◆型式
◆使用機器
・測定内容
・測定・出力のポイント
◆外部トリガ機能を使用し、ワントリガワン
サンプリングを行います。
◆測定イメージ
：
◆測定概要
2．タクトアップ
◆プロファイルストレージ機能を使用するこ
とによりNGデータのみを保存します。
◆導入のﾒﾘｯﾄ
最速3.8msでサンプリングを行うことができるので、高速にインラインで測定することができます。
3．ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙﾃﾞｰﾀ保存機能(ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙｽﾄﾚｰｼﾞ機能）
ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙｽﾄﾚｰｼﾞ機能を使用することで、ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙﾃﾞｰﾀを内部メモリに保存することができるのでワークのトレーサビリティをとるとき
に最適です。また保存したメモリはCSV形式に変換することができます。
1．設備コスト改善
従来はスポットタイプのセンサを使用していたので、測定値を外部に出力し演算・判定を行う必要がありました。LJ-Gを使用すれ
ばトリガごとにデータを取得し、判定までを１台で行うことができます。
エレメントの傾き検査を高さの差を測定
することで行います。
高さ（平均）ﾎﾟｲﾝﾄ①−高さ（平均)ﾎﾟｲﾝﾄ②
◆測定箇所
題目 CVTエレメントの傾き測定：
測定概要
ＬＪ−Ｇ０３０センサヘッド ：
モニタ
コントローラ ： ＬＪ−Ｇ５０００
ＣＡ−ＭＰ８１
ｾﾝｻﾍｯﾄﾞ ｺﾝﾄﾛｰﾗ ﾓﾆﾀ
16.4
27.4
0.300
トリガ間隔
測定時間
高さ(平均）-ﾎﾟｲﾝﾄ② 高さ(平均）-ﾎﾟｲﾝﾄ①
GV-T series
ガラスエッジモード
測定範囲の端から、測定対象物（ガラス
■フィルムのエッジコントロール
■ ガラス基板の位置決め
な のエッ
ど） ジまでの距離を測定します。
演算機能
２台のセンサを使用して、
加算／減算を
■ 加算モードで幅測定
■ 減算モードで傾き測定
行ないます。
ピン位置測定モード ピン間隔判定モード ピン径判定モード 指定エ ジ間測定モー
ッ ド
測定範囲の端か 円柱ワー
ら、 ク ピンが複数並ぶよ うな測定対 ピンが複数並ぶよ な測定対
う 測定する対象物のエッ ジから
などの中心までの距離を測定 象物の、 ン ピ
ピ と ンの間 き間）
（す 象物の、 （最大１ ）
全て ４ のピン エ ジまでの距離を測定します。
ッ
し す。
ま を全て（最大１3）測定し、 公差 径（直径）を測定し、公差範囲 測定する ２つのエッジは指定
範囲内か判定 ま
し す。 内か判定します。 します。
設定の読み出し／書き込み
測定モー ドなど、全ての設定
をパソコンで入力 センサへ
し、
転送する とがで ます。
こ き
設定データの管理も簡単に
でき、 数 台 数 使 用される
複
場合にも便利です。
RS-232C通信ユニ ト
ッ
※1 2009年7月14日以前にご購入されたDL-RS1Aはご使用になれません。
DL-RS1A※1
詳細については、 最寄りの営業所にお問い合わせ だ い。
くさ
7
測定センサ紹介
高 速 高精度CCDレーザ変位計
・ 高精度２次元レーザ変位計
LK-Gシリーズ LJ-Gシリーズ
高さ測定 多点高さ測定
■
■
厚 み測定 多点段差測定
■
■
ストローク測定 厚 み測定
■
■
位 置決め測定 形 状測定
■
■
振 動測定 幅 測定
■
■
傾き測定 位 置決め測定
■
■
etc・
・
・ etc・
・
・
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。
＜＜＜ 高 精 度 変 位 ＞＞＞ ＜＜＜ 通 信・位 置 決 め を 含 め た 制 御 機 器 ＞＞＞
プログラマブルコントローラ
レーザ変位センサラインナップカタログ KV MOTION総合カタログ
KVシリーズ総合カタログ
合カタログ
LK-Gシリーズ 60ｋステップ1ms実行 高性能・マルチレンジ
・超高速50kHzサンプリング グ 位置決め・モーションユニット
プログラマブルコントローラ
・高精度±0.02％ofF.S. KV-ML16V
KV-5000/3000シリーズ
LＪ-Gシリーズ ハイスペックACサーボシステム
ム
・高さ/段差/幅同時測定 SVシリーズ
・クラス最速3.8ms
サンプリング
FAX 06-6379-1130
F A X コミュニケ ー ション 受付
会社名 部 署 名・役 職
ふりがな
お名前
〒 −
所在地
E-mail
TEL FA X
ご希望の資料に チェックしてください。
□ 無料テスト機貸出し希望 □ カタログ希望 □ 見積り希望 □ 詳細説明希望
当社は個人情報保護に関する法令などを遵守し、お客様の住所 部署 氏名等の個人情報は、
・ ・ 生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
本社 研究所／APSULT事業部
・ 0120 - 66 -3000
フリーダイヤル
この商品に関する
〒 533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 1131 Fax 0 6 - 6379 - 1130 お問い合わせは
AP7-0108
www.keyence.co.jp 仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
Copyright ⃝ 2 008 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
C K2110F-0128-1
8
測定センサ紹介
高 速 高精度CCDレーザ変位計
・ 高精度２次元レーザ変位計
LK-Gシリーズ LJ-Gシリーズ
高さ測定 多点高さ測定
■
■
厚 み測定 多点段差測定
■
■
ストローク測定 厚 み測定
■
■
位 置決め測定 形 状測定
■
■
振 動測定 幅 測定
■
■
傾き測定 位 置決め測定
■
■
etc・
・
・ etc・
・
・
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。
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LK-Gシリーズ 60ｋステップ1ms実行 高性能・マルチレンジ
・超高速50kHzサンプリング グ 位置決め・モーションユニット
プログラマブルコントローラ
・高精度±0.02％ofF.S. KV-ML16V
KV-5000/3000シリーズ
LＪ-Gシリーズ ハイスペックACサーボシステム
ム
・高さ/段差/幅同時測定 SVシリーズ
・クラス最速3.8ms
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測定センサ紹介
高 速 高精度CCDレーザ変位計
・ 高精度２次元レーザ変位計
LK-Gシリーズ LJ-Gシリーズ
高さ測定 多点高さ測定
■
■
厚 み測定 多点段差測定
■
■
ストローク測定 厚 み測定
■
■
位 置決め測定 形 状測定
■
■
振 動測定 幅 測定
■
■
傾き測定 位 置決め測定
■
■
etc・
・
・ etc・
・
・
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。
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プログラマブルコントローラ
レーザ変位センサラインナップカタログ KV MOTION総合カタログ
KVシリーズ総合カタログ
合カタログ
LK-Gシリーズ 60ｋステップ1ms実行 高性能・マルチレンジ
・超高速50kHzサンプリング グ 位置決め・モーションユニット
プログラマブルコントローラ
・高精度±0.02％ofF.S. KV-ML16V
KV-5000/3000シリーズ
LＪ-Gシリーズ ハイスペックACサーボシステム
ム
・高さ/段差/幅同時測定 SVシリーズ
・クラス最速3.8ms
サンプリング
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F A X コミュニケ ー ション 受付
会社名 部 署 名・役 職
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・ ・ 生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
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・ 0120 - 66 -3000
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大豆油インキ使用
7
樹脂・ゴム・フィルム
透明フィルムの厚み測定
ローラを利用した厚み測定の方法
ローラ表面を０原点としてワークを
ローラに巻きつけた（密着させた）
ときの出力で厚みを求めます。
その他の関連アプリケーション
多層シートの厚み測定
ローラ表面を０点（基準点）
としてシートの厚みを測定
します。
・従来方法
複数のシートを貼りあわせ
抜き取りでマイクロメータなど接触式測定器を使用
る多層シートの、それぞれの
して測定していました。
貼りあわせた際の厚みを測
・従来の問題点
定します。貼り合わせの途中
インライン測定ができないため、厚みのばらつきが
の厚みも常時監視できるよ
生じていました。
うになり精密に調整を行え
・測定のメリット
るようになりました。
インライン測定を行えるため、連続測定が可能に
なり品質の向上につながりました。
圧延ローラのギャップ測定
ローラを使用してシートを圧延する際、圧延ローラのギャッ
プを測定することでシートの厚みを管理できます。
その他の関連アプリケーション
圧延ローラのギャップ測定
ローラに取り付けた治具の
変化を測定することで、ロー
ラの位置を測定します。
治具を使用することで入り
組んだ場所でも測定が可能
になります。
・従来方法
すきまゲージを使用して測定していました。
圧延ローラのギャップ・傾き測定
・従来の問題点
測定者によって値がばらつき、信頼性が不足してい ローラの位置を測定し、左右
ました。また、接触して測定するため装置を停止し のローラの位置を測定・演算
て測定する必要がありました。 することでギャップだけで
・測定のメリット なく、圧延ローラの傾きを測
製造を行いながらローラギャップの測定が行えるため、 定します。
ギャップの変化を常時監視できるようになりました。 傾きによる厚みのムラも測
定できます。
また、測定者によるばらつきがなくなり、品質の向上に
つながりました。
キーエンス APSULT 事業部
- 11 -
半導体・液晶
スパッタリングターゲットの磨耗量測定
その他の関連アプリケーション
ポリッシングテーブルの平行度検査
ポリッシングを行うことで
テーブル面に磨耗や傾きが
発生していないかを測定し
ます。
接触式変位形で測定するこ
とで、表面状態の影響をうけ
ず安定した測定が可能にな
りました。
ウェハ設置時の傾き測定
・従来の問題点
ウェハを設置した際の傾きを
様々なターゲットがあり、金属表面の乱反射で測定が
測定します。
安定しないことがありました。
非接触で測定を行うので作業
・測定のメリット
をとめることなく設置状態の
ワイドスポット光学系により、スパッタリングによっ
確認を行えます。
て磨耗した金属面でも高さを安定して測定できるよう
になりました。
測定が不安定な場合は余裕を見て交換時期を早める必
要がありましたが、磨耗状態を確認して交換できるよ
うになり、コスト削減につながりました。
シール材の断面積測定
その他のシール材関連アプリケーション
シール材の塗布ノズル高さ制御
塗布ノズルの横にレーザ変
位計を取り付け、塗布時の高
さを制御します。
ノズル先端に近い位置で塗
布対象物の高さを測定する
ことで、精密な高さ制御が可
能になります。
その他の形状測定関連アプリケーション
ＰＤＰリブ形状測定
・従来方法
ＰＤＰのリブ形状を測定
カメラによる拡大観察を行っていました。
します。
・従来の問題点
幅と深さを同時に測定す
シール材の大きさは測定できましたが、高さが測定
ることで、精密な形状を確
できないため、不正確でした。
認できるようになりまし
・測定のメリット
た。
シール材の高さと幅から断面積を計算できるように
なり、断面積から塗布量を正確に計測できるように
なりました。
キーエンス APSULT 事業部
- 14 -
超音波式変位計
特長
測定対象物を選びません
金属、木材、ガラス、ゴムなどをはじめ、粉体、液体まであらゆる
材質の測定ができます。しかも非接触ですので粘度の影響や腐食の
問題もありません。
超長距離検出
ＭＡＸ１０ｍの離れた位置から測定を行えます。タンクレベル、巻
き量、たるみ量など変位量が大きい対象物も１台で測定できます。
搬送機械など移動物の妨げにもなりません。
超音波方式の測定原理
選定のポイント
距離を離しての測定が可能です。
音波が反射すれば測定対象物の材質に関係なく測定でき
ますので、精度、速度が問題にならなければ長距離測定で
は非常に有効な方法です。
超音波式変位センサは、センサヘッドから超音波を発信
タンクの液面レベル測定などでよく使用されます。
し、対象物で反射してくる超音波を再度センサヘッドで
液面の波立ちが大き過ぎ 受信し、この音波の発信から受信までの時間を測定する
ことで距離を測定しています。
たり、泡立っている時は左
図のようにセンサヘッド
の前面にパイプを設置し
てください。パイプ内の液
面レベルを測定すること
で液面の波立ちを抑え、泡
の侵入を防ぐことができ
ます。
高精度レーザ角度測定器
特長
角度、平行度、反りを１台で測定
ディスク、テープなどの回転・走行ワークから、基板やマスクなどの平面ワーク
まで、対象物にレーザを当てるだけで簡単に測定可能です。
測定スポットサイズを変更できる「電動光学絞り機能」
測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の大きさに対して最適
なサイズの測定スポットに調整できます。
選定のポイント
対象物が変わった場合や、同じ対象物でも表面状態の変化などで、測定対象物から
のレーザ光量に変化があった場合の調整能力が重要です。高精度レーザ角度測定器
は、対象物の反射率に応じて、自動的に最適光量に調整します。面倒な光学フィル
タの取り替え・変更なしで“ダイナミックレンジ４０万倍”で測定が可能です。
発光ダイオードの光軸傾き測定
キーエンス APSULT 事業部
-9-
超音波式変位計
特長
測定対象物を選びません
金属、木材、ガラス、ゴムなどをはじめ、粉体、液体まであらゆる
材質の測定ができます。しかも非接触ですので粘度の影響や腐食の
問題もありません。
超長距離検出
ＭＡＸ１０ｍの離れた位置から測定を行えます。タンクレベル、巻
き量、たるみ量など変位量が大きい対象物も１台で測定できます。
搬送機械など移動物の妨げにもなりません。
超音波方式の測定原理
選定のポイント
距離を離しての測定が可能です。
音波が反射すれば測定対象物の材質に関係なく測定でき
ますので、精度、速度が問題にならなければ長距離測定で
は非常に有効な方法です。
超音波式変位センサは、センサヘッドから超音波を発信
タンクの液面レベル測定などでよく使用されます。
し、対象物で反射してくる超音波を再度センサヘッドで
液面の波立ちが大き過ぎ 受信し、この音波の発信から受信までの時間を測定する
ことで距離を測定しています。
たり、泡立っている時は左
図のようにセンサヘッド
の前面にパイプを設置し
てください。パイプ内の液
面レベルを測定すること
で液面の波立ちを抑え、泡
の侵入を防ぐことができ
ます。
高精度レーザ角度測定器
特長
角度、平行度、反りを１台で測定
ディスク、テープなどの回転・走行ワークから、基板やマスクなどの平面ワーク
まで、対象物にレーザを当てるだけで簡単に測定可能です。
測定スポットサイズを変更できる「電動光学絞り機能」
測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の大きさに対して最適
なサイズの測定スポットに調整できます。
選定のポイント
対象物が変わった場合や、同じ対象物でも表面状態の変化などで、測定対象物から
のレーザ光量に変化があった場合の調整能力が重要です。高精度レーザ角度測定器
は、対象物の反射率に応じて、自動的に最適光量に調整します。面倒な光学フィル
タの取り替え・変更なしで“ダイナミックレンジ４０万倍”で測定が可能です。
発光ダイオードの光軸傾き測定
キーエンス APSULT 事業部
-9-
翻訳キーワード集
