傾き測定のキーワードサーチ

◆型式
◆使用機器
・測定内容
・測定・出力のポイント
◆外部トリガ機能を使用し、ワントリガワン
サンプリングを行います。
◆測定イメージ
：
◆測定概要
2．タクトアップ
◆プロファイルストレージ機能を使用するこ
とによりNGデータのみを保存します。
◆導入のﾒﾘｯﾄ
最速3.8msでサンプリングを行うことができるので、高速にインラインで測定することができます。
3．ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙﾃﾞｰﾀ保存機能(ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙｽﾄﾚｰｼﾞ機能）
ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙｽﾄﾚｰｼﾞ機能を使用することで、ﾌﾟﾛﾌｧｲﾙﾃﾞｰﾀを内部メモリに保存することができるのでワークのトレーサビリティをとるとき
に最適です。また保存したメモリはCSV形式に変換することができます。
1．設備コスト改善
従来はスポットタイプのセンサを使用していたので、測定値を外部に出力し演算・判定を行う必要がありました。LJ-Gを使用すれ
ばトリガごとにデータを取得し、判定までを１台で行うことができます。
エレメントの傾き検査を高さの差を測定
することで行います。
高さ（平均）ﾎﾟｲﾝﾄ①−高さ（平均)ﾎﾟｲﾝﾄ②
◆測定箇所
題目 CVTエレメントの傾き測定：
 測定概要
ＬＪ−Ｇ０３０センサヘッド ：
モニタ
コントローラ ： ＬＪ−Ｇ５０００
ＣＡ−ＭＰ８１
ｾﾝｻﾍｯﾄﾞ ｺﾝﾄﾛｰﾗ ﾓﾆﾀ
16.4
27.4
0.300
トリガ間隔
測定時間
高さ(平均）-ﾎﾟｲﾝﾄ② 高さ(平均）-ﾎﾟｲﾝﾄ①

7
測定モードなど、全ての設定
をパソコンで入力し、センサへ
転送することができます。
設定データの管理も簡単に
でき、複数台数使用される
場合にも便利です。
設定の読み出し／書き込み
RS-232C通信ユニット
DL-RS1A※1
■ フィルムのエッジコントロール ■ ガラス基板の位置決め
■ 加算モードで幅測定 ■ 減算モードで傾き測定
GV-Tseries
ガラスエッジモード
測定範囲の端から、測定対象物（ガラス
など）のエッジまでの距離を測定します。
演算機能
ピン位置測定モード ピン間隔判定モード ピン径判定モード 指定エッジ間測定モード
２台のセンサを使用して、加算／減算を
行ないます。
測定範囲の端から、円柱ワーク
などの中心までの距離を測定
します。
ピンが複数並ぶような測定対
象物の、ピンとピンの間（すき間）
を全て（最大１3）測定し、公差
範囲内か判定します。
ピンが複数並ぶような測定対
象物の、全て（最大１４）のピン
径（直径）を測定し、公差範囲
内か判定します。
測定する対象物のエッジから
エッジまでの距離を測定します。
測定する２つのエッジは指定
します。
※1 2009年7月14日以前にご購入されたDL-RS1Aはご使用になれません。
  詳細については、最寄りの営業所にお問い合わせください。

高速・高精度CCDレーザ変位計
LK-Gシリーズ
測定センサ紹介
レーザ変位センサラインナップカタログ
LK-Gシリーズ
・超高速50kHzサンプリング
・高精度±0.02％ofF.S.
LＪ-Gシリーズ
・高さ/段差/幅同時測定
・クラス最速3.8ms
サンプリング
グ
プログラマブルコントローラ
KVシリーズ総合カタログ
60ｋステップ1ms実行
プログラマブルコントローラ
KV-5000/3000シリーズ
KV MOTION総合カタログ
高性能・マルチレンジ
位置決め・モーションユニット
KV-ML16V
ハイスペックACサーボシステム
SVシリーズ
＜＜＜ 通信・位置 決めを含めた制 御 機 器 ＞＞＞＜＜＜ 高精度変 位 ＞＞＞
ム
■ 高さ測定
■ 厚み測定
■ ストローク測定
■ 位置決め測定
■ 振動測定
■ 傾き測定
etc・・・
高精度２次元レーザ変位計
LJ-Gシリーズ
■ 多点高さ測定
■ 多点段差測定
■ 厚み測定
■ 形状測定
■ 幅測定
■ 位置決め測定
etc・・・
合カタログ
会 社 名 部 署 名・役 職
お 名 前
ふりがな
〒         −
ご希望の資料に チェックしてください。
□ 無料テスト機貸出し希望   □ カタログ希望   □ 見積り希望    □ 詳細説明希望
FAX 06-6379-1130受付F A X コ ミ ュ ニ ケ ー シ ョ ン
E - m a i l
T E L F A X
所 在 地
当社は個人情報保護に関する法令などを遵守し、お客様の住所・部署・氏名等の個人情報は、生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
K2137T-0019-1
7
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。
AP7-0108
大豆油インキ使用
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
本社・研究所／APSULT事業部
〒533-8555 大阪市東淀川区東中島1- 3-14 Tel 06- 6379 - 1131 Fax 06- 6379 - 1130
www.keyence.co.jp
フリーダイヤル
0120-66-3000この商品に関する
お問い合わせは
Copyright⃝C 2009 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.

高速・高精度CCDレーザ変位計
LK-Gシリーズ
測定センサ紹介
レーザ変位センサラインナップカタログ
LK-Gシリーズ
・超高速50kHzサンプリング
・高精度±0.02％ofF.S.
LＪ-Gシリーズ
・高さ/段差/幅同時測定
・クラス最速3.8ms
サンプリング
グ
プログラマブルコントローラ
KVシリーズ総合カタログ
60ｋステップ1ms実行
プログラマブルコントローラ
KV-5000/3000シリーズ
KV MOTION総合カタログ
高性能・マルチレンジ
位置決め・モーションユニット
KV-ML16V
ハイスペックACサーボシステム
SVシリーズ
＜＜＜ 通信・位置 決めを含めた制 御 機 器 ＞＞＞＜＜＜ 高精度変 位 ＞＞＞
ム
■ 高さ測定
■ 厚み測定
■ ストローク測定
■ 位置決め測定
■ 振動測定
■ 傾き測定
etc・・・
高精度２次元レーザ変位計
LJ-Gシリーズ
■ 多点高さ測定
■ 多点段差測定
■ 厚み測定
■ 形状測定
■ 幅測定
■ 位置決め測定
etc・・・
合カタログ
会 社 名 部 署 名・役 職
お 名 前
ふりがな
〒         −
ご希望の資料に チェックしてください。
□ 無料テスト機貸出し希望   □ カタログ希望   □ 見積り希望    □ 詳細説明希望
FAX 06-6379-1130受付F A X コ ミ ュ ニ ケ ー シ ョ ン
E - m a i l
T E L F A X
所 在 地
当社は個人情報保護に関する法令などを遵守し、お客様の住所・部署・氏名等の個人情報は、生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
K2110F-0128-1
8
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。
AP7-0108
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
本社・研究所／APSULT事業部
〒533-8555 大阪市東淀川区東中島1- 3-14 Tel 06- 6379 - 1131 Fax 06- 6379 - 1130
www.keyence.co.jp
フリーダイヤル
0120-66-3000この商品に関する
お問い合わせは
Copyright⃝C 2008 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.

高速・高精度CCDレーザ変位計
LK-Gシリーズ
測定センサ紹介
レーザ変位センサラインナップカタログ
LK-Gシリーズ
・超高速50kHzサンプリング
・高精度±0.02％ofF.S.
LＪ-Gシリーズ
・高さ/段差/幅同時測定
・クラス最速3.8ms
サンプリング
グ
プログラマブルコントローラ
KVシリーズ総合カタログ
60ｋステップ1ms実行
プログラマブルコントローラ
KV-5000/3000シリーズ
KV MOTION総合カタログ
高性能・マルチレンジ
位置決め・モーションユニット
KV-ML16V
ハイスペックACサーボシステム
SVシリーズ
＜＜＜ 通信・位置 決めを含めた制 御 機 器 ＞＞＞＜＜＜ 高精度変 位 ＞＞＞
ム
■ 高さ測定
■ 厚み測定
■ ストローク測定
■ 位置決め測定
■ 振動測定
■ 傾き測定
etc・・・
高精度２次元レーザ変位計
LJ-Gシリーズ
■ 多点高さ測定
■ 多点段差測定
■ 厚み測定
■ 形状測定
■ 幅測定
■ 位置決め測定
etc・・・
合カタログ
会 社 名 部 署 名・役 職
お 名 前
ふりがな
〒         −
ご希望の資料に チェックしてください。
□ 無料テスト機貸出し希望   □ カタログ希望   □ 見積り希望    □ 詳細説明希望
FAX 06-6379-1130受付F A X コ ミ ュ ニ ケ ー シ ョ ン
E - m a i l
T E L F A X
所 在 地
当社は個人情報保護に関する法令などを遵守し、お客様の住所・部署・氏名等の個人情報は、生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
AP7-0108
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
本社・研究所／APSULT事業部
〒533-8555 大阪市東淀川区東中島1- 3-14 Tel 06- 6379 - 1131 Fax 06- 6379 - 1130
K2092T-0128-1
www.keyence.co.jp
フリーダイヤル
0120-66-3000この商品に関する
お問い合わせは
Copyright⃝C 2008 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
12
※1,000mm まで測れます。 ※幅・段差を同時に測定できます。

キーエンス APSULT 事業部
- 11 -
樹脂・ゴム・フィルム
透明フィルムの厚み測定
・従来方法
抜き取りでマイクロメータなど接触式測定器を使用
して測定していました。
・従来の問題点
インライン測定ができないため、厚みのばらつきが
生じていました。
・測定のメリット
インライン測定を行えるため、連続測定が可能に
なり品質の向上につながりました。
ローラ表面を０原点としてワークを
ローラに巻きつけた（密着させた）
ときの出力で厚みを求めます。
圧延ローラのギャップ測定
傾きによる厚みのムラも測
定できます。
治具を使用することで入り
組んだ場所でも測定が可能
になります。
圧延ローラのギャップ・傾き測定
ローラの位置を測定し、左右
のローラの位置を測定・演算
することでギャップだけで
なく、圧延ローラの傾きを測
定します。
・従来方法
すきまゲージを使用して測定していました。
・従来の問題点
測定者によって値がばらつき、信頼性が不足してい
ました。また、接触して測定するため装置を停止し
て測定する必要がありました。
・測定のメリット
製造を行いながらローラギャップの測定が行えるため、
ギャップの変化を常時監視できるようになりました。
また、測定者によるばらつきがなくなり、品質の向上に
つながりました。
ローラを使用してシートを圧延する際、圧延ローラのギャッ
プを測定することでシートの厚みを管理できます。
その他の関連アプリケーション
多層シートの厚み測定
ローラ表面を０点（基準点）
としてシートの厚みを測定
します。
複数のシートを貼りあわせ
る多層シートの、それぞれの
貼りあわせた際の厚みを測
定します。貼り合わせの途中
の厚みも常時監視できるよ
うになり精密に調整を行え
るようになりました。
ローラを利用した厚み測定の方法
その他の関連アプリケーション
圧延ローラのギャップ測定
ローラに取り付けた治具の
変化を測定することで、ロー
ラの位置を測定します。

キーエンス APSULT 事業部
- 14 -
半導体・液晶
スパッタリングターゲットの磨耗量測定
ウェハを設置した際の傾きを
測定します。
非接触で測定を行うので作業
をとめることなく設置状態の
確認を行えます。
ポリッシングを行うことで
テーブル面に磨耗や傾きが
発生していないかを測定し
ます。
接触式変位形で測定するこ
とで、表面状態の影響をうけ
ず安定した測定が可能にな
りました。
ウェハ設置時の傾き測定
ポリッシングテーブルの平行度検査
その他の関連アプリケーション
・従来の問題点
様々なターゲットがあり、金属表面の乱反射で測定が
安定しないことがありました。
・測定のメリット
ワイドスポット光学系により、スパッタリングによっ
て磨耗した金属面でも高さを安定して測定できるよう
になりました。
測定が不安定な場合は余裕を見て交換時期を早める必
要がありましたが、磨耗状態を確認して交換できるよ
うになり、コスト削減につながりました。
シール材の断面積測定
ＰＤＰリブ形状測定
ＰＤＰのリブ形状を測定
します。
幅と深さを同時に測定す
ることで、精密な形状を確
認できるようになりまし
た。
塗布ノズルの横にレーザ変
位計を取り付け、塗布時の高
さを制御します。
ノズル先端に近い位置で塗
布対象物の高さを測定する
ことで、精密な高さ制御が可
能になります。
その他の形状測定関連アプリケーション
シール材の塗布ノズル高さ制御
その他のシール材関連アプリケーション
なりました。
なり、断面積から塗布量を正確に計測できるように
・測定のメリット
シール材の高さと幅から断面積を計算できるように
・従来方法
カメラによる拡大観察を行っていました。
・従来の問題点
シール材の大きさは測定できましたが、高さが測定
できないため、不正確でした。

工作機械の熱変形測定
周囲の温度変化によって加工精度が悪くなります。
AT-Vシリーズは耐熱80℃のため、熱が加わる環
境でも正確に測定が可能です。
HDクランプの平行度測定
平行度が出ていないと、ディスクが面ブレを起こし
ていました。AT-Vシリーズは分解能0.1μmのため、
高精度に平行度を測定できます。
ミッション部品の組付寸法測定
部品の加工ばらつきがあると、組付け時にクリアラ
ンス不良が発生しました。AT-Vシリーズは水が飛
散する環境でも高精度な測定ができます。
ガラス基盤の位置決め測定
厚み違いの異品種混入により破損を起こします。
AT-Vシリーズは接触式のため、透明、鏡面ワーク
でも安定して測定できます。
HDDシャーシーの反り測定
シャーシーの加工不良により読み取り不良が起き
ます。AT-Vシリーズはφ8mmのスリムヘッドのため
多点で測定ができます。
鋼板の厚み測定
圧延の不具合により厚みがバラつきます。AT-Vシ
リーズは高速サンプリングのため厚みの変化を素
早くキャッチできます。
クランクシャフトの加工不良検出
加工精度にバラつきがあると、耐久性に問題が生
じます。AT-Vシリーズの30mmタイプ1本でロング
レンジの測定が可能になります。
ピックアップの傾き測定
組付にバラつきがあると、読み取り精度が悪くなり
ます。AT-Vシリーズは完全密封構造のため、レン
ズ使用環境下でも実績があります。
圧入不良測定
圧入量にバラつきがあると、組付不良が起こります。
AT-Vシリーズは10mケーブルタイプも用意してい
るためケーブル配線も簡単にできます。
A T - Vシリーズだからこそ広がる多 彩なアプリケ ーション
6

キーエンス APSULT 事業部
- 9 -
測定対象物を選びません
特長
超音波方式の測定原理
音波が反射すれば測定対象物の材質に関係なく測定でき
ますので、精度、速度が問題にならなければ長距離測定で
は非常に有効な方法です。
タンクの液面レベル測定などでよく使用されます。
液面の波立ちが大き過ぎ
たり、泡立っている時は左
図のようにセンサヘッド
の前面にパイプを設置し
てください。パイプ内の液
面レベルを測定すること
で液面の波立ちを抑え、泡
の侵入を防ぐことができ
ます。
超音波式変位センサは、センサヘッドから超音波を発信
し、対象物で反射してくる超音波を再度センサヘッドで
受信し、この音波の発信から受信までの時間を測定する
ことで距離を測定しています。
距離を離しての測定が可能です。
選定のポイント
超音波式変位計
超長距離検出
ＭＡＸ１０ｍの離れた位置から測定を行えます。タンクレベル、巻
き量、たるみ量など変位量が大きい対象物も１台で測定できます。
搬送機械など移動物の妨げにもなりません。
金属、木材、ガラス、ゴムなどをはじめ、粉体、液体まであらゆる
材質の測定ができます。しかも非接触ですので粘度の影響や腐食の
問題もありません。
角度、平行度、反りを１台で測定
特長
対象物が変わった場合や、同じ対象物でも表面状態の変化などで、測定対象物から
のレーザ光量に変化があった場合の調整能力が重要です。高精度レーザ角度測定器
は、対象物の反射率に応じて、自動的に最適光量に調整します。面倒な光学フィル
タの取り替え・変更なしで“ダイナミックレンジ４０万倍”で測定が可能です。
測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の大きさに対して最適
なサイズの測定スポットに調整できます。
選定のポイント
高精度レーザ角度測定器
ディスク、テープなどの回転・走行ワークから、基板やマスクなどの平面ワーク
まで、対象物にレーザを当てるだけで簡単に測定可能です。
測定スポットサイズを変更できる「電動光学絞り機能」
発光ダイオードの光軸傾き測定

キーエンス APSULT 事業部
- 9 -
測定対象物を選びません
特長
超音波方式の測定原理
音波が反射すれば測定対象物の材質に関係なく測定でき
ますので、精度、速度が問題にならなければ長距離測定で
は非常に有効な方法です。
タンクの液面レベル測定などでよく使用されます。
液面の波立ちが大き過ぎ
たり、泡立っている時は左
図のようにセンサヘッド
の前面にパイプを設置し
てください。パイプ内の液
面レベルを測定すること
で液面の波立ちを抑え、泡
の侵入を防ぐことができ
ます。
超音波式変位センサは、センサヘッドから超音波を発信
し、対象物で反射してくる超音波を再度センサヘッドで
受信し、この音波の発信から受信までの時間を測定する
ことで距離を測定しています。
距離を離しての測定が可能です。
選定のポイント
超音波式変位計
超長距離検出
ＭＡＸ１０ｍの離れた位置から測定を行えます。タンクレベル、巻
き量、たるみ量など変位量が大きい対象物も１台で測定できます。
搬送機械など移動物の妨げにもなりません。
金属、木材、ガラス、ゴムなどをはじめ、粉体、液体まであらゆる
材質の測定ができます。しかも非接触ですので粘度の影響や腐食の
問題もありません。
角度、平行度、反りを１台で測定
特長
対象物が変わった場合や、同じ対象物でも表面状態の変化などで、測定対象物から
のレーザ光量に変化があった場合の調整能力が重要です。高精度レーザ角度測定器
は、対象物の反射率に応じて、自動的に最適光量に調整します。面倒な光学フィル
タの取り替え・変更なしで“ダイナミックレンジ４０万倍”で測定が可能です。
測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の大きさに対して最適
なサイズの測定スポットに調整できます。
選定のポイント
高精度レーザ角度測定器
ディスク、テープなどの回転・走行ワークから、基板やマスクなどの平面ワーク
まで、対象物にレーザを当てるだけで簡単に測定可能です。
測定スポットサイズを変更できる「電動光学絞り機能」
発光ダイオードの光軸傾き測定