原子間力顕微鏡の原理
①微小なバネ板の先端に鋭い探針を取り付けたカンチ
レバーを試料表面数nm以下に近づけます。
②探針先端の原子と試料の原子の間に原子間力が
働きます。
③原子間力が一定になるよう（カンチレバーのたわみ
が一定になるよう）ピエゾスキャナにフィードバックを
かけながら走査をおこないます。
④ピエゾスキャナにフィードバックされた変位量を測定
することによりＺ軸の変位、すなわち表面構造を
取得します。
ピエゾスキャナの変位量を測定する方法としては、カンチレ
バーの背面にレーザ光を照射し、その反射光を4分割（また
は2分割）フォトダイオードで検出する光てこ方式を採用した
ものが一般的です。
※カンチレバー上で反射したレーザ光が４分割フォトダイオードの中心に入光するようピエゾスキャナに変位
がフィードバックされます。
静電気ハンドブック
キーエンス除電器ラインナップ
バータイプ
高性能・省メンテナンスタイプ
SJ-Gシリーズ
高機能・高速タイプ
SJ-Rシリーズ
汎用・高速タイプ
SJ-RAシリーズ
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧24V配線
ワンタッチで交換ができる、PINコネクタ電極針
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧＆省配線仕様
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
常識を覆す、省メンテナンス性
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
PC/PLCで制御が可能、デジタル通信
除電能力に特化した高速除電バー独自のI.C.C.制御で高速・高精度除電を実現除電能力と省メンテナンスを高次元に両立
静電気ハンドブック
キーエンス除電器ラインナップ
バータイプ
高性能・省メンテナンスタイプ
SJ-Gシリーズ
高機能・高速タイプ
SJ-Rシリーズ
汎用・高速タイプ
SJ-RAシリーズ
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧24V配線
ワンタッチで交換ができる、PINコネクタ電極針
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧＆省配線仕様
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
常識を覆す、省メンテナンス性
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
PC/PLCで制御が可能、デジタル通信
除電能力に特化した高速除電バー独自のI.C.C.制御で高速・高精度除電を実現除電能力と省メンテナンスを高次元に両立
静電気ハンドブック
キーエンス除電器ラインナップ
バータイプ
高性能・省メンテナンスタイプ
SJ-Gシリーズ
高機能・高速タイプ
SJ-Rシリーズ
汎用・高速タイプ
SJ-RAシリーズ
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧24V配線
ワンタッチで交換ができる、PINコネクタ電極針
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧＆省配線仕様
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
常識を覆す、省メンテナンス性
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
PC/PLCで制御が可能、デジタル通信
除電能力に特化した高速除電バー独自のI.C.C.制御で高速・高精度除電を実現除電能力と省メンテナンスを高次元に両立
静電気ハンドブック
キーエンス除電器ラインナップ
バータイプ
高性能・省メンテナンスタイプ
SJ-Gシリーズ
高機能・高速タイプ
SJ-Rシリーズ
汎用・高速タイプ
SJ-RAシリーズ
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧24V配線
ワンタッチで交換ができる、PINコネクタ電極針
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
長距離設置でも高速除電可能、周波数可変機能
低電圧＆省配線仕様
I.C.C.制御による、センシング＆フィードバック
高速除電を実現する、パルスAC方式
常識を覆す、省メンテナンス性
除電効果が一目でわかる、帯電モニタ
PC/PLCで制御が可能、デジタル通信
除電能力に特化した高速除電バー独自のI.C.C.制御で高速・高精度除電を実現除電能力と省メンテナンスを高次元に両立
ＡＦＭ読本
ＡＦＭの仕組み－検出器
セルフセンシング（ピエゾ抵抗体検知）方式
カンチレバーに内蔵したピエゾ抵抗体に電流を流してスキャンを行うと、試料の凹凸に応じたレバーの上下たわみ量により、
内蔵した抵抗体の抵抗値が変動します。この抵抗値が一定になるようにフィードバックを行います。
このフィードバック量を読み取ることによりAFM画像を取り込みます。
長所
①カンチレバーの脱着が容易
②光てこ方式のように、光学調整が不要
短所
①光てこ方式に比べて、分解能が劣る。
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
ピエゾ抵抗体
図解 簡単ＡＦＭ入門（Vol.1）
ＡＦＭの仕組み−検出器
セルフセンシング（ピエゾ抵抗体検知）方式
カンチレバーに内蔵したピエゾ抵抗体に電流を流してスキャンを行うと、試料の凹凸に応じたレバーの上下たわみ量により、
内蔵した抵抗体の抵抗値が変動します。この抵抗値が一定になるようにフィードバックを行います。
このフィードバック量を読み取ることによりAFM画像を取り込みます。
長所
①カンチレバーの脱着が容易
②光てこ方式のように、光学調整が不要
短所
①光てこ方式に比べて、分解能が劣る。
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
ピエゾ抵抗体
原子間力顕微鏡の原理
①微小なバネ板の先端に鋭い探
針を取り付けたカンチレバーを試
料表面数nm以下に近づけます。
②探針先端の原子と試料の原子
の間に原子間力が働きます。
③原子間力が一定になるよう（カン
チレバーのたわみが一定になるよ
う）ピエゾスキャナにフィードバック
をかけながら走査をおこないます。
④ピエゾスキャナにフィードバックさ
れた変位量を測定することによりＺ
軸の変位、すなわち表面構造を取
得します。
半導体レーザ
試料
カンチレバー
A
B
C
D
4分割フォトダイオード
X
Y
Z
ピエゾスキャナ
ピエゾスキャナの変位量を測定する方法としては、カンチレバーの背面にレーザ光を照射し、
その反射光を4分割（または2分割）フォトダイオードで検出する光てこ方式を採用したものが
一般的です。
※カンチレバー上で反射したレーザ光が４分割フォトダイオードの中心に入光するようピエゾス
キャナに変位がフィードバックされます。
原子間力顕微鏡の原理
半導体レーザ
試料
カンチレバー
A
B
C
D
4分割フォトダイオード
X
Y
Z
ピエゾスキャナ
①微小なバネ板の先端に鋭い探
針を取り付けたカンチレバーを試
料表面数nm以下に近づけます。
②探針先端の原子と試料の原子
の間に原子間力が働きます。
③原子間力が一定になるよう（カン
チレバーのたわみが一定になるよ
う）ピエゾスキャナにフィードバック
をかけながら走査をおこないます。
④ピエゾスキャナにフィードバックさ
れた変位量を測定することによりＺ
軸の変位、すなわち表面構造を取
得します。
ピエゾスキャナの変位量を測定する方法としては、カンチレバーの背面にレーザ光を照射し、
その反射光を4分割（または2分割）フォトダイオードで検出する光てこ方式を採用したものが
一般的です。
※カンチレバー上で反射したレーザ光が４分割フォトダイオードの中心に入光するようピエゾス
キャナに変位がフィードバックされます。
原子間力顕微鏡の原理
①微小なバネ板の先端に鋭い探
針を取り付けたカンチレバーを試
料表面数nm以下に近づけます。
②探針先端の原子と試料の原子
の間に原子間力が働きます。
③原子間力が一定になるよう（カン
チレバーのたわみが一定になるよ
う）ピエゾスキャナにフィードバック
をかけながら走査をおこないます。
④ピエゾスキャナにフィードバックさ
れた変位量を測定することによりＺ
軸の変位、すなわち表面構造を取
得します。
半導体レーザ
試料
カンチレバー
A
B
C
D
4分割フォトダイオード
X
Y
Z
ピエゾスキャナ
ピエゾスキャナの変位量を測定する方法としては、カンチレバーの背面にレーザ光を照射し、
その反射光を4分割（または2分割）フォトダイオードで検出する光てこ方式を採用したものが
一般的です。
※カンチレバー上で反射したレーザ光が４分割フォトダイオードの中心に入光するようピエゾス
キャナに変位がフィードバックされます。
バックナンバー
