仕様
■ センサ部（表示器一体型）
種類 超微少流量タイプ 中流量タイプ
微少流量タイプ
型式 FD-SS02 FD-SS20
NPN/PNP切替出力 FD-SS2
定格流量範囲※1 0∼200mℓ/min 0∼20ℓ/min
0∼2000ｍℓ/min
使用可能流体 水
・油・非腐食性液体
密度指定範囲 0.3∼2.0g/cm 3
低密度ゼロカット※2 初期値0.5g/cm 3 （0∼2.0g/cm 3の間で変更可能）
ゼロカット流量 初期値※3 10mℓ/min 100mℓ/min 1ℓ/min
ゼロカット設定範囲 0∼400mℓ/min 0∼4000mℓ/min 0∼40ℓ/min
接続口径 Rc1/4 Rc1/4 Rc3/8
パイプ内径 φ1.0mm×2本 φ2.1mm×2本 φ5.0mm×2本
使用流体温度 0∼100 ℃ （凍結・沸騰なきこと）
使用圧力範囲※4 5ＭPa以下 （60℃以上 1MPa以下）
耐圧力※4 10MPa以下 （60℃以上 2MPa以下）
水：粘度1cSt、 FSのとき 0.03MPa以下 0.06MPa以下 0.1MPa以下
圧力損失
粘度30cSt、FS/2のとき 0.3MPa以下 0.2MPa以下 0.1MPa以下
表示方式 4桁7セグメントLEDによる2段表示 （上段現在値：赤色、 下段設定値：緑色）
出力：赤LED×2 （制御出力1・2） 設定インジケータ：緑LED×2、
、 バンク表示灯：緑LED、 アラーム表示灯：赤LED、
動作表示灯
ステータス表示灯 （赤点灯：振動警告、 緑点灯：満水 （正常） 緑点滅：気泡混入警告）
、 ：赤・緑LED、 フローインジケータ：赤・緑LED×3
10mℓ/min
Std 1mℓ/min 0.1ℓ/min
表示分解能
1mℓ/min
RESO 0.1mℓ/min 0.01ℓ/min
0∼25% of F.S.時：±1% of F.S.
直線性
25∼100% of F.S.時：±4% of Rdg
精度※5
ゼロ点安定性※6 ±1％ of F.S.
繰返し精度 50ms∼100ms：±3% of F.S.、 0.5s∼1s：±1％ of F.S.、 2.5s∼60s：±0.5％ of F.S.
応差（ヒステリシス） 可変
応答時間（チャタリング防止） 50ms/100ms/500ms/1s/2.5s/5s/10s/30s/60s 可変
1/10/100/1000/10000 （mℓ）
0.1/1/10/100/1000 （mℓ） 0.01/0.1/1/10/100（ℓ）
積算流量単位
から選択可能
から選択可能 から選択可能
積算データ記憶周期 10秒ごとにメモリに書き込み
メモリバックアップ EEPROM （データ記憶期間：10年以上、 データ書き換え可能回数：100万回以上）
NPNオープンコレクタ最大100mA/ch（40V以下） 、
制御出力/積算パルス出力/異常警報出力※7 PNPオープンコレクタ最大50mA/ch（電源電圧24V以下） 、
残留電圧NPN：1V以下、PNP：2V以下、3出力（N.O./N.C.切換可能）
積算リセット/バンク切換※8 /ゼロ調整/流量ゼロ 無電圧入力 （有接点、 無接点） 入力時間20ms以上、 入力は2点選択式
アナログ出力 4-20mA 最大負荷抵抗260Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能
電源電圧 DC24V ±10％、リップル （P-P）±10％以下
消費電力（消費電流） 通常時：2200mW （90mA） エコモード：1700mW
、 （70mA）
※9
耐電圧（電源・信号線−本体金属部間） コンデンサアースのため規定されていません
※9
絶縁抵抗（電源・信号線−本体金属部間） コンデンサアースのため規定されていません
保護構造 IP65
使用周囲温度 0∼＋50℃（氷結しないこと）
耐環境性 使用周囲湿度 35∼85%RH（結露しないこと）
耐振動 10∼55Hz 複振幅0.15mm X、 Z、Y、 各方向2時間
接液部※10 ※10
通水部：SCS14・SUS316L
・PPS Oリング：フッ素ゴム （FKM）
材質
接液部以外 ケース樹脂部：PBT/PPS、 ケーブル：PVC
質量 約1650ｇ
約1600ｇ 約2100ｇ
※1 定格流量範囲の2倍まで表示可能です。 流体の密度が1.00g/cm 3の時の範囲です。密度が1.0g/cm 3を超えた場合、 定格流量範囲×2/密度まで表示できます。
密度が1.0以下の場合、 定格流量範囲×2まで表示できます。
※2 密度ゼロカット以下のとき、 流量は0ℓ/min表示になります。 密度ゼロカッ トは積算流量に反映されます。
※3 ゼロカッ ト流量以下の流量は0ℓ/min表示になります。 ゼロカットは積算流量に反映されます。 ※4 詳しくはP9の特性図をご参照ください。
※5 精度については、 出荷時調整設備において、 常温の水 （25℃）で30秒間の積算量の誤差により規定しています。
お使いの液体や気泡混入
・振動の状態、 検出部配管の汚れの状態によりズレが大きくなる可能性があります。
温度特性による直線性とゼロ点安定性の変動分は、 次の参考値分が加算されます。 ［±0.02% of Rdg/℃（直線性） ＋
］ ［±0.1％ of F.S./℃（ゼロ点安定性） ］
F.S. フルスケール）
（ は定格流量を示し、 （リーディング）
Rdg は瞬時流量表示を示します。
※6 ゼロ点安定性は、 設置後のゼロ点調整後のズレ量になります。 ※7 警報出力は最大20mA。 ※8 バンク切換選択時は2バンクまで設定可能。
※9 本体金属部と内部回路0V （青線） 3kV、
は、 100pFのコンデンサにより接続されています。 ※10 Ｏリングの材質がフッ素ゴム （FFKM）タイプもラインナッ プしておりますので別途お問い合わせください。
■ 分 離表示ユニット
DIN取付※1 FD-SA1N （親機） FD-SA2N
/ （子機）
NPN出力
パネル取付 FD-SA5N
型式
DIN取付※1 FD-SA1P（親機） FD-SA2P
/ （子機）
PNP出力
パネル取付 FD-SA5P
増設可能台数（DIN取付のみ） 親機1台に対し、 子機は3台まで （合計4台） 増設可能
表示方式 4桁7セグメントLEDによる2段表示 （上段現在値：赤色、 下段設定値：緑色）
出力：赤LED×2 （制御出力1・2） 設定インジケータ：緑LED×2、
、
動作表示灯
バンク表示灯：緑LED、 アラーム表示灯：赤LED、 単位表示LED：緑LED
表示分解能 センサ仕様による
応答時間（チャタリング防止） （センサ仕様による応答時間） ＋20ms
積算表示単位 センサ仕様による
積算データ記憶周期 センサ仕様による
メモリバックアップ EEPROM （データ記憶期間：10年以上、 データ書き換え可能回数：100万回以上）
NPN/PNPオープンコレクタ最大100mA/ch※2 （NPN：40V以下、PNP：30V以下）、
制御出力/積算パルス出力/異常警報出力
残留電圧1V以下、 3出力 （N.O./N.C.切換可能）
無電圧入力 （有接点、 無接点） 入力時間20ms以上、 入力は1点選択式
積算リセット/バンク切換/ゼロ調整
4-20mA 最大負荷抵抗260Ω、 アナログ出力レンジを任意に設定可能
アナログ出力
DC24V ±10％、 リップル（P-P） ±10％以下
電源電圧
通常時：2640mW （110mA） エコモード：1680mW
、 （70mA）
消費電力（消費電流）
0∼＋ 50℃ （氷結しないこと）
使用周囲温度
耐環境性
35∼85%RH （結露しないこと）
使用周囲湿度
耐振動 10 ∼ 55Hz 複振幅1.5mm X、 Z、
Y、 各方向2時間
材質 本体ケース：ポリカーボネイト、 キートップ：ポリアセタール、 前面シート ：ポリカーボネイト、ケーブル：PVC
DIN取付タイプ 約115ｇ
質量
パネル取付タイプ 約105ｇ
※1 DIN取付タイプをご使用のとき、DL-RS1AおよびFD-Sシリーズ以外の機器とは増設による接続を行なわないでください。 ※2 警報出力は最大20mA
8
■ 金 属部のアースについて
■ 配管について
本体口金部を含む金属部は、 内部回路0V（青線）とはコンデンサ（3kV、
●FD-Sシリーズの直前直後には、直管部は不要です。
100pF）により接続されています。
●FD-Sシリーズに配管の荷重がかからないように、 配管を装置に固定して
ください。 FD-Sシリーズ前後の配管を、本体にできるだけ近いところで装
■ その他の注意事項について
置などに固定することにより、 振動や応力を低減できます。
●FD-Sシリーズの直前直後の配管は、配管の軸がずれないように同一直
線上に配置して ください。
●測定に障害を起こすおそれのある電気機 器（モー
注意
タ、変圧器、無線機器、電解槽、その他電磁誘導障
●検出部のパイプ内径が小さいため、 継ぎ手部に使用するシールテープかす
害、静電誘導障害を発生させるもの）の付近を避けて
が検出部に詰まると故障の原因となるので注意してください。 検出部がつ
ください。
まらないようにフィルタの設置やメンテナンス用バイパス配管の設置をおす
すめします。パイプ内径については「仕様」（8ページ）を参照ください。
●振動の大きい場所は避けてください。
●直射日光を受ける場所はできるだけ避けてください。
直射日光が当たる場合は、日よけなどを設けてください。
■ 流れ方向について
●腐食性雰囲気および湿度の高い場所はできるだけ避
流体の流れ方向は、 初期状態で本体のボディの“→”方向ですが、設定に
けてください。
より切り替えが可能です。流量方向の変更方法については、 「取扱説明
●高所や狭い場所はできるだけ避けて、作業が 容 易
書」を参照してください。設定した方向の逆向きに流体が流れた場合は流
にできる場所を選んでください。
量ゼロとして判定しますが、逆流時に瞬時流量を表示する設定も可能で
●流体の流通時および停止時でも、測定流体が通水部
す。設定の詳細は、「取扱説明書」を参照してください。
を満水状態になるよう配管設計してください。
◎ 安全にご使用いただくために
■ 一般的な注意事項
1.製品の仕様範囲外ではご使用にならないでください。 取
危険 1.電源には絶縁された安定化電源をご使用ください。
注意
扱説明書に記載された内容に準拠してご使用ください。 2.ケーブルに無理な引っ張り力を加えないでください。
2.原子力・鉄道・航空・車両・娯楽遊具など安全性が要 3.配線工事途中などにケーブル先端が水に浸からないよう
求される用途へのご使用はさけてください。 にしてください。
3.製品の改造はおこなわないでください。 4.電源線・動力線などと一緒に配線しないでください。
4.本製品はサニタリー仕様ではありません。 飲料・食品・ 5.ノイズ源からは極力離してください。
医療用薬液などにはご使用にならないでください。
5.本製品は防爆仕様ではありません。 可燃性のガス等の
雰囲気ではご使用にならないでください。
■ 配管についての注意事項
6.腐食性の液体には使用しないでください。
警告 足場になる箇所に取り付けないでください。
注意 取引用メータとしては使用できません。
注意 1.設置時および設置後、 強い圧縮力・引っ張り力・荷重・
軸ずれなどによる強い配管応力がかかる場所には設置し
■ 取り扱いについての注意事項 ないでください。 過度の応力や加重が加わった場合は、
不安定動作になる可能性があります。
1.落としたり、打ち当てたり、過 大な衝撃を加えないで
注意 2.継ぎ手取付時には、 本体の口金部を工具で固定してくだ
ください。 さい。取付時に本体の口金部以外を固定して取付ようと
すると破損の恐れがあります。
2.ケーブルを強く引っ張らないでください。
3.シールテープや接着剤が配管ねじ部の内側からはみ
3.設定スイッチを尖ったもので押さないでください。
出ないようにしてください。
4.流量調整バルブ等はセンサの下流側に設置して ください。
5.保守を容易にするため、 取り付け位置にメンテナンス
■ 検出流体についての注意事項
スペースを設置することを推奨します。
6.衝撃圧を受ける配管系に設置しないでください。
1.FD-Sシリーズ内部の検出用パイプに異物が堆積する
注意
7.配管内に異物などがある場合は洗浄後にセンサを取り
と計測誤差が発 生するので、 フィルタなどを設置して
付けてください。
検出流体から異物を取り除いてください。
8.配管の熱膨張があるときは引き回しで応力を緩和して
2.検出流体温度範囲を守って、 ご使用ください。低温で使
ください。
用される場合は凍結防止措置を行なってください。 凍結
9.直射日光などの強い光の当たる場所、 熱源からの輻射
するとボディが破損し、水漏れするおそれがあります。
を受ける場所に設置しないでください。
10.水没する可能性のある場所に設置しないでください。
11.振動が少ない場所に設置してください。 設置時は、 本体
■ 配 線についての注意事項 にできるだけ近い場所で配管を固定して ください。
1.改造および不必要な分解をしないでください。 感電およ
警告
び誤動作や破損の原因になります。
■ その他の注意事項
2.素手で配線作業をしないでください。 電源を切っても電
荷が残っているので、感電の原因になります。
注意 1.電源投入後10秒間はパワーONリセット時間です。この
3.濡れた手で、配 管や配 線などの 作 業をしないでくだ
間の出力は使用しないでください。
さい。感電の原因になります。
2.電源投入後は初期ドリフトの可能性があります。 微妙な
4.配線時には線の色を確認して ください。
流量差を検出する場合は約15∼30分のウォームアップ
5.定格範囲内で使用してください。本製品は直流電源で使用
を行なってください。
可能なセンサです。交流電源などを印加しないでください。
3.本体に強力な磁石や磁場を近づけないでください。
また、許容範囲を超える負荷は使用しないでください。
11
仕 様
センサヘッド LK-035/030 LK-085/080 LK-500
LK-010
型式
アンプユニ ト
ッ LK-2010/2000 LK-2110/2100 LK-2500
LK-3100
高精度モー ド ロングモー ド
測定モード — —
ノーマルモー ド 鏡面測定モー ド
３ mm
０ ８ mm
０ ３０
５ mm ５０
０ mm
基準距離 １ mm
０ ７０
. mm
± mm
５ ±５１ mm ± ０ mm
１０ ± ５ mm
２０
測定範囲 ± mm
１ ± . mm
０９
赤色半導体レーザ
クラス B ★
波長 ６ ０ （可視光）
７ nm クラス２ ６ ０ （可視光）
９ nm ３
光源
出力 最大 . ５
０９ mW 最大 ５
１ mW
最大 . ５
０９ mW
約 ３ μm ０ ０
φ０ （ ３ ） 約 ７ μm ０ ０
φ０ （ ８ ）
約 ０７
φ . mm 約 ０３
φ . mm
約０
２ μm
スポ ト径
ッ （基準距離にて）
約 ０ ８０ （ ３ ）
３ × ５ μm ０ ５ 約 ０ １ ０ μm ０ ５
７ × １０ （ ８ ）
± . ％of F.S.※１
０１
直線性 ± .５
０２ ％of F． ※１
S． ± .５
０２ ％of F．．１
S※
１μm ※２ ３μm ※２ １ μm ※２
０ ５ μm ※２
０
０１
. μm ※２
繰り返し精度
電圧出力 ± V μm／mV） ３
５（１ ± V３
５（ μm／mV） ３ ± ０（１ μm／mV） ３
１V ０ ± V ５ μm／mV） ３
５（ ０
± ０（ . μm／mV） ３
１ V ０１ ± V ０１
９（ . μm／mV） ３ ※ ※ ※ ※
※ ※
アナログ
出力インピーダンス １０
０Ω
出力
電流出力 ４ ２ mA
− ０ （MAX ５ Ω） ３ ※４
３０ ※
NPNオープンコ タ
レク （N.C.） １ ０ （ ０
最大 ０ mA ４ V以下） 残留電圧1V以下
アラーム出力
１ ８ ２ ６ ５ ２ ２ ４ μs可変
２ 、５ 、１ 、０ ８ ５２
１ μs １ ２ μs
０４
サンプリング周期
オートゼロ、アラーム時アナログ出力ホール ド機能 オー トゼロ／アラーム時アナログ出力ホール ド機能
ゲイ ン切換機能、 レスポンス切換機能、 鏡面測定モード ゲイ ン切換機能／レスポンス切換機能
副機能
スパン シフ
・ ト調整機能、 サンプリ ング周期変更機能 スパン シフ
・ ト調整機能
電源電圧 DC ４ １ ％リ プル ０ （P−P）
２ V± ０ ッ １ ％ 以下
定格
最大消費電流 ４０
０ mA以下
００ ％of F． ／℃
.４ S．
センサヘッド ００ ％of F.S.／℃
.１ ００ ％of F.S.／℃
.２
温度
００ ５
. ０ ％of F． ／℃
S． ００ ％of F.S.／℃
.１
アンプユニ ト
ッ
特性
IP ４
６（センサヘッ ド） IP ７
６（センサヘッ ド）
保護構造
白熱ラ
・ンプ 蛍光灯 ０ ０ lx以下
１００
使用周囲照度
０ ∼＋ ０
５℃
使用周囲温度
耐環境性
３ ％∼ ５
５ ８ ％RH （結露な と）
きこ
使用周囲湿度
１∼５
０ ５ Hz 複振幅 . mm
１５
耐振動
Ｘ Ｚ各方向 時間
Ｙ ２
センサヘッド アルミ キ ス
ダイ ャ ト
材質
アンプユニ ト
ッ ポ カーボネー
リ ト
約５
８g 約６g
２０ 約８g
３５ 約０g
７０
センサヘッド
質量
（コード含む） 約１g
５５
アンプユニ ト
ッ
★クラス2タイプについては別途お問い合わせください。
※1 LK-010: サンプリング周期2048μs、弊社標準対象物 （ジルコニアブロックゲージ） にて LK-035/030 LK-085/080: 弊社標準対象物
・ （ジルコニアブロックゲージ） にて LK-500: 弊社標準対象物（白セラミックブロックゲージ）にて
※2 弊社アナログコントローラ （RJ-800、
RD-50）に接続、平均回数64回にて （LK-010サンプリング周期2048μs） 注） オシロスコープ、 高速A／D変換ボードなどで観測した場合、 コモンモードノイズによりアナログ出力のリッ プルが1mV以上になる
ことがあります。
※3 LK-010: 測定不能時は、 （21mA）
12V になります。 LK-035/030 LK-085/080: 測定不能時は、 （31.2mA）
・ 12V になります。 ※4 アナログ電圧出力±5Vの範囲 （LK-010では±10Vの範囲）がアナログ電流出力4−20mAになります。
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
可視光レーザ変位センサ LB-1000シリーズ レーザ変位センサ LBシリーズ
種類 長距離タイプ 高分解能タイプ
種類 高精度タイ プ ロングレンジタイ プ 超ロング レンジタイ プ
センサヘッド センサヘッド
LB-040 LB-080 LB-300 LB-01 LB-02
型式 型式
アンプユニット アンプユニット LB-60 LB-62
LB-1000 LB-1100 LB-1200
基準距離 ４ mm
０ ８ mm
０ ３０
０ mm 基準距離※１ １ ０mm
０ ４０mm
測定範囲 ± mm
５ ±５
１ mm ± ０ mm
１０ 測定範囲 ± ０mm
４ ± ０mm
１
光源 赤色半導体レーザ 赤外半導体レーザ 光源 半導体レーザ （波長７ ０nm） ３mW クラス
８ 最大 ３B
６ ０ （可視光） ラ ３
７ nm ク スＢ スポ ト径
ッ １０ ２０mm ４
．× ． （１ ０mmにて） φ mm ０mmにて）
１ （４
波長 ７０ ｍ
８ ｎ （不可視） ラ ３
ク スＢ
直線性（白紙にて） １６
．％ofF.S. ０ ２
（８ ∼１ ０mmにて） ３ １％ofF.S.
出力 最大 ｍＷ
３ （平均 ． １ ｍＷ）
５ 最大 ０ （平均 ０
２ ｍＷ １ ｍＷ） ※
スポ ト径
ッ （基準距離にて） １２
× mm １ × ．mm
．２
２５ １ μm ０
０ （５ ０ms時） ０ （２
/４ μm ０ms時）/ ２ （６
μm ０ms時） ５ （２ms時）
/１ μm /
分解能※２
１ ０ （０７ms時）
８ μm ． ５ μm ．
０ （０１ ５ms時）
直線性 （白紙にて） ０ ５ ｏ ＦＳ
． ％ ｆ ．．
２ ０ ％ｏ ＦＳ
． ｆ ．．
４
出力電圧 ± （０１
４V ．V/mm） ± （０４V/mm）
４V ．
分解能 （白紙で基準距離にて） ２ （ Ｏ時）
μm Ｌ ８ （ Ｏ時）
μm Ｌ ５ μm Ｌ
０ （ Ｏ時） アナログ
電圧出力 インピーダンス １００Ω
電圧出力 ± Ｖ１
５（ mm/Ｖ） ± Ｖ３
５（ mm/Ｖ） ± Ｖ ２ mm/Ｖ）
５（ ０
アラーム出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ最大５０mA (４０V以下) 残留電圧１ 以下(N.C.)
V
アナログ出力 イ ンピーダンス １０
０Ω
電流出力 ４ ２ ｍ （適用負荷 ５ ΩＭＡ ）
−０ Ａ ３０ Ｘ ０６Hz ５ ０ms時） ８Hz ２
． （０ /１ （ ０ms時）/ ６Hz ６
（ ０ms時） ０ （２ms時）
/２ ０Hz /
応答性 ７ ０Hz ０７ms時）
０ （． ３ Hz ０１
ｋ（． ５ms時）
アラーム出力 ＮＮ
Ｐ オープン レ タ最大 ０ ｍ （ ０
コク １０ Ａ ４ Ｖ以下）残留電圧 Ｖ以下 ．．
１ （ＮＣ ）
各− ３dBにて 各− ３dBにて
９ ５ （ＨＧ
１ Hz Ｉ Ｈ時） ６ （ＭＤ時） Hz Ｌ
/ Hz Ｉ
３ / （ Ｏ時）
９
応答性
副機能 ゼロ点調整、 スパン調整、 感度切換、 レーザ発光停止入力、 応答速度切換
各− ｄ にて
３Ｂ
電源電圧 DC１ − ４V ± ０ ッ （P-P）０
２２ １ ％リ プル １ ％以下
副機能 オー ゼロ/応答性切換/オー レスポ コ ト
ト ト ンス ン ロール/相互干渉防止回路 ３ Ｈ ）
（ ０ ｚ 内蔵 定格
消費電流 １ ０mA以下
２ １ ０mA以下
２
電源電圧 Ａ １０ ２ ０ １ ％ ０ ０ ｚ
Ｃ ０ ∼ ４ Ｖ± ０ ５ / Ｈ
６
定格
センサヘッド ００ ％ofF.S./℃
．２ ００ ％ofF.S./℃
．４
消費電力 約５ Ａ
１Ｖ
温度特性
アンプユニット ００ ％ofF.S./℃
．４ ００ ％ofF.S./℃
．３
センサヘッド ０ ２ ｏ ＦＳ/ ℃
．％ ｆ. ．
０
温度特性
白熱ランプ 蛍光灯 ４ ０ Rx 以下
使用周囲照度
・ ：０ ０
アンプユニット ０ ２ ｏ ＦＳ/ ℃
．％ ｆ. ．
０
使用周囲温度 ０ ５℃
∼＋ ０
蛍光灯 ２ ０ Rｘ 蛍光灯 ４ ０ R ｘ
使用周囲照度 白熱ランプ、 ：５ ０ 以下 白熱ラ ンプ、 ：０ ０ 以下 耐環境性
使用周囲湿度 ３ ％∼ ５
５ ８ ％RH （結露しないこと）
使用周囲温度 アンプユニ ト ∼＋ ０
ッ ０ ５ ℃ センサヘッ ０ ４ ℃
ド ∼＋ ５
耐環境性 耐振動 １ ∼ ５ ｚ複振幅１５mm Ｘ、 Z 各方向２時間
０ ５Ｈ . Y、
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ（結露
５ ８％ Ｈ しないこと）
材質 センサヘッ ：
ド 亜鉛ダイ ャスキ ト アンプユニッ ： リ
ト ポ カーボネー ト
耐振動 １∼５
０ ５ Hz 複振幅 ．mm 、 、 各方向 時間
１５ ＸＹＺ ２
センサヘッド 約１ ５g
６ 約２ ０g
５
質量
材質 アンプユニ ト ポ カーボネー
ッ： リ ト センサヘッ ： ミ キ ス
ド アル ダイ ャ ト
（コード含む） アンプユニット 約１ ５g
５ 約１ ０g
７
センサヘッド 約７g
１０ 約５g
２０
質量
（コード含む） アンプユニッ ※ センサヘッ
１ ド投光面か らの距離です。（注）本機はアンプユニッ センサヘッ
ト、 ドのセットで調整されていますので
ト 約３g
５０
※ 白紙対象で基準距離での値です。 互換性はあ ません。
２ り
（注）本機はアンプユニ ト、
ッ センサヘッドのセ トで調整さ
ッ れていますので、必ず同一ナンバーの組み合わせでご使用く さ
だ い。
※ F.S.は ０
３ ８ mmです。 （注）米国へ輸出される時は、 FDA規格品を用意しておりますのでお問い
（注）米国へ輸出される時は、Ｄ
Ｆ Ａ規格品を用意しておりますのでお問い合わせ だ い。
くさ
合わせ だ い。
くさ
34
用語集
I 静電気の基礎
1 静電気の
メカニズム
2 実際の静電気
発生の様子
用語 解 説 参照頁
地面に電極を埋め込み、電気が大地に流れる様にしたもの。広義には、
「ある回路において基準とみなす電位」 う意味で使う と
とい こも
3 電気の性質 ア アース III-1
ある。 別名 接地
：
III-1
アースバンド 人体の帯電防止用の器具。 別名 リ ト ッ
：ス ラ プ
キーエンス独自の制御方式で、除電器から発生しているイ オン量をセンシング 帯電物に応じたイ
し、 オンを供給したり、帯電物がない場
VIII-1
Ｉ Ｃ．
． 制御
Ｃ． 合にイオンバラ を自動で調整する機能。 Current Controlの略。
ンス Ion
4 電荷量と電界
ＩＣ
Ｅ International Electrotechnical Commission
（国際電気標準会議）の略で、電気分野における、国際標準化機関
Electrostatic Discharge レク
（エ トロス ィ ク ディ ャージ）
タテ ッ スチ の略。
イ ＥＤ
Ｓ Ｉ
Ｃ用語。 ICに発生又は印加した静電気。 及びそれによるICの破壊を表す。
Ｅ Ｄ／ Ｏ
Ｓ Ｅ Ｓ規格 電気的オーバース レス、
ト 静電気放電に関する米国の規格
5 電気力線
イオナイザー III-3
除電を行う装置。除電器と う。
もい
イオン 分子が電離した状態で、原子がプラス し はマイナスの電荷を帯びた状態。
もく
イオン電流 コロナ放電を発生させている際にコロナ放電に伴って流れる電流。
イオンバラ ンス IV-2
帯電物を れだけ Ｖに近い状態に近づける とがで
ど ０ こ きるか、 たは、Ｖ どれだけキープで
ま ０を きるかを表した、除電器 オナイザー）
（イ の能力
6 静電容量
イオンモニタ 帯電物の帯電状況を表現したモニタ
引力 引き合 力。 う
Ultra Low Penetration Air フ ルターの略。
ィ 定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕獲率を もつエア
フ ルタ。
ィ 半導体工場の様な高い清浄度が要求さ ク ーンルームや生産装置等に使用さ
れる リ れる超高性能フ ルタで、
ィ HEPAでは除
7 導体と絶縁体 ウ Ｕ Ｐ フ ルタ
ＬＡ ィ 去できない ． ｍ程度の微少粒子も除去できる。
０１ μ 効率を良くするためHEPAフ ルター
ィ と比べ、 濾材密度を高く 空気抵抗を下げる
し、
ため濾材を薄く した製品がULPAフ ルターである。
ィ
エアパージ
エ V-3
圧縮空気な を使って、
ど 空気を噴出 粉塵の付着等を防止する方法。
し、
ＡＣ方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 交流方式
オゾン
オ オゾン(O3)とは空気中の酸素(O2)が化学反応で変化した物質(気体)
II 様々な静電気障害
水に溶けて水の表面張力を低下させる作用を界面活性といい、 少量で著しい界面活性を示す物質を界面活性剤という。 石鹸は界面
活性剤の一つ。
III-2
カ 界面活性剤 水に溶けに い物質 と
く （た えば油）
を溶か り、
した 個体の濡れ方を変えた する作用を持つので、
り 泡立て剤、乳化剤、分散剤、湿潤剤など
1 人体に感じることの として用い れる。
ら 洗剤はこれらの作用の総合効果。
III-2
出来る静電気 加湿 湿度を上昇させる行い。
キーエンス社製、除電バー Ｊ シ ーズに搭載さ
Ｓ −Ｇ リ れている電極針の構造で、除電能力Ｕ と電極針先端へのゴ の付着量を低減す
Ｐ ミ
キ Ｃ． Ｂ．
Ａ． 構造 VIII-2
る効果がある。
2 産業別静電気障害 導体に電荷Ｑが接近したときに、静電誘導によって発生する電荷であ ち う
り、 ょ ど導体表面を鏡に見立てた場合に接近してきた電荷Ｑ
鏡像電荷 II-4
が鏡に写った虚像と同じ位置にあるため鏡像電荷という。
ある帯電体に別の帯電単を近づける お互いに引き合ったり、
と、 反発しあったりするが、
このときの電荷量と力の関係を表す法則をクー
I-4
ク クーロンの法則 ロンの法則と言い、
その作用力をクーロン力という。
クーロン力 I-3
3 静電気破壊の 帯電体に別の帯電体を近づけた きに発生する力のこ
と と。
ク ーンルームの清浄度を現す数値で、ｍ3中に含ま
ク ーン度
リ リ １ れる粒子の数を表している。
メカニズム
ケ 原子 I-1
あ ゆる物質を形作る最小の単位。
ら
I-4
原子核 原子の中心にあ 正の電荷を持つ陽子と電荷を帯びていない中性子か なる
り、 ら もの
4 静電気力による コ 高圧電源 高電圧を発生させる電源
付着のメカニズム
高電圧 ±数 Ｖ
ｋ といったよ に非常に高い電圧
う
交流方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 AC方式
III-3
コロナ放電 針のよ に非常に極小な部分に高電圧を印加した きに発生する現象で放電の一種
う と
5 静電気放電による、
EU統合により欧州域内で特定の製品を自由に流通させる上で貼付けが義務付けられたマークのことで、EU指令で規定されている安
Ｃ マーキング
Ｅ
着火 爆発
・ シ 全性などの要求事項にすべて適合している と
こ を示すものです。
III-3
自己放電式 特に電源を必要とせず、帯電物の電気を利用してコロナ放電を発生させるイオナイザー
湿度 大気中に含まれる水蒸気量を単位体積あたりのパーセンテージで表したもの
III 静電気対策の
周波数 繰り返し動作を行う際の 秒間あた
１ りの回数。
基礎知識
除電 帯電物を電気的に中和させる と
こ
III-3
除電器 除電を行う装置。 オナイザー もい
イ と う。
除電時間 ある一定の電圧から所定の電圧まで除電する でにかかる時間
ま
1 導体に対する
静かに っ している電気。
じと かと思うと突然動き出して雷鳴を ど
と ろかすこ もある。
と
対策
静電気
セ 塩化ビニールの下敷きに髪の毛が吸い寄せ れた 冬場の乾燥した時期に
ら り、 ドアのノブに手をふれた際にビ ッ きた するのは静電気が
リ と り、
原因。静電気の特徴 （物を吸い寄せる、火花が飛ぶ）が観測された場合、 通常その周囲には数万ボルト以上に及ぶ電圧が発生している。
静電気障害 静電気によって発生する障害。例えば、電子部品や Ｃの静電破壊やゴ の付着、
Ｉ ミ 小物部品の搬送 ラ
ト ブル、人の不快感などがある。
2 絶縁体に対する
III-1
静電気防止靴 導電性を持たせた靴。人体の帯電防止用に使用さ れる。
対策
III-1
静電気防止服 衣服がこすれあって発生する静電気を防止するために、導電性の繊維等を織り込んで作られた衣服。 リ
ク ーン服等。
静電気放電 静電気が帯電した物体か 静電気が放電する現象
ら、
静電気力 静電気によって発生する力。同じ極性同士の場合は斥力、異極性の場合は引力が発生する。
3 除電器 オナイザー）
（イ
静電破壊 II-3
静電気が放電する とによ
こ って発生する、電気、電子部品の破損及び劣化
の原理
導体に帯電物を近づける 導体内部で発生する現象で、 ょ ど帯電物が近づいて る面に帯電物と逆極性の電荷を帯びる現象。
と、 ちう く
静電誘導
（導体内部の電子が移動する とによ
こ って、導体表面に極性ができる）
コンデンサなどにおいて、 どのくらい電荷が蓄え られるかを表す量である。 電気容量(でんきよ り う)と
う ょ も呼ばれる。 静電容量は単位電圧あたりの
静電気Q&A
蓄えられた電荷と して与えられる。 単位はF（ファラ であ ある物体に1V
ド） り、 （ボル の電圧を与えたと 1C
ト） き、 （クーロン）の電荷を蓄えたな らば、そ
I-6
静電容量 の物体の静電容量は1Fとなる。 1Fという電気容量は非常に大きい。 このため、 通常我々の周囲で用いられる電子デバイ スでは、 1Fの100万分
の1(10 - 6)の単位である （マイ
μF クロファ ド） 1Fの1兆分の1(10 - 12)の単位であるpF
ラ や、 （ピコファ ド）
ラ で静電容量を表すこ とが多い。
斥力 反発しあ 力。
う
用語集
絶縁 電気を流さない状態。
I-7
絶縁体 電気を流すことのできない物質
静電気ハンドブック
36
仕様
■ センサ部（表示器一体型）
種類 超微少流量タイプ 中流量タイプ
微少流量タイプ
型式 FD-SS02 FD-SS20
NPN/PNP切替出力 FD-SS2
定格流量範囲※1 0∼200mℓ/min 0∼20ℓ/min
0∼2000ｍℓ/min
使用可能流体 水
・油・非腐食性液体
密度指定範囲 0.3∼2.0g/cm 3
低密度ゼロカット※2 初期値0.5g/cm 3 （0∼2.0g/cm 3の間で変更可能）
ゼロカット流量 初期値※3 10mℓ/min 100mℓ/min 1ℓ/min
ゼロカット設定範囲 0∼400mℓ/min 0∼4000mℓ/min 0∼40ℓ/min
接続口径 Rc1/4 Rc1/4 Rc3/8
パイプ内径 φ1.0mm×2本 φ2.1mm×2本 φ5.0mm×2本
使用流体温度 0∼100 ℃ （凍結・沸騰なきこと）
使用圧力範囲※4 5ＭPa以下 （60℃以上 1MPa以下）
耐圧力※4 10MPa以下 （60℃以上 2MPa以下）
水：粘度1cSt、 FSのとき 0.03MPa以下 0.06MPa以下 0.1MPa以下
圧力損失
粘度30cSt、FS/2のとき 0.3MPa以下 0.2MPa以下 0.1MPa以下
表示方式 4桁7セグメントLEDによる2段表示 （上段現在値：赤色、 下段設定値：緑色）
出力：赤LED×2 （制御出力1・2） 設定インジケータ：緑LED×2、
、 バンク表示灯：緑LED、 アラーム表示灯：赤LED、
動作表示灯
ステータス表示灯 （赤点灯：振動警告、 緑点灯：満水 （正常） 緑点滅：気泡混入警告）
、 ：赤・緑LED、 フローインジケータ：赤・緑LED×3
10mℓ/min
Std 1mℓ/min 0.1ℓ/min
表示分解能
1mℓ/min
RESO 0.1mℓ/min 0.01ℓ/min
0∼25% of F.S.時：±1% of F.S.
直線性
25∼100% of F.S.時：±4% of Rdg
精度※5
ゼロ点安定性※6 ±1％ of F.S.
繰返し精度 50ms∼100ms：±3% of F.S.、 0.5s∼1s：±1％ of F.S.、 2.5s∼60s：±0.5％ of F.S.
応差（ヒステリシス） 可変
応答時間（チャタリング防止） 50ms/100ms/500ms/1s/2.5s/5s/10s/30s/60s 可変
1/10/100/1000/10000 （mℓ）
0.1/1/10/100/1000 （mℓ） 0.01/0.1/1/10/100（ℓ）
積算流量単位
から選択可能
から選択可能 から選択可能
積算データ記憶周期 10秒ごとにメモリに書き込み
メモリバックアップ EEPROM （データ記憶期間：10年以上、 データ書き換え可能回数：100万回以上）
NPNオープンコレクタ最大100mA/ch（40V以下） 、
制御出力/積算パルス出力/異常警報出力※7 PNPオープンコレクタ最大50mA/ch（電源電圧24V以下） 、
残留電圧NPN：1V以下、PNP：2V以下、3出力（N.O./N.C.切換可能）
積算リセット/バンク切換※8 /ゼロ調整/流量ゼロ 無電圧入力 （有接点、 無接点） 入力時間20ms以上、 入力は2点選択式
アナログ出力 4-20mA 最大負荷抵抗260Ω アナログ出力レンジを任意に設定可能
電源電圧 DC24V ±10％、リップル （P-P）±10％以下
消費電力（消費電流） 通常時：2200mW （90mA） エコモード：1700mW
、 （70mA）
※9
耐電圧（電源・信号線−本体金属部間） コンデンサアースのため規定されていません
※9
絶縁抵抗（電源・信号線−本体金属部間） コンデンサアースのため規定されていません
保護構造 IP65
使用周囲温度 0∼＋50℃（氷結しないこと）
耐環境性 使用周囲湿度 35∼85%RH（結露しないこと）
耐振動 10∼55Hz 複振幅0.15mm X、 Z、Y、 各方向2時間
接液部※10 ※10
通水部：SCS14・SUS316L
・PPS Oリング：フッ素ゴム （FKM）
材質
接液部以外 ケース樹脂部：PBT/PPS、 ケーブル：PVC
質量 約1650ｇ
約1600ｇ 約2100ｇ
※1 定格流量範囲の2倍まで表示可能です。 流体の密度が1.00g/cm 3の時の範囲です。密度が1.0g/cm 3を超えた場合、 定格流量範囲×2/密度まで表示できます。
密度が1.0以下の場合、 定格流量範囲×2まで表示できます。
※2 密度ゼロカット以下のとき、 流量は0ℓ/min表示になります。 密度ゼロカッ トは積算流量に反映されます。
※3 ゼロカッ ト流量以下の流量は0ℓ/min表示になります。 ゼロカットは積算流量に反映されます。 ※4 詳しくはP9の特性図をご参照ください。
※5 精度については、 出荷時調整設備において、 常温の水 （25℃）で30秒間の積算量の誤差により規定しています。
お使いの液体や気泡混入
・振動の状態、 検出部配管の汚れの状態によりズレが大きくなる可能性があります。
温度特性による直線性とゼロ点安定性の変動分は、 次の参考値分が加算されます。 ［±0.02% of Rdg/℃（直線性） ＋
］ ［±0.1％ of F.S./℃（ゼロ点安定性） ］
F.S. フルスケール）
（ は定格流量を示し、 （リーディング）
Rdg は瞬時流量表示を示します。
※6 ゼロ点安定性は、 設置後のゼロ点調整後のズレ量になります。 ※7 警報出力は最大20mA。 ※8 バンク切換選択時は2バンクまで設定可能。
※9 本体金属部と内部回路0V （青線） 3kV、
は、 100pFのコンデンサにより接続されています。 ※10 Ｏリングの材質がフッ素ゴム （FFKM）タイプもラインナッ プしておりますので別途お問い合わせください。
■ 分 離表示ユニット
DIN取付※1 FD-SA1N （親機） FD-SA2N
/ （子機）
NPN出力
パネル取付 FD-SA5N
型式
DIN取付※1 FD-SA1P（親機） FD-SA2P
/ （子機）
PNP出力
パネル取付 FD-SA5P
増設可能台数（DIN取付のみ） 親機1台に対し、 子機は3台まで （合計4台） 増設可能
表示方式 4桁7セグメントLEDによる2段表示 （上段現在値：赤色、 下段設定値：緑色）
出力：赤LED×2 （制御出力1・2） 設定インジケータ：緑LED×2、
、
動作表示灯
バンク表示灯：緑LED、 アラーム表示灯：赤LED、 単位表示LED：緑LED
表示分解能 センサ仕様による
応答時間（チャタリング防止） （センサ仕様による応答時間） ＋20ms
積算表示単位 センサ仕様による
積算データ記憶周期 センサ仕様による
メモリバックアップ EEPROM （データ記憶期間：10年以上、 データ書き換え可能回数：100万回以上）
NPN/PNPオープンコレクタ最大100mA/ch※2 （NPN：40V以下、PNP：30V以下）、
制御出力/積算パルス出力/異常警報出力
残留電圧1V以下、 3出力 （N.O./N.C.切換可能）
無電圧入力 （有接点、 無接点） 入力時間20ms以上、 入力は1点選択式
積算リセット/バンク切換/ゼロ調整
4-20mA 最大負荷抵抗260Ω、 アナログ出力レンジを任意に設定可能
アナログ出力
DC24V ±10％、 リップル（P-P） ±10％以下
電源電圧
通常時：2640mW （110mA） エコモード：1680mW
、 （70mA）
消費電力（消費電流）
0∼＋ 50℃ （氷結しないこと）
使用周囲温度
耐環境性
35∼85%RH （結露しないこと）
使用周囲湿度
耐振動 10 ∼ 55Hz 複振幅1.5mm X、 Z、
Y、 各方向2時間
材質 本体ケース：ポリカーボネイト、 キートップ：ポリアセタール、 前面シート ：ポリカーボネイト、ケーブル：PVC
DIN取付タイプ 約115ｇ
質量
パネル取付タイプ 約105ｇ
※1 DIN取付タイプをご使用のとき、DL-RS1AおよびFD-Sシリーズ以外の機器とは増設による接続を行なわないでください。 ※2 警報出力は最大20mA
8
■ 金 属部のアースについて
■ 配管について
本体口金部を含む金属部は、 内部回路0V（青線）とはコンデンサ（3kV、
●FD-Sシリーズの直前直後には、直管部は不要です。
100pF）により接続されています。
●FD-Sシリーズに配管の荷重がかからないように、 配管を装置に固定して
ください。 FD-Sシリーズ前後の配管を、本体にできるだけ近いところで装
■ その他の注意事項について
置などに固定することにより、 振動や応力を低減できます。
● FD-Sシリーズの直前直後の配管は、配管の軸がずれないように同一直
線上に配置して ください。
● 測定に障害を起こすおそれのある電気機 器（モー
注意
タ、 変圧器、無線機器、電解槽、その他電磁誘導障
●検出部のパイプ内径が小さいため、 継ぎ手部に使用するシールテープかす
害、 静電誘導障害を発生させるもの）の付近を避けて
が検出部に詰まると故障の原因となるので注意してください。 検出部がつ
ください。
まらないようにフィルタの設置やメンテナンス用バイパス配管の設置をおす
すめします。パイプ内径については「仕様」（8ページ）を参照ください。
●振動の大きい場所は避けてください。
●直射日光を受ける場所はできるだけ避けてください。
直射日光が当たる場合は、日よけなどを設けてください。
■ 流れ方向について
●腐食性雰囲気および湿度の高い場所はできるだけ避
流体の流れ方向は、 初期状態で本体のボディの“→”方向ですが、設定に
けてください。
より切り替えが可能です。流量方向の変更方法については、 「取扱説明
● 高所や狭い場所はできるだけ避けて、作業が 容 易
書」を参照してください。設定した方向の逆向きに流体が流れた場合は流
にできる場所を選んでください。
量ゼロとして判定しますが、逆流時に瞬時流量を表示する設定も可能で
●流体の流通時および停止時でも、測定流体が通水部
す。設定の詳細は、「取扱説明書」を参照してください。
を満水状態になるよう配管設計してください。
◎ 安全にご使用いただくために
■ 一般的な注意事項
1.製品の仕様範囲外ではご使用にならないでください。 取
危険 1.電源には絶縁された安定化電源をご使用ください。
注意
扱説明書に記載された内容に準拠してご使用ください。 2.ケーブルに無理な引っ張り力を加えないでください。
2.原子力・鉄道・航空・車両・娯楽遊具など安全性が要 3.配線工事途中などにケーブル先端が水に浸からないよう
求される用途へのご使用はさけてください。 にしてください。
3.製品の改造はおこなわないでください。 4.電源線・動力線などと一緒に配線しないでください。
4.本製品はサニタリー仕様ではありません。 飲料・食品・ 5.ノイズ源からは極力離してください。
医療用薬液などにはご使用にならないでください。
5.本製品は防爆仕様ではありません。 可燃性のガス等の
雰囲気ではご使用にならないでください。
■ 配管についての注意事項
6.腐食性の液体には使用しないでください。
警告 足場になる箇所に取り付けないでください。
注意 取引用メータとしては使用できません。
注意 1.設置時および設置後、 強い圧縮力・引っ張り力・荷重・
軸ずれなどによる強い配管応力がかかる場所には設置し
■ 取り扱いについての注意事項 ないでください。 過度の応力や加重が加わった場合は、
不安定動作になる可能性があります。
1.落としたり、打ち当てたり、過 大な衝撃を加えないで
注意 2.継ぎ手取付時には、 本体の口金部を工具で固定してくだ
ください。 さい。取付時に本体の口金部以外を固定して取付ようと
すると破損の恐れがあります。
2.ケーブルを強く引っ張らないでください。
3.シールテープや接着剤が配管ねじ部の内側からはみ
3.設定スイッチを尖ったもので押さないでください。
出ないようにしてください。
4.流量調整バルブ等はセンサの下流側に設置して ください。
5.保守を容易にするため、 取り付け位置にメンテナンス
■ 検出流体についての注意事項
スペースを設置することを推奨します。
6.衝撃圧を受ける配管系に設置しないでください。
1.FD-Sシリーズ内部の検出用パイプに異物が堆積する
注意
7.配管内に異物などがある場合は洗浄後にセンサを取り
と計測誤差が発 生するので、 フィルタなどを設置して
付けてください。
検出流体から異物を取り除いてください。
8.配管の熱膨張があるときは引き回しで応力を緩和して
2.検出流体温度範囲を守って、 ご使用ください。低温で使
ください。
用される場合は凍結防止措置を行なってください。 凍結
9.直射日光などの強い光の当たる場所、 熱源からの輻射
するとボディが破損し、水漏れするおそれがあります。
を受ける場所に設置しないでください。
10.水没する可能性のある場所に設置しないでください。
11.振動が少ない場所に設置してください。 設置時は、 本体
■ 配 線についての注意事項 にできるだけ近い場所で配管を固定して ください。
1.改造および不必要な分解をしないでください。 感電およ
警告
び誤動作や破損の原因になります。
■ その他の注意事項
2.素手で配線作業をしないでください。 電源を切っても電
荷が残っているので、感電の原因になります。
注意 1.電源投入後10秒間はパワーONリセット時間です。この
3.濡れた手で、配 管や配 線などの 作 業をしないでくだ
間の出力は使用しないでください。
さい。感電の原因になります。
2.電源投入後は初期ドリフトの可能性があります。 微妙な
4.配線時には線の色を確認して ください。
流量差を検出する場合は約15∼30分のウォームアップ
5.定格範囲内で使用してください。本製品は直流電源で使用
を行なってください。
可能なセンサです。交流電源などを印加しないでください。
3.本体に強力な磁石や磁場を近づけないでください。
また、許容範囲を超える負荷は使用しないでください。
11
用語集
I 静電気の基礎
1 静電気の
メカニズム
2 実際の静電気
発生の様子
用語 解 説 参照頁
地面に電極を埋め込み、電気が大地に流れる様にしたもの。広義には、
「ある回路において基準とみなす電位」 う意味で使う と
とい こも
3 電気の性質 ア アース III-1
ある。 別名 接地
：
III-1
アースバンド 人体の帯電防止用の器具。 別名 リ ト ッ
：ス ラ プ
キーエンス独自の制御方式で、除電器から発生しているイ オン量をセンシング 帯電物に応じたイ
し、 オンを供給したり、帯電物がない場
VIII-1
Ｉ Ｃ．
． 制御
Ｃ． 合にイオンバラ を自動で調整する機能。 Current Controlの略。
ンス Ion
4 電荷量と電界
ＩＣ
Ｅ International Electrotechnical Commission
（国際電気標準会議）の略で、電気分野における、国際標準化機関
Electrostatic Discharge レク
（エ トロス ィ ク ディ ャージ）
タテ ッ スチ の略。
イ ＥＤ
Ｓ Ｉ
Ｃ用語。 ICに発生又は印加した静電気。 及びそれによるICの破壊を表す。
Ｅ Ｄ／ Ｏ
Ｓ Ｅ Ｓ規格 電気的オーバース レス、
ト 静電気放電に関する米国の規格
5 電気力線
イオナイザー III-3
除電を行う装置。除電器と う。
もい
イオン 分子が電離した状態で、原子がプラス し はマイナスの電荷を帯びた状態。
もく
イオン電流 コロナ放電を発生させている際にコロナ放電に伴って流れる電流。
イオンバラ ンス IV-2
帯電物を れだけ Ｖに近い状態に近づける とがで
ど ０ こ きるか、 たは、Ｖ どれだけキープで
ま ０を きるかを表した、除電器 オナイザー）
（イ の能力
6 静電容量
イオンモニタ 帯電物の帯電状況を表現したモニタ
引力 引き合 力。 う
Ultra Low Penetration Air フ ルターの略。
ィ 定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕獲率を もつエア
フ ルタ。
ィ 半導体工場の様な高い清浄度が要求さ ク ーンルームや生産装置等に使用さ
れる リ れる超高性能フ ルタで、
ィ HEPAでは除
7 導体と絶縁体 ウ Ｕ Ｐ フ ルタ
ＬＡ ィ 去できない ． ｍ程度の微少粒子も除去できる。
０１ μ 効率を良くするためHEPAフ ルター
ィ と比べ、 濾材密度を高く 空気抵抗を下げる
し、
ため濾材を薄く した製品がULPAフ ルターである。
ィ
エアパージ
エ V-3
圧縮空気な を使って、
ど 空気を噴出 粉塵の付着等を防止する方法。
し、
ＡＣ方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 交流方式
オゾン
オ オゾン(O3)とは空気中の酸素(O2)が化学反応で変化した物質(気体)
II 様々な静電気障害
水に溶けて水の表面張力を低下させる作用を界面活性といい、 少量で著しい界面活性を示す物質を界面活性剤という。 石鹸は界面
活性剤の一つ。
III-2
カ 界面活性剤 水に溶けに い物質 と
く （た えば油）
を溶か り、
した 個体の濡れ方を変えた する作用を持つので、
り 泡立て剤、乳化剤、分散剤、湿潤剤など
1 人体に感じることの として用い れる。
ら 洗剤はこれらの作用の総合効果。
III-2
加湿
出来る静電気 湿度を上昇させる行い。
キーエンス社製、除電バー Ｊ シ ーズに搭載さ
Ｓ −Ｇ リ れている電極針の構造で、除電能力Ｕ と電極針先端へのゴ の付着量を低減す
Ｐ ミ
キ Ｃ． Ｂ．
Ａ． 構造 VIII-2
る効果がある。
2 産業別静電気障害 導体に電荷Ｑが接近したときに、静電誘導によって発生する電荷であ ち う
り、 ょ ど導体表面を鏡に見立てた場合に接近してきた電荷Ｑ
鏡像電荷 II-4
が鏡に写った虚像と同じ位置にあるため鏡像電荷という。
ある帯電体に別の帯電単を近づける お互いに引き合ったり、
と、 反発しあったりするが、
このときの電荷量と力の関係を表す法則をクー
I-4
ク クーロンの法則 ロンの法則と言い、
その作用力をクーロン力という。
クーロン力 I-3
3 静電気破壊の 帯電体に別の帯電体を近づけた きに発生する力のこ
と と。
ク ーンルームの清浄度を現す数値で、ｍ3中に含ま
ク ーン度
リ リ １ れる粒子の数を表している。
メカニズム
ケ 原子 I-1
あ ゆる物質を形作る最小の単位。
ら
I-4
原子核 原子の中心にあ 正の電荷を持つ陽子と電荷を帯びていない中性子か なる
り、 ら もの
4 静電気力による コ 高圧電源 高電圧を発生させる電源
付着のメカニズム
高電圧 ±数 Ｖ
ｋ といったよ に非常に高い電圧
う
交流方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 AC方式
III-3
コロナ放電 針のよ に非常に極小な部分に高電圧を印加した きに発生する現象で放電の一種
う と
5 静電気放電による、
EU統合により欧州域内で特定の製品を自由に流通させる上で貼付けが義務付けられたマークのことで、EU指令で規定されている安
Ｃ マーキング
Ｅ
シ
着火 爆発
・ 全性などの要求事項にすべて適合している と
こ を示すものです。
III-3
自己放電式 特に電源を必要とせず、帯電物の電気を利用してコロナ放電を発生させるイオナイザー
湿度 大気中に含まれる水蒸気量を単位体積あたりのパーセンテージで表したもの
III 静電気対策の
周波数 繰り返し動作を行う際の 秒間あた
１ りの回数。
基礎知識
除電 帯電物を電気的に中和させる と
こ
III-3
除電器 除電を行う装置。 オナイザー もい
イ と う。
除電時間 ある一定の電圧から所定の電圧まで除電する でにかかる時間
ま
1 導体に対する
静かに っ している電気。
じと かと思うと突然動き出して雷鳴を ど
と ろかすこ もある。
と
対策
静電気
セ 塩化ビニールの下敷きに髪の毛が吸い寄せ れた 冬場の乾燥した時期に
ら り、 ドアのノブに手をふれた際にビ ッ きた するのは静電気が
リ と り、
原因。静電気の特徴 （物を吸い寄せる、火花が飛ぶ）が観測された場合、 通常その周囲には数万ボルト以上に及ぶ電圧が発生している。
静電気障害 静電気によって発生する障害。例えば、電子部品や Ｃの静電破壊やゴ の付着、
Ｉ ミ 小物部品の搬送 ラ
ト ブル、人の不快感などがある。
2 絶縁体に対する
III-1
静電気防止靴 導電性を持たせた靴。人体の帯電防止用に使用さ れる。
対策
III-1
静電気防止服 衣服がこすれあって発生する静電気を防止するために、導電性の繊維等を織り込んで作られた衣服。 リ
ク ーン服等。
静電気放電 静電気が帯電した物体か 静電気が放電する現象
ら、
静電気力 静電気によって発生する力。同じ極性同士の場合は斥力、異極性の場合は引力が発生する。
3 除電器 オナイザー）
（イ
静電破壊 II-3
静電気が放電する とによ
こ って発生する、電気、電子部品の破損及び劣化
の原理
導体に帯電物を近づける 導体内部で発生する現象で、 ょ ど帯電物が近づいて る面に帯電物と逆極性の電荷を帯びる現象。
と、 ちう く
静電誘導
（導体内部の電子が移動する とによ
こ って、導体表面に極性ができる）
コンデンサなどにおいて、 どのくらい電荷が蓄え られるかを表す量である。 電気容量(でんきよ り う)と
う ょ も呼ばれる。 静電容量は単位電圧あたりの
静電気Q&A
蓄えられた電荷と して与えられる。 単位はF（ファラ であ ある物体に1V
ド） り、 （ボル の電圧を与えたと 1C
ト） き、 （クーロン）の電荷を蓄えたな らば、そ
I-6
静電容量 の物体の静電容量は1Fとなる。 1Fという電気容量は非常に大きい。 このため、 通常我々の周囲で用いられる電子デバイ スでは、 1Fの100万分
の1(10 - 6)の単位である （マイ
μF クロファ ド） 1Fの1兆分の1(10 - 12)の単位であるpF
ラ や、 （ピコファ ド）
ラ で静電容量を表すこ とが多い。
斥力 反発しあ 力。
う
用語集
絶縁 電気を流さない状態。
I-7
絶縁体 電気を流すことのできない物質
静電気ハンドブック
36
用語集
I 静電気の基礎
1 静電気の
メカニズム
2 実際の静電気
発生の様子
用語 解 説 参照頁
地面に電極を埋め込み、電気が大地に流れる様にしたもの。広義には、
「ある回路において基準とみなす電位」 う意味で使う と
とい こも
3 電気の性質 ア アース III-1
ある。 別名 接地
：
III-1
アースバンド 人体の帯電防止用の器具。 別名 リ ト ッ
：ス ラ プ
キーエンス独自の制御方式で、除電器から発生しているイ オン量をセンシング 帯電物に応じたイ
し、 オンを供給したり、帯電物がない場
VIII-1
Ｉ Ｃ．
． 制御
Ｃ． 合にイオンバラ を自動で調整する機能。 Current Controlの略。
ンス Ion
4 電荷量と電界
ＩＣ
Ｅ International Electrotechnical Commission
（国際電気標準会議）の略で、電気分野における、国際標準化機関
Electrostatic Discharge レク
（エ トロス ィ ク ディ ャージ）
タテ ッ スチ の略。
イ ＥＤ
Ｓ Ｉ
Ｃ用語。 ICに発生又は印加した静電気。 及びそれによるICの破壊を表す。
Ｅ Ｄ／ Ｏ
Ｓ Ｅ Ｓ規格 電気的オーバース レス、
ト 静電気放電に関する米国の規格
5 電気力線
イオナイザー III-3
除電を行う装置。除電器と う。
もい
イオン 分子が電離した状態で、原子がプラス し はマイナスの電荷を帯びた状態。
もく
イオン電流 コロナ放電を発生させている際にコロナ放電に伴って流れる電流。
イオンバラ ンス IV-2
帯電物を れだけ Ｖに近い状態に近づける とがで
ど ０ こ きるか、 たは、Ｖ どれだけキープで
ま ０を きるかを表した、除電器 オナイザー）
（イ の能力
6 静電容量
イオンモニタ 帯電物の帯電状況を表現したモニタ
引力 引き合 力。 う
Ultra Low Penetration Air フ ルターの略。
ィ 定格流量で粒径が0.15μmの粒子に対して99.9995%以上の粒子捕獲率を もつエア
フ ルタ。
ィ 半導体工場の様な高い清浄度が要求さ ク ーンルームや生産装置等に使用さ
れる リ れる超高性能フ ルタで、
ィ HEPAでは除
7 導体と絶縁体 ウ Ｕ Ｐ フ ルタ
ＬＡ ィ 去できない ． ｍ程度の微少粒子も除去できる。
０１ μ 効率を良くするためHEPAフ ルター
ィ と比べ、 濾材密度を高く 空気抵抗を下げる
し、
ため濾材を薄く した製品がULPAフ ルターである。
ィ
エアパージ
エ V-3
圧縮空気な を使って、
ど 空気を噴出 粉塵の付着等を防止する方法。
し、
ＡＣ方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 交流方式
オゾン
オ オゾン(O3)とは空気中の酸素(O2)が化学反応で変化した物質(気体)
II 様々な静電気障害
水に溶けて水の表面張力を低下させる作用を界面活性といい、 少量で著しい界面活性を示す物質を界面活性剤という。 石鹸は界面
活性剤の一つ。
III-2
カ 界面活性剤 水に溶けに い物質 と
く （た えば油）
を溶か り、
した 個体の濡れ方を変えた する作用を持つので、
り 泡立て剤、乳化剤、分散剤、湿潤剤など
1 人体に感じることの として用い れる。
ら 洗剤はこれらの作用の総合効果。
III-2
出来る静電気 加湿 湿度を上昇させる行い。
キーエンス社製、除電バー Ｊ シ ーズに搭載さ
Ｓ −Ｇ リ れている電極針の構造で、除電能力Ｕ と電極針先端へのゴ の付着量を低減す
Ｐ ミ
キ Ｃ． Ｂ．
Ａ． 構造 VIII-2
る効果がある。
2 産業別静電気障害 導体に電荷Ｑが接近したときに、静電誘導によって発生する電荷であ ち う
り、 ょ ど導体表面を鏡に見立てた場合に接近してきた電荷Ｑ
鏡像電荷 II-4
が鏡に写った虚像と同じ位置にあるため鏡像電荷という。
ある帯電体に別の帯電単を近づける お互いに引き合ったり、
と、 反発しあったりするが、
このときの電荷量と力の関係を表す法則をクー
I-4
ク クーロンの法則 ロンの法則と言い、
その作用力をクーロン力という。
クーロン力 I-3
3 静電気破壊の 帯電体に別の帯電体を近づけた きに発生する力のこ
と と。
ク ーンルームの清浄度を現す数値で、ｍ3中に含ま
ク ーン度
リ リ １ れる粒子の数を表している。
メカニズム
ケ 原子 I-1
あ ゆる物質を形作る最小の単位。
ら
I-4
原子核 原子の中心にあ 正の電荷を持つ陽子と電荷を帯びていない中性子か なる
り、 ら もの
4 静電気力による コ 高圧電源 高電圧を発生させる電源
付着のメカニズム
高電圧 ±数 Ｖ
ｋ といったよ に非常に高い電圧
う
交流方式 IV-3
除電器 オナイザー）
（イ の電圧印加方式の一種で、電極針に対して交流 Ｃ）
（Ａ の高電圧を印加する方式。 ：
別名 AC方式
III-3
コロナ放電 針のよ に非常に極小な部分に高電圧を印加した きに発生する現象で放電の一種
う と
5 静電気放電による、
EU統合により欧州域内で特定の製品を自由に流通させる上で貼付けが義務付けられたマークのことで、EU指令で規定されている安
Ｃ マーキング
Ｅ
着火 爆発
・ シ 全性などの要求事項にすべて適合している と
こ を示すものです。
III-3
自己放電式 特に電源を必要とせず、帯電物の電気を利用してコロナ放電を発生させるイオナイザー
湿度 大気中に含まれる水蒸気量を単位体積あたりのパーセンテージで表したもの
III 静電気対策の
周波数 繰り返し動作を行う際の 秒間あた
１ りの回数。
基礎知識
除電 帯電物を電気的に中和させる と
こ
III-3
除電器 除電を行う装置。 オナイザー もい
イ と う。
除電時間 ある一定の電圧から所定の電圧まで除電する でにかかる時間
ま
1 導体に対する
静かに っ している電気。
じと かと思うと突然動き出して雷鳴を ど
と ろかすこ もある。
と
対策
静電気
セ 塩化ビニールの下敷きに髪の毛が吸い寄せ れた 冬場の乾燥した時期に
ら り、 ドアのノブに手をふれた際にビ ッ きた するのは静電気が
リ と り、
原因。静電気の特徴 （物を吸い寄せる、火花が飛ぶ）が観測された場合、 通常その周囲には数万ボルト以上に及ぶ電圧が発生している。
静電気障害 静電気によって発生する障害。例えば、電子部品や Ｃの静電破壊やゴ の付着、
Ｉ ミ 小物部品の搬送 ラ
ト ブル、人の不快感などがある。
2 絶縁体に対する
III-1
静電気防止靴 導電性を持たせた靴。人体の帯電防止用に使用さ れる。
対策
III-1
静電気防止服 衣服がこすれあって発生する静電気を防止するために、導電性の繊維等を織り込んで作られた衣服。 リ
ク ーン服等。
静電気放電 静電気が帯電した物体か 静電気が放電する現象
ら、
静電気力 静電気によって発生する力。同じ極性同士の場合は斥力、異極性の場合は引力が発生する。
3 除電器 オナイザー）
（イ
静電破壊 II-3
静電気が放電する とによ
こ って発生する、電気、電子部品の破損及び劣化
の原理
導体に帯電物を近づける 導体内部で発生する現象で、 ょ ど帯電物が近づいて る面に帯電物と逆極性の電荷を帯びる現象。
と、 ちう く
静電誘導
（導体内部の電子が移動する とによ
こ って、導体表面に極性ができる）
コンデンサなどにおいて、 どのくらい電荷が蓄え られるかを表す量である。 電気容量(でんきよ り う)と
う ょ も呼ばれる。 静電容量は単位電圧あたりの
静電気Q&A
蓄えられた電荷と して与えられる。 単位はF（ファラ であ ある物体に1V
ド） り、 （ボル の電圧を与えたと 1C
ト） き、 （クーロン）の電荷を蓄えたな らば、そ
I-6
静電容量 の物体の静電容量は1Fとなる。 1Fという電気容量は非常に大きい。 このため、 通常我々の周囲で用いられる電子デバイ スでは、 1Fの100万分
の1(10 - 6)の単位である （マイ
μF クロファ ド） 1Fの1兆分の1(10 - 12)の単位であるpF
ラ や、 （ピコファ ド）
ラ で静電容量を表すこ とが多い。
斥力 反発しあ 力。
う
用語集
絶縁 電気を流さない状態。
I-7
絶縁体 電気を流すことのできない物質
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全商品、送料無料で
当日出荷 正しくお使いください。
必要な時に、必要な量だけ
在庫不要でトータルコストを削減
一般的な注意事項 汚れの影響
ごみやホコ あるいは水や油などの汚れによ
リ、 って正しく測
センシング・計測の 始業または操作時には、 本製品の機能および性能が正常
● 定できない場合があ ます。
り
最新ソリューションを探せる に動作している と
こ を確認して ださい。
く
www.keyence.co.jp 投光部と受光部の汚れは清浄なエアで吹き飛ばしてく だ
● 本製品が万一故障した場合、各種の損害を防止するため
●
さい。汚れがひどいときにはアルコールを浸した柔らかい
の十分な安全対策を施してご使用 ださい。
く
布で拭き取って ださい。
く
仕様に示された規格以外での使用、 または改造された製
●
測定対象物表面の汚れは清浄なエアで吹き飛ばすか、
汚
● 品については、機能および性能の保証はできかねますので
安全に関する注意 れを拭き取っ く
て ださい。
ご注意ください。
測定範囲内に汚れが浮遊する場合は、 保護カバーの設置
● 本製品を他の機器と組み合わせて使用する場合、 使用条
● 商品を安全にお使いいただくため、ご使用の
やエアパージなどの対策を く
して ださい。
件や環境な どによ 機能およ
り、 び性能が満足できない場合
前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。
があ ますので十分検討の上ご使用 ださい。
り く
ノ ズ対策
イ
人体の保護を目的とした使用はしないで ださい。
く
●
動力源や高圧線な どのノ ズ源の近く
イ に設置する場合は、 イ
ノ
周辺機器を含め、 各機器に急激な温度変化を与えないで
●
ズにより誤動作や故障の原因と なる場合があ ます。 イ フ
り ノズィ
ください。結露して機器が故障するおそれがあ ます。
り
ルタの使用やケーブル類の別配管、 センサアンプやセンサヘッ
ドの絶縁取り付けなどの対策を く
して ださい。
レーザについて
ウ ームア プについて
ォ ッ
技術相談、お問合わせ 本製品（型式GV-Tシリーズ）は光源に半導体
● 電源投入後約10分間以上放置してから使用して ださい。
く
レーザを使用しています。
電源をONにした直後は回路が安定していないため、表示
お 客 様の身近な技術営業が 警告
● 本製品はクラス1レーザ製品です。
値が徐々に リ トする とがあ ます。
ドフ こ り
●こ こに規定した以外の手順による制御及び調整は、
ダイレクトにサポート 危険なレーザ放射の被爆を ら ます。
もた し
アプリセンサ事業部
その他の注意事項
GV-T10C/T28C
センサヘッド
660nm
波長
盛岡 松本
019-603-0911 0263-36-3911 62μW
最大出力
電源について
仙台 静岡 48μs
パルス幅
022-224-0911 0 54-203-7100 電源に重畳したノ ズによ
イ り誤動作するおそれがあ ます。
り
FDA Class※
● 1
山形 浜松 電源に絶縁 ラ
ト ンスを使用した直流安定化電源を使用し
1
IEC Class
023-626-7311 0 53-454-0911 て ださい。
く
1
JISクラス
郡山 豊田 市販のス ッ
イ チングレギュレータを使用する場合は、
必ずフ
● ※FDA
（CDRH）のLaser Notice No.50の規定にしたがいIEC60825-1の
024-933-0911 0 565-25-3211
レームグラ ド端子を接地して ださい。
ン く
基準にて ラス分け
ク を実施 していま す。
宇都宮 安城
028-627-1911 0 566-71-0011
取り扱いについて CEマーキングについて
長岡 名古屋
0258-38-5311 0 52-971-3911
高崎 一宮 本機は、 CEマーキングに適合しています。 適合規格は以下
レーザ光を直接見ないで だ い。 た、
く さ ま 反射率の高
●
027-328-1911 0 586-47-7511 警告 い物質からの反射光を長時間見続けないで だ い。
くさ のとお です。
り
本製品は絶対に分解しないで だ い。
くさ
熊谷 津
●
● E MC指令
0 48-527-0311 0 59-224-0911
EMI ： EN60947-5-2
（class A）
川越 富山
EMS： EN60947-5-2
レーザ投光停止入力
0 49-240-3211 076-444-1433
● 低 電圧指令
浦和 金沢 外部入力にレーザ投光停止入力を設定する 外部入力を
と、
EN60825-1
0 48-832-1711 076-262-0911 ＯＮ（2ms 以上） こ
する とで、
レーザの投光を停止でき ます。
水戸 滋賀 外部入力を ＮＯ している間は、投光が停止します。外部入力を
029-302-0811 077-526-8122
Ｏ Ｆする 2ms以内に
Ｆ と、 レーザが発光します。 UL認証に関する注意事項について
柏 京都
0 4-7165-7011 075-352-0911
GV-Tシリーズは、 以下のUL規格とCSA規格に適合し、
異常時の処理について
幕張 大阪北
UL及びC-UL認証を取得しています。
0 43-296-7511 0 6-6338-1471
● 適 合規格
神田 大阪中央
次の場合は、 ぐに電源をOFFに く さ 異常
す して だ い。
0 3-5825-6211 0 6-6943-6111 UL508 Industrial Control Equipment
な ま使用する 故障の原因と り す。
ま と、 なま
東京 堺 CAN/CSA C22.2 No.14-M05 Industrial Control Equipment
警告
● 本体内部に水や異物が入っ とたき
0 3-5715-6211 072-224-4911
● U L File No. E301717
● 落 した 、
と り ケース を破損 と
した き
立川 神戸
● U Lカテゴ リ NRKH,NRKH7
● 本製品か ら煙が出た 、
り 変なにおいがする き
と
0 42-529-4911 078-322-0911
八王子 岡山
0 42-648-1101 0 86-224-1911
注意事項
使用についての注意事項
川崎 高松
0 44-220-3011 0 87-834-8911 G V - Tシリーズの 電 源は 、 国 の N F P A 7 0 N E C：
米 （
●
National Electrical Code）
に既定されるClass 2出力を
横浜 広島
正しい電源電圧でお使いく ださい。火災 感電
・ ・
●
0 45-263-1311 0 82-261-0911 故障の原因にな ます。
り 有するUL Listing 認証電源を必ずご使用下さい。
警告
● 本製品を分解 改造して使用しないで だ い。
・ くさ 火
藤沢 北九州 GV-Tシリーズは、センサヘッ とセンサアンプの組み合わ
ド
● 災 感電の原因にな ます。
・ り
0 466-29-0711 0 93-511-3911
せにてUL認証を取得しています。 GV-Tシリーズのセン
厚木 福岡
サヘッ ドは、必ずGV-Tシリーズのセンサアンプと ご使用下
ケーブルの着脱時は、 必ず本体および本体に付
0 46-224-0911
● 0 92-452-8411
属している機器の電源をOFFに く
して ださい。破 さい。
長野 熊本 損のおそれがあ ます。
り
注意
026-237-0911 0 96-278-8311
● 項目を設定している途中に電源をOFFにしないで
く ださい。設定データの一部または全てが失われ
0120 - 66 -3000
フリーダイヤル
るおそれがあ ます。
り
設置環境
本社・研究所／アプリセンサ事業部
〒533- 8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3-14 本製品を正常に、 た安全に使用
ま していただ ために、
く 次のよ
Tel 0 6 - 6379 -1131 Fax 0 6 - 6379 -1130 うな場所には設置しないで ださい。
く 故障の原因にな ます。
り
● 湿気の多い場所、ホコ の多い場所、
リ 風通しの悪い場所
海 外 事 業 部
● 直射日光があたる ど、
な 温度が高くなる場所
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どの
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