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数字 Number
数値演算 Data calculation
す︱ 数値制御装置 Value control unit
す スーパーディスクドライブユニット Super disk drive unit
隙間 Gap
すきまゲージ Thickness gauge
すきま腐食 Crevice corrosion
スキャン Scan
すくい角 Front rake/Rake angle/Rake
スクリュー Screw
スクロール Scroll
スクロールバー Scroll bars
図形 Image
スケール Scale
据付 Installation
スタートキャラクタ Start character
スタッフ部門 Office
スタビリティ出力 Stability output
ステータス Status
ステッピングモータドライバ Stepping motor driver
ステップ運転 Step operation
ステンレス Stainless
ストローク Stroke
砂形 Sand mold
スパッタ Spatter
スパッタリング Sputtering
スパナ Spanner
スパン・シフト調整 Span/Shift adjustment
スピーカー Speaker
スピニング旋盤 Spinning lathe
基 板・実装
1 2 3
基板の反り測定 クリーム半田の高さ・形状測定 チ プマウ
ッ ンタの送り制御
鉛フリー対応により、その条件出しに
従 来 の 測 定器では光が沈 み込 んで上手く EX-Vシリーズならマウンタヘッドの振 動
時間がかかっていましたが、この測定
測れませんでしたが、LK-Gシリーズなら専 を正確に捉えてくれますので、高速制御が
システムを使えば大幅に工数が削減で
用モードもあり、高精度に測定できました。 可能になり、装置の能力が上がりました。
き、形状も高精度に確認できました。
CCDレーザ変位計 LK-Gシリーズ 高精度レーザ測定器 LT-9000 シリーズ デジタル変位センサ EX-Vシリーズ
4 5 6
基板の強度試験 実装部品・ヒートシンクの温度測定 噴流半田槽のレベル測定
基 板の歪み耐久 度を解 析できたので、基 多数の部品に直接熱電対を貼り付けて評 LK-Gシリーズの お か げ で 半 田 の 噴 流
板組み付け時のネジ締めトルクを管理で 価するので、NR-600シリーズの多ch絶 レベルを正確に把握できるようになり、
きるようになり、歩留まりが改善しました。 縁、PCリンク機能は非常に便利でした。 装置の信頼性が上がりました。
マルチ入力データロガー NR-600 シリーズ マルチ入力データロガー NR-600 シリーズ CCDレーザ変位計 LK-Gシリーズ
コネク
・ ッチ スピーカー
タ スイ
・
7 8 9
コネクタのコプラナリティ測定 スイッチの戻り速度検査 スピーカーコーンの振幅測定
高速 小スポットタイプを使 用すれば、
・ 狭 接触式ではどうしても押し圧の影響を無視 正確に振幅量を測定できるようになり、
ピッチになる程、画像センサよりも検出が できませんでしたが、これで正確にスイッチ 音 質の 個体差を少なくすることに成 功
安定したので、採用することに決めました。 の機械的評価ができるようになりました。 しました。
CCDレーザ変位計 LK-Gシリーズ CCDレーザ変位計 LK-Gシリーズ CCDレーザ変位計 LK-Gシリーズ
業界別アプ ケーシ ン
リ ョ
スポットタイプ
シリコンウエハ厚み測定 ディスペンサの高さ制御 スピーカーコーンの振幅測定
ガラス越しのピン高さ測定 基板のそり測定 モーター軸の揺れ測定
半 導体 液晶
・ 電子部品 電気製品
ガラス上シール材の幅、高さ測定 クリーム半田形状・高さ測定 リチウムコイン電池の形状測定
メモリーカード メモリーカード メモリーカード
OUT01 OUT01 OUT01
GO GO GO
0.500 0.500 2.500
測定中 測定中 測定中
Program01 Program01 Program01
[mm] [mm] [mm]
ZERO ZERO ZERO
OK OK OK
30.000mm 30.000mm 30.000mm
X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO OUT1 GO OUT1 GO
OUT2 GO OUT2 GO OUT2 GO
OUT3 GO OUT3 GO OUT3 GO
OUT4 GO OUT4 GO OUT4 GO
OUT5 GO OUT5 GO OUT5 GO
OUT6 GO OUT6 GO OUT6 GO
OUT7 GO OUT7 GO OUT7 GO
OUT8 GO OUT8 GO OUT8 GO
全OUT 全OUT 全OUT
トリガ間隔 トリガ間隔 トリガ間隔
10 ms 10 ms 10 ms
-30.000mm -30.000mm -30.000mm
測定時間 測定時間 測定時間
-20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm
30 ms 30 ms 30 ms
高さ/幅 2次元タイプ
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業界別アプ ケーシ ン
リ ョ
スポットタイプ
シリコンウエハ厚み測定 ディスペンサの高さ制御 スピーカーコーンの振幅測定
ガラス越しのピン高さ測定 基板のそり測定 モーター軸の揺れ測定
半 導体 液晶
・ 電子部品 電気製品
ガラス上シール材の幅、高さ測定 クリーム半田形状・高さ測定 リチウムコイン電池の形状測定
メモリーカード メモリーカード メモリーカード
OUT01 OUT01 OUT01
GO GO GO
0.500 0.500 2.500
測定中 測定中 測定中
Program01 Program01 Program01
[mm] [mm] [mm]
ZERO ZERO ZERO
OK OK OK
30.000mm 30.000mm 30.000mm
X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div] X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div] X : [ 10.000mm/div]
OUT1 GO OUT1 GO OUT1 GO
OUT2 GO OUT2 GO OUT2 GO
OUT3 GO OUT3 GO OUT3 GO
OUT4 GO OUT4 GO OUT4 GO
OUT5 GO OUT5 GO OUT5 GO
OUT6 GO OUT6 GO OUT6 GO
OUT7 GO OUT7 GO OUT7 GO
OUT8 GO OUT8 GO OUT8 GO
全OUT 全OUT 全OUT
トリガ間隔 トリガ間隔 トリガ間隔
10 ms 10 ms 10 ms
-30.000mm -30.000mm -30.000mm
測定時間 測定時間 測定時間
-20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm -20.000mm 20.000mm
30 ms 30 ms 30 ms
高さ/幅 2次元タイプ
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事例10 計測 検査における課題と改善
・
従来の問題点
サイクルの異なる履歴データを収集するために
複数の計測器を使用していました。
また、収集後のデータの同期が取れないため困っていました。
改善ポイント
１ ２ マルチ＆ＤＵＡ
台 役、 Ｌ収集で、
データの周期や種類が異なっても、
これ 台でデータ収集が可能に。
１
サイクルの短い装置制御信号と比較的サイクルが長い温度
履歴データの両方を無駄なメモリを消費せず効率よくデー
タ収集できます。 恒温層寿命試験における温度データ
（GR-7000)
検
査
・ 計
測
シ
リ
検査 計測シリーズ
・ おすすめ機種
ー
ズ
マルチ入力8ｃｈ絶縁オシロ、クラス最小 1台5役、マルチレコーダ
GR-7000シリーズ NR-600、500シリーズ
■ 従来比 /3の超小型サイズ
１
■ 温度、ひずみ、CANを
混在収集
■ 絶縁600V、分解能16bit
■ マイクロサイズ＆バッテリー
■ 1ギガワードの超ロングメモリ
駆動
■ 内蔵バッテリーで12時間駆動
■ USBでかんたんPC接続
■ メモリバックアップ電源を
搭載し、高信頼性
実例アプリケーション
スピーカー バイブレーションモータなどの振動測定
・ 実装部品・ヒートシンクの温度・ひずみ測定 NR-600)
（
（NR-600＋LK-Gシリーズ）
多数の部品に直接熱電対を貼り付けて評価するので多CH絶縁、
PCリンク機能が有効でした。 正確に振幅量を測定できるようになり。音質やバイブレーションの個体差
を数値管理でき、
ばらつきを抑えることに成功しました。
15
図解 簡単ＡＦＭ入門（Vol.1）
ＡＦＭの仕組み−スキャナー
スキャナ駆動機構について
Ｐ Ｚ Ｔ の構 造
ピエゾスキャナについて
ピエゾ素子（ピエゾスキャナ）とは、圧電効果を利用した素子で
す。走査型プローブ顕微鏡のステージ（アクチュエータ）として
良く用いられています。セラミック（チタン酸ジルコン酸鉛）など
から出来ており、そのため個体差があります。特性としては、 ∼
使えば使い込むほど特性が良くなります。しかし、使わずに
ほっておくと、電圧を加えても変化しにくくなり特性が劣化してし
まいます。
電圧を印加すると電圧の変化
に応じて、スキャナ自体が伸び、
圧電効果とは
縮みしてスキャナの上に載せて
電圧を加えると、歪み（寸法が変わる）を生じることをいいます。 ある試料など駆動します。最近
逆に、圧力（歪み）を加えると電圧を発生します。このような現 は、経時的な劣化を防ぐために
象のことを圧電効果といい、このよう現象が見られる素子を圧 フィードバック制御を行っている
電素子といいます。 タイムもあります。
Voice Coil Scanner について
ＡＦＭのアクチュエータ（駆動機構）として「ボイスコイルモータ
（Voice Coil Motor）」を応用したスキャナがありま す。
ボイスコイルスキャナは、入力電流に対して高い直線性を持っ
たアクチュエータです。ボイスコイルモータは動電型振動装置
で、スピーカーの原理を発展的に応用したもので、現在ではリ
ニアモータとして幅広く使われています。
磁界中に置かれたコイルに電流を流すと、コイルに力が発生し
ます。永久磁石の磁界中に置かれたボイスコイルが、電流の
変化に応じてスライドするようになります。コイルに電流を送る
ためのリード線が必要なため、ストロークの長さは限られます
が、無接点で機械的な直進運動をつくれることと、立ち上がり
の速い機敏さがボイスコイルの特長です。この原理を応用した
駆動装置がボイスコイルモータです。
この原理をフレミングの左手の法則ともいいます。
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
翻訳キーワード集
