した観察ができます。
・不織布の繊維
・中空糸の断面形状観察
・アスベストの観察
・昆虫の種類判別
回転
からみぐあいの観察
・切断用カッター刃先の観察
20° 60° 80°
4 5
変位センサ測定原理 テク
・ ノロジー
レーザ非接触式（反射）
共焦点測定方式 ― LT-9000シリーズ 三角測距方式 ― LK-G LKシリーズ
― ―
・ 投光されたレーザ光は、対象物の表面で拡散反射します。 その反射光の一部
レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結
を受光レンズで集光し、CCD上に結像させます。対象物が変位する 拡散反
と、
びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光さ れ受光素子に入
射光の集光する角度が変化し、 CCD上の結像位置が移動します。それを検出
光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセンサで測定するこ とで、対象
する とによ
こ って、対象物の変位量を測定します。
物までの距離を材質 色 傾きの影響を受けず正確に測定します。
・・ 表面状態をセンシングABLE※
対象物上でピントが合わない時 対象物上でピントが合った時
対 象物表面をセンシング してレーザ光量を最適に調整。 発光時間、 パワー、
半導体 レーザ 半導体 レーザ
CCD増幅率をイ リ ン
ンテ ジェ トに制御します。※ABLE＝Active Balanced Lasercontorol Engine
対象物にともなうレーザ発光時間とレーザパワー
2
受光素子 受光素子
受光用CCD上を
半導体レーザ
ピンホール ピンホール
スポ トが移動
ッ 鏡面板 黒ゴム
投光レンズ
受光量小 受光量大
音叉 音叉
1 CCD 反射率
高 低
対象物の位置 受光レンズ
（距離）が変わると 発光パワー レーザ
パワー
センサ センサ 対象物 レーザ
大
パワー
小
受光した光がピンホールを 受光した光がピンホールを
発光時間 短
： 発光時間 長
：
ほとんど通過していません。 通過しています。
実現したメ ッ
リト 実現したメ ッ
リト
透明体 膜厚測定が可能
・ あらゆるワークに対応 抜群の角度特性
光沢面 黒色体も測定可能
・ ワーク表面の粗さ、 傾きなどによる測定
色、 ガラスやコーティング材などの透明体も一方向 光沢のある金属、 反射光量の少ない黒ゴム、 角度のついた対象物はもちろん、
さまざまな
誤差がな 、
く 高精度に変位を測定で ます。
き から高 精 度に測 定できます。（ウェット状 態 色柄物など、多彩なワークでも安定した測定 形状の対象物でも安定検出が可能です。
で測定する事もできます。 ） が可能となり した。
ま
上記１ ２の各界面で
と
レーザ光
Ｚ 反 射するレーザ光 の
1 膜
方
ング） 距離の差を測定する。
向 （コーティ 金属板 黒ゴム
膜厚
2
素材
オトリー
ー コ メ ト方式 ― LAシリーズ 光波測距方式 ― LFシリーズ
― ―
レーザ発光素子から照射後、 リ ータ
コ メ レンズで平行に変換された平行レーザ センサ部から特定の周波数で強度変調をかけたレーザ光を測定対象物に
光は、対象物に反射し、受光レンズで集光され、
そのレンズの焦点距離上に 照射します。レーザ光が測定対象物に反射して返ってくるまでの時間は、
あるＣＣＤ素子に結像します。この時の結像位 置は、照射レーザ光と対象 距離に応じて変化し、 投光信号と受光信号位相差が生じます。この位相差
物の構成角によって変化するため、 対象物の傾きが変化す と Ｃ
る Ｃ Ｄ上の結 を検出することによって測定対象物の変位を算出することができます。
像位置も変化します。この変化量を角度換算することにより測定値を求めます。 投光ミラー
バンドパスフ ルター
ィ 受光レンズ
フ ト オー
ォ ダイ ド
レーザー発光素子 拡散反射光
コ メ レンズ
リ ータ
受
受光回路
光
素
A
子
位相差比較回路
ハーフ ラー
ミ D C
C
変 P
C レーザビーム
換 U
受光レ ズ D
ン 高周波発振回路
器
測定 投光レンズ
対象物 対象物
レーザダイ ド
オー
実現したメ ッ
リト
実現したメ ッ
リト
あいまいさを完全排除 長距離でも高精度に測定 （代表例）
理 3.0
従来、目視に頼っていたオートコリメータ 長距離の遠近に精度が影響されず、安定
想
の角度計測に代り、これまでにない正確 した測定が可能です。 直 2.0
な自動測定を実現しました。 線 1.0
と
の 0.0
ズ
レ −1.0
−2.0
−3.0
1400
1000
距離（mm）
4 www.keyence.co.jp/henni
変位センサ測定原理 テク
・ ノロジー
レーザ非接触式（反射）
共焦点測定方式 ― LT-9000シリーズ 三角測距方式 ― LK-G・LKシリーズ
― ―
投光されたレーザ光は、対象物の表面で拡散反射します。 その反射光の一部
レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結
を受光レンズで集光し、CCD上に結像させます。対象物が変位する 拡散反
と、
びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光さ れ受光素子に入
射光の集光する角度が変化し、 CCD上の結像位置が移動します。それを検出
光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセンサで測定するこ とで、対象
する とによ
こ って、対象物の変位量を測定します。
物までの距離を材質 色 傾きの影響を受けず正確に測定します。
・・ 表面状態をセンシングABLE※
対象物上でピントが合わない時 対象物上でピントが合った時
対 象物表面をセンシング してレーザ光量を最適に調整。 発光時間、 パワー、
半導体 レーザ 半導体 レーザ
CCD増幅率をイ リ ン
ンテ ジェ トに制御します。※ABLE＝Active Balanced Lasercontorol Engine
対象物にともなうレーザ発光時間とレーザパワー
2
受光素子 受光素子
受光用CCD上を
半導体レーザ
ピンホール ピンホール
スポ トが移動
ッ 鏡面板 黒ゴム
投光レンズ
受光量小 受光量大
音叉 音叉
1 CCD 反射率
高 低
対象物の位置 受光レンズ
（距離）が変わると 発光パワー レーザ
パワー
センサ センサ 対象物 レーザ
大
パワー
小
受光した光がピンホールを 受光した光がピンホールを
発光時間 短
： 発光時間 長
：
ほとんど通過していません。 通過しています。
実現したメ ッ
リト 実現したメ ッ
リト
透明体 膜厚測定が可能
・ あらゆるワークに対応 抜群の角度特性
光沢面 黒色体も測定可能
・ ワーク表面の粗さ、 傾きなどによる測定
色、 ガラスやコーティング材などの透明体も一方向 光沢のある金属、 反射光量の少ない黒ゴム、 角度のついた対象物はもちろん、
さまざまな
誤差がな 、
く 高精度に変位を測定で ます。
き から高 精 度に測 定できます。（ウェット状 態 色柄物など、多彩なワークでも安定した測定 形状の対象物でも安定検出が可能です。
で測定する事もできます。 ） が可能となり した。
ま
上記１ ２の各界面で
と
レーザ光
Ｚ 反 射するレーザ光 の
1 膜
方
ング） 距離の差を測定する。
向 （コーティ 金属板 黒ゴム
膜厚
2
素材
オトリー
ー コ メ ト方式 ― LAシリーズ 光波測距方式 ― LFシリーズ
― ―
レーザ発光素子から照射後、 リ ータ
コ メ レンズで平行に変換された平行レーザ センサ部から特定の周波数で強度変調をかけたレーザ光を測定対象物に
光は、対象物に反射し、受光レンズで集光され、
そのレンズの焦点距離上に 照射します。レーザ光が測定対象物に反射して返ってくるまでの時間は、
あるＣＣＤ素子に結像します。この時の結像位 置は、照射レーザ光と対象 距離に応じて変化し、 投光信号と受光信号位相差が生じます。この位相差
物の構成角によって変化するため、 対象物の傾きが変化す と Ｃ
る Ｃ Ｄ上の結 を検出することによって測定対象物の変位を算出することができます。
像位置も変化します。この変化量を角度換算することにより測定値を求めます。 投光ミラー
バンドパスフ ルター
ィ 受光レンズ
フ ト オー
ォ ダイ ド
レーザー発光素子 拡散反射光
コ メ レンズ
リ ータ
受
受光回路
光
素
A
子
位相差比較回路
ハーフ ラー
ミ D C
C
変 P
C レーザビーム
換 U
受光レ ズ D
ン 高周波発振回路
器
測定 投光レンズ
対象物 対象物
レーザダイ ド
オー
実現したメ ッ
リト
実現したメ ッ
リト
あいまいさを完全排除 長距離でも高精度に測定 （代表例）
理 3.0
従来、目視に頼っていたオートコリメータ 長距離の遠近に精度が影響されず、安定
想
の角度計測に代り、これまでにない正確 した測定が可能です。 直 2.0
な自動測定を実現しました。 線 1.0
と
の 0.0
ズ
レ −1.0
−2.0
−3.0
1400
1000
距離（mm）
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変位センサ測定原理 テク
・ ノロジー
レーザ非接触式（反射）
共焦点測定方式 ― LT-9000シリーズ 三角測距方式 ― LK-G・LKシリーズ
― ―
投光されたレーザ光は、対象物の表面で拡散反射します。 その反射光の一部
レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結
を受光レンズで集光し、CCD上に結像させます。対象物が変位する 拡散反
と、
びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光さ れ受光素子に入
射光の集光する角度が変化し、 CCD上の結像位置が移動します。それを検出
光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセンサで測定するこ とで、対象
する とによ
こ って、対象物の変位量を測定します。
物までの距離を材質 色 傾きの影響を受けず正確に測定します。
・・ 表面状態をセンシングABLE※
対象物上でピントが合わない時 対象物上でピントが合った時
対 象物表面をセンシング してレーザ光量を最適に調整。 発光時間、 パワー、
半導体 レーザ 半導体 レーザ
CCD増幅率をイ リ ン
ンテ ジェ トに制御します。※ABLE＝Active Balanced Lasercontorol Engine
対象物にともなうレーザ発光時間とレーザパワー
2
受光素子 受光素子
受光用CCD上を
半導体レーザ
ピンホール ピンホール
スポ トが移動
ッ 鏡面板 黒ゴム
投光レンズ
受光量小 受光量大
音叉 音叉
1 CCD 反射率
高 低
対象物の位置 受光レンズ
（距離）が変わると 発光パワー レーザ
パワー
センサ センサ 対象物 レーザ
大
パワー
小
受光した光がピンホールを 受光した光がピンホールを
発光時間 短
： 発光時間 長
：
ほとんど通過していません。 通過しています。
実現したメ ッ
リト 実現したメ ッ
リト
透明体 膜厚測定が可能
・ あらゆるワークに対応 抜群の角度特性
光沢面 黒色体も測定可能
・ ワーク表面の粗さ、 傾きなどによる測定
色、 ガラスやコーティング材などの透明体も一方向 光沢のある金属、 反射光量の少ない黒ゴム、 角度のついた対象物はもちろん、
さまざまな
誤差がな 、
く 高精度に変位を測定で ます。
き から高 精 度に測 定できます。（ウェット状 態 色柄物など、多彩なワークでも安定した測定 形状の対象物でも安定検出が可能です。
で測定する事もできます。 ） が可能となり した。
ま
上記１ ２の各界面で
と
レーザ光
Ｚ 反 射するレーザ光 の
1 膜
方
ング） 距離の差を測定する。
向 （コーティ 金属板 黒ゴム
膜厚
2
素材
オトリー
ー コ メ ト方式 ― LAシリーズ 光波測距方式 ― LFシリーズ
― ―
レーザ発光素子から照射後、 リ ータ
コ メ レンズで平行に変換された平行レーザ センサ部から特定の周波数で強度変調をかけたレーザ光を測定対象物に
光は、対象物に反射し、受光レンズで集光され、
そのレンズの焦点距離上に 照射します。レーザ光が測定対象物に反射して返ってくるまでの時間は、
あるＣＣＤ素子に結像します。この時の結像位 置は、照射レーザ光と対象 距離に応じて変化し、 投光信号と受光信号位相差が生じます。この位相差
物の構成角によって変化するため、 対象物の傾きが変化す と Ｃ
る Ｃ Ｄ上の結 を検出することによって測定対象物の変位を算出することができます。
像位置も変化します。この変化量を角度換算することにより測定値を求めます。 投光ミラー
バンドパスフ ルター
ィ 受光レンズ
フ ト オー
ォ ダイ ド
レーザー発光素子 拡散反射光
コ メ レンズ
リ ータ
受
受光回路
光
素
A
子
位相差比較回路
ハーフ ラー
ミ D C
C
変 P
C レーザビーム
換 U
受光レ ズ D
ン 高周波発振回路
器
測定 投光レンズ
対象物 対象物
レーザダイ ド
オー
実現したメ ッ
リト
実現したメ ッ
リト
あいまいさを完全排除 長距離でも高精度に測定 （代表例）
理 3.0
従来、目視に頼っていたオートコリメータ 長距離の遠近に精度が影響されず、安定
想
の角度計測に代り、これまでにない正確 した測定が可能です。 直 2.0
な自動測定を実現しました。 線 1.0
と
の 0.0
ズ
レ −1.0
−2.0
−3.0
1400
1000
距離（mm）
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変位センサ測定原理 テク
・ ノロジー
レーザ非接触式（反射）
共焦点測定方式 ― LT-9000シリーズ 三角測距方式 ― LK-G・LKシリーズ
― ―
投光されたレーザ光は、対象物の表面で拡散反射します。 その反射光の一部
レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、対象物上で焦点を結
を受光レンズで集光し、CCD上に結像させます。対象物が変位する 拡散反
と、
びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光さ れ受光素子に入
射光の集光する角度が変化し、 CCD上の結像位置が移動します。それを検出
光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセンサで測定するこ とで、対象
する とによ
こ って、対象物の変位量を測定します。
物までの距離を材質 色 傾きの影響を受けず正確に測定します。
・・ 表面状態をセンシングABLE※
対象物上でピントが合わない時 対象物上でピントが合った時
対 象物表面をセンシング してレーザ光量を最適に調整。 発光時間、 パワー、
半導体 レーザ 半導体 レーザ
CCD増幅率をイ リ ン
ンテ ジェ トに制御します。※ABLE＝Active Balanced Lasercontorol Engine
対象物にともなうレーザ発光時間とレーザパワー
2
受光素子 受光素子
受光用CCD上を
半導体レーザ
ピンホール ピンホール
スポ トが移動
ッ 鏡面板 黒ゴム
投光レンズ
受光量小 受光量大
音叉 音叉
1 CCD 反射率
高 低
対象物の位置 受光レンズ
（距離）が変わると 発光パワー レーザ
パワー
センサ センサ 対象物 レーザ
大
パワー
小
受光した光がピンホールを 受光した光がピンホールを
発光時間 短
： 発光時間 長
：
ほとんど通過していません。 通過しています。
実現したメ ッ
リト 実現したメ ッ
リト
透明体 膜厚測定が可能
・ あらゆるワークに対応 抜群の角度特性
光沢面 黒色体も測定可能
・ ワーク表面の粗さ、 傾きなどによる測定
色、 ガラスやコーティング材などの透明体も一方向 光沢のある金属、 反射光量の少ない黒ゴム、 角度のついた対象物はもちろん、
さまざまな
誤差がな 、
く 高精度に変位を測定で ます。
き から高 精 度に測 定できます。（ウェット状 態 色柄物など、多彩なワークでも安定した測定 形状の対象物でも安定検出が可能です。
で測定する事もできます。 ） が可能となり した。
ま
上記１ ２の各界面で
と
レーザ光
Ｚ 反 射するレーザ光 の
1 膜
方
ング） 距離の差を測定する。
向 （コーティ 金属板 黒ゴム
膜厚
2
素材
オトリー
ー コ メ ト方式 ― LAシリーズ 光波測距方式 ― LFシリーズ
― ―
レーザ発光素子から照射後、 リ ータ
コ メ レンズで平行に変換された平行レーザ センサ部から特定の周波数で強度変調をかけたレーザ光を測定対象物に
光は、対象物に反射し、受光レンズで集光され、
そのレンズの焦点距離上に 照射します。レーザ光が測定対象物に反射して返ってくるまでの時間は、
あるＣＣＤ素子に結像します。この時の結像位 置は、照射レーザ光と対象 距離に応じて変化し、 投光信号と受光信号位相差が生じます。この位相差
物の構成角によって変化するため、 対象物の傾きが変化す と Ｃ
る Ｃ Ｄ上の結 を検出することによって測定対象物の変位を算出することができます。
像位置も変化します。この変化量を角度換算することにより測定値を求めます。 投光ミラー
バンドパスフ ルター
ィ 受光レンズ
フ ト オー
ォ ダイ ド
レーザー発光素子 拡散反射光
コ メ レンズ
リ ータ
受
受光回路
光
素
A
子
位相差比較回路
ハーフ ラー
ミ D C
C
変 P
C レーザビーム
換 U
受光レ ズ D
ン 高周波発振回路
器
測定 投光レンズ
対象物 対象物
レーザダイ ド
オー
実現したメ ッ
リト
実現したメ ッ
リト
あいまいさを完全排除 長距離でも高精度に測定 （代表例）
理 3.0
従来、目視に頼っていたオートコリメータ 長距離の遠近に精度が影響されず、安定
想
の角度計測に代り、これまでにない正確 した測定が可能です。 直 2.0
な自動測定を実現しました。 線 1.0
と
の 0.0
ズ
レ −1.0
−2.0
−3.0
1400
1000
距離（mm）
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