06
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 3 透明体厚み測定
Ｌ トト
5 透明体の厚み表示
『測定値表示』をクリ します。
ック
『測定値取得開始』をクリックすると、測定値が表示します。
例えば、厚み１．ｍｍ の透明体を測定します。
０
06
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 2 透明体厚み測定
Ｌ トト
3 ＯＵＴ の演算方法を ドＡ 透明体』、
１ 『ヘッ
測定対象を『第１ピーク−第 ピーク』
２ に
設定します。
表面（第1ピーク）
裏面（第2ピーク）
4 センサヘッドのスケーリング
厚み寸法が解っているマス ワーク １
タ を ケ用意します。
『Ｏ Ｔ のスケーリング オフセッ を選択します。
Ｕ１
・ ト』
スケーリング設定の『測定データから設定』をクリ します。
ック
マスタワーク
（例えば、 １０
厚み ．ｍｍ）
挟み込み測定
2 演算方法及びオフセットの設定
①Ｏ Ｔ の演算方法を
Ｕ１ 『ヘッ Ａ＋ヘッ
ド ドＢ』に変更します。
②Ｏ Ｔ のオフセッ
Ｕ１ ト値にマスタワークの厚みを入力します。
例えば、 マスタワークの厚みが ０
１．ｍｍの場合、
オフセッ 『１． ０ ｍｍ』
トに ０ ０
０ と入力します。
③
3 マスタワークによるオートオフセット設定
①マスタワークを測定します。
『測定値表示』をクリ します。
ック
② マスターワーク
（例えば、厚み1.0mm）
③
④
備 考
①Ｏ Ｔ に挟み込み測定の結果を表示させる場合は、
Ｕ２ 上記の Ｕ １ を全て Ｕ ２』
『Ｏ Ｔ 』 『Ｏ Ｔ にして設定してください。
②挟み込み測定は測定対象物の上下振れの影響を排除することができますが、
そのためには２つのセンサヘッドの光軸調整（前ページ）が重要です。
③
06
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 1 透明体厚み測定
Ｌ トト
透明体厚み測定の設定方法
Ｌ−
Ｋ Ｇにて透明体の厚み測定する際の設定方法は
以下のよ になり
う ます。
ＬＫ−Ｇでは検出面として、表面と裏面の位置データが
得られますので片側から厚み測定ができます。 透明ガラス
準備
1 センサヘッドにＮＤ（減光） ィルタを装着します。
フ
センサヘッ ドの型式により Ｄ ィルタが異なり
Ｎフ ます。
ＬＫ−Ｇ ０／３
３ ５用 Ｌ Ｋ−Ｇ ０／８
８ ５用 ：Ｌ Ｋ−Ｆ１
ＬＫ−Ｇ ５
１ ０／１ ５用 Ｌ
５ Ｋ−Ｇ ０
４ ０／４ ５用 ：Ｌ
０ Ｋ−Ｆ２ Ｎ フ ルタ
Ｄィ
（Ｌ − １
ＫＦ）
ＬＫ−Ｇ ０
５ ０／５ ５用
０ ：ＬＫ−Ｆ２
※ＬＫ−Ｇ ８／１
０ ０／１ にはＮ フ
５ Ｄ ィルタは不要です。
2 センサヘッドの取付角度を調整します。
ＬＫ−Ｇの外形寸法図に記載させている角度ａの半分の角度に a
2
傾ける
センサヘッドを傾けて取り付けます。
a
※ＬＫ−Ｇ ８／１
０ ０／１ は傾けて取付ける必要はあり
５ ません。
コントローラの設定
付属ソフ Ｌ − ａ ｉ ａ ｏ（Ｌ − １Ｗ）
ト Ｋ Ｎ ｖｇ ｔ ｒ Ｋ Ｈ を使用して、
コト ン ローラの設定を行います。
1 設定の初期化
『初期化』をクリ します。
ック
初期化を実行すると、付属ソフトの設定内容が初期値になります。
『コントローラへ設定を送信』をクリ します。
ック
2 ヘッ ドを ドを に設定します。
ドＡの測定モー 『透明体 』
２、
設置モー 『正反射』
測定モードを透明体２に設定すると、透明体の表面、裏面
それぞれでＡ Ｌ
Ｂ Ｅ調整が働きますので、安定した受光量が得られます。
※Ａ Ｌ
Ｂ Ｅ調整 測定対象物表面をセンシングしてレーザ光量を最適に調整する機能です。
：
挟み込み測定
各センサヘッドごとにスパン校正する方法
①測定対象物をセンサヘッド間に挿入します。
②スケーリング設定の『測定データから設定』をクリ します。
ック
③
注意：
ヘッ Ａ
ド とヘッ Ｂの
ド 『セッ ボタンは
ト』
時間を空けずに続けて押してく ださい。
④
⑤ ヘッ Ａ
ド
A
B
ヘッドB
注意：
ヘッ Ａ
ド とヘッ Ｂの
ド 『セッ ボタンは
ト』
時間を空けずに続けて押してく ださい。
⑥
⑦
⑧
挟み込み測定
変位測定器の挟み込み厚み測定
センサヘッ ２ヘッ
ドを ド接続し、挟み込みにて
厚み測定する際の設定方法は以下のよ になり
う ます。
挟み込み測定はインラインで測定対象物の上下振れ
の影響を排除することが可能です。
シコ
リ ンウエハー
準備
1 センサヘッド取り付け治具
基準距離
挟み込み測定するために、センサヘッド取り付け治具を用意します。２つのセンサヘッド間の
設置距離が測定対象物を挿入した状態で、センサの基準距離になるような取り付け治具に
します。 取り付け治具は装置の取付箇所に合わせて作成
尚、 基準距離
ください。
コの字型の一体治具の方が取付部の振動
ワンポイント
アドバイス の影響がキャンセルできます。
2 光軸を調整します。
２台のセンサヘッドの光軸が一直線になるように調整します。対象物を上下移動させても上下
のスポット位置がズレないようにしてください。
光軸
仮の測定対象物と して、薄い白色樹脂板か紙を測定します。 これらの対象物を
ワンポイント
アドバイス 測定するとレーザスポットが透けて見えます。表裏のスポットが対象物を上下移
動させてもズレないようにセンサヘッドの取り付けを行ってください。
コントローラの設定
付属ソフ Ｌ − ａ ｉ ａ ｏ（Ｌ − １Ｗ）
ト Ｋ Ｎ ｖｇ ｔ ｒ Ｋ Ｈ を使用して、
コト ン ローラの設定を行います。
1 設定の初期化
『初期化』をクリ します。
ック
① 初期化を実行すると、付属ソフトの設定内容が初期値になります。
『コントローラへ設定を送信』をクリ します。
ック
②
［ レーザ 変 位 測 定 のシステム 構 成 ］
レー ザ 測 定 器 演 算・制 御
■ 反射タイプ 共焦点方式
■ 反射タイプ 2次元変位センサ
■ 波形処理タイプ
RJ
LT-9500シ ーズ
リ LJ-Gシ ーズ
リ
■ 透過タイプ
■ 反射タイプ 三角測距方式
■ 数値処理タイプ
LKシ ーズ
リ
LK-Gシ ーズ
リ
RD
LBシ ーズ
リ LS-5000シ ーズ
リ
LS-7000シ ーズ
リ
（新原理LED方式）
記 録・観 測
■ モバイルタイプ
■ 小型・絶縁8ch高速マルチタイプ
■ マルチ入力タイプ
レー ザ 測 定 器
GR-7000 NR-500/600 NR-1000/2000
FAX お 問い合わせシート レーザ変位測定についてのご 質問・資 料請求はこのFAXシートでど うぞ
0 6 - 6379 - 1130
FAX No.
会社名
フリガナ
所属 役職
・ お名前
〒
所在地
TEL FAX
( ) ( )
業 種 製造品目
E-mail
本ガイドの測定器について、 希 望の□に 印をご記入く
ご ださい。
□ 変 位 計 総 合カタログ 送 付 □ 詳 細 説 明 □ 実 機 テスト □ 見 積り □ E - m a i lマガジン配 信
本社 研究所／APSULT事業部 〒 533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 1131 Fax 0 6 - 6379 - 1130
・
APSULT事業部
熊 谷 048 - 527 - 0311 東 京 03 - 5715 - 6211 厚 木 046 - 224 - 0911 安 城 0566 - 71- 0011 滋 賀 077 - 526 - 8122 岡 山 086 - 224 - 1911
盛 岡 019 - 603 - 0911
川 越 049 - 240 - 3211 立 川 042 - 529 - 4911 長 野 026 - 237 - 0911 名古屋 052 - 971 - 3911 京 都 075 - 352 - 0911 高 松 087 - 834 - 8911
仙 台 022 - 224 - 0911
浦 和 048 - 832 - 1711 八王子 042 - 648 - 1101 松 本 0263 - 36 - 3911 一 宮 0586 - 47 - 7511 大阪北 06 - 6338 - 1471 広 島 082 - 261 - 0911
山 形 023 - 626- 7311
水 戸 029 - 302 - 0811 川 崎 044 - 220 - 3011 静 岡 054 - 203 - 7100 津 059 - 224 - 0911 大阪中央 06 - 6943 - 6111 北九州 093 - 511 - 3911
郡 山 024 - 933 - 0911
柏 04 - 7165 - 7011 横浜中央 045 - 263 - 1311 浜 松 053 - 454 - 0911 富 山 076 - 444 - 1433 堺 072 - 224 - 4911 福 岡 092 - 452 - 8411
宇都宮 028 - 627 - 1911
幕 張 043 - 296 - 7511 藤 沢 0466 - 29 - 0711 豊 田 0565 - 25 - 3211 金 沢 076 - 262 - 0911 神 戸 078 - 322 - 0911 熊 本 096 - 278 - 8311
長 岡 0258 - 38 - 5311
神 田 03 - 5825 - 6211
高 崎 027 - 328 - 1911
海 外 事 業 部 〒533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 2211 Fax 0 6 - 6379 - 2131
AP8-0128
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
K996T-0019-2
Copyright ⃝ 2 008 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved.
C
［ レーザ 変 位 測 定 のシステム 構 成 ］
レー ザ 測 定 器 演 算・制 御
■ 反射タイプ 共焦点方式
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RJ
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■ 透過タイプ
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■ 数値処理タイプ
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リ
LK-Gシ ーズ
リ
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リ
LS-7000シ ーズ
リ
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盛 岡 019 - 603 - 0911
川 越 049 - 240 - 3211 立 川 042 - 529 - 4911 長 野 026 - 237 - 0911 名古屋 052 - 971 - 3911 京 都 075 - 352 - 0911 高 松 087 - 834 - 8911
仙 台 022 - 224 - 0911
浦 和 048 - 832 - 1711 八王子 042 - 648 - 1101 松 本 0263 - 36 - 3911 一 宮 0586 - 47 - 7511 大阪北 06 - 6338 - 1471 広 島 082 - 261 - 0911
山 形 023 - 626- 7311
水 戸 029 - 302 - 0811 川 崎 044 - 220 - 3011 静 岡 054 - 203 - 7100 津 059 - 224 - 0911 大阪中央 06 - 6943 - 6111 北九州 093 - 511 - 3911
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柏 04 - 7165 - 7011 横浜中央 045 - 263 - 1311 浜 松 053 - 454 - 0911 富 山 076 - 444 - 1433 堺 072 - 224 - 4911 福 岡 092 - 452 - 8411
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神 田 03 - 5825 - 6211
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仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
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C
厚み測定
測定方法
レーザ変 位 計で対 象 物との距 離を測 定し、その測定値を演 算することにより対象物の厚みを求めます 。
測定概要
レーザ変位計
レーザ変 位 計は厚みを測 定したい対 象 物の変 位が測 定できます 。2つ
のセンサヘッドを上下に取り付けることにより対象物との距離AとBが測
定できますので、全体の幅CよりA＋Bの値を引くと対象物の厚みtを求め
ることができます。
〈レーザ変位測定器の選定ポイント〉
鋼板
①高速サンプリング
A
〈厚みを求めるための機能〉
C
②オートオフセット機能 B
③X＋Y演算機能
厚 みt ＝ C − A＋ B）
（
1 選 定 ポ イ ント 高 速 サ ン プリン グ
高 速移動
インラインでの厚み測 定は測 定 対 象 物が高 速に移 動しますので、
レーザ変 位 計のサンプリングも高 速サンプリングが求められます 。
【ワンポイント】
厚み測 定を正 確に行うためには、
レーザ変 位 計のサン
プリングスピードが重 要です。
例）500mm/秒で移動する対象物を測定した場合、 レ
粗くなる
ーザ変位計のサンプリングスピー ドが200μsとする
とサンプリング間隔は0.1mmごとになります。
サンプリング間隔 500mm/秒×サンプリングスピー
： ド200μs＝0.1mm
厚みの変化（1周期）
レーザ変位計のサンプリング周期が遅いと
厚みの変化が粗く ます。
なり
片 側 からの 厚 み 測 定 方 法
2 機 能 ポ イ ント オ ートオ フ セット 機 能
片側から対 象 物の厚みを測 定する場 合 、厚み寸 法の解っているものを
用いて、基準合わせが必要です。簡単に基準合わせを行う機能として、
オートオフセット機 能が求められます 。
【オートオフセット機能】
オフセット値に対象物の厚みLを登録します。
レーザ変位計は距離Bを測定します。
厚みLの対象物を測定し、 トオフセッ
オー トすると測定値
が厚みLになるように自動的に設定されます。
対象物の厚みが変化すると距離Bが変化し、 厚みLが測
B A
定できます。
厚みL ＝A−B
※厚みの解っているものを測定し、 トオフセッ
オー トするだ
けで基準合わせができます。
L
M e a s u r i n g G u i d e b o o k
上下挟み込みの厚み測定方法
3 機 能 ポ イ ント X＋Y 演 算 機 能
挟 み 込 みで厚 みを測 定 するケースがあります 。挟み込み測 定は対 象
物の上 下 振れに影 響されない測 定 方 法です 。挟み込み測 定する際に
は、X＋Y演 算 機 能が求められます 。
【X＋Y演算機能】
対象物の厚みをtとします。
2つのレーザ変位計は距離AとBを測定します。図中CからA＋Bを
引くと厚みtが求められます。対象物が上下に振れてもA＋Bは一定
になりますので、振れに強く ます。
なり
〈調整方法〉
A
オフセット値に対象物の厚みtを登録します。
厚みtを実際に測定し、 トオフセッ
オー トすると測定値が厚みtに C
なるように自動的に設定されます。 対象物の厚みが変化すると
B
A＋Bが変化し、厚みtが測定できます。
厚 みt ＝ C − A＋ B）
（
これら３つの選定 機能ポイン
・ トを兼ね備えることで正確な厚み測定が可能になります。
高 速・高 精 度 C C Dレーザ 変 位 計 L K - Gシリーズは
この3 つの測 定ポイ トを装 備したレーザ 変 位 測 定
ン
機になります 。
■ 超 高 速サンプリング5 0 K H z
■オートオフセット機 能 装 備
■ X＋Y演 算 機 能 装 備
LK-Gseries
高速 高精度CCDレーザ変位計
・
上下挟み込みの厚み測定の注意点
上 下 挟み込みの厚み測 定は対 象 物が 上 下に振れてもA＋Bは一 定に
A
なりますので、振れに強くなりますが、2つのセンサヘッドが同時サンプリ C
B
ングであることが重要です 。
厚 みt ＝ C − A＋ B）
（
高 速・高 精 度 C C Dレーザ変 位 計 L K - Gシリーズは2つのセンサヘッドで
同時サンプリングしています 。
センサヘッドA A＋B
〈注意点〉 同
時
サ
2つのセンサヘッドが同時サンプリングでないと、対象 ン
物が上下振れした場合、振れの位相が少しずれるため、 プ
リ
A＋Bが一定になりません。 の ン
場 グ
上下振れ 一定
合
センサヘッドB A＋B
同
時
サ
ン
で プ
な リ
い ン
場 グ
上下振れ 振れる
合
※位相が少しずれるため振れる
翻訳キーワード集
