12
日本語 英 語 中国語
許容範囲 Permitted range
距離 Distance
き
︱
距離設定型 Fixed-distance
く
距離測定器 Road counter
距離調整 Adjust distance
切換 Switching
切欠 Notch
切り屑 Chip
亀裂 Crack
切れ刃 Cutting edge
切れ刃角 Cutting edge angle
切れ刃の逃げ角 Tip clearance
切目 Incision
記録フォーマット Recording format
緊急停止 Emergency stop
均等 Equalizing
禁止 Prohibit
近接スイッチ Proximity switch
金属 Metal
金属顕微鏡 Metallurgical microscope
金属材料 Metals
金属溶射 Metal spraying
近点ドグ Limit switch for near point
銀ロウ Silver solder
空気圧縮機 Air compressor
空気圧シリンダ Pneumatic cylinder,air cylinder
空気圧制御弁 Pneumatic control valve
空気圧フィルタ Pneumatic filter
空気除去 Air removal
空気清浄器 Air cleaner
かんたん作画
かんたん作画
[ 操作性UP ] vol.10
ガイドライン・配置整列機能を使う
ガイドライン／配置・整列
マウスでドラッグ＆ドロップするだけで、部品の位置調整を簡単にすることができます。
また、複数の部品を一括で整列することも可能です。
部品の上下左右
・中心を合わせた
ときにガイドライン
が出ます。
配置/整列ウィンドウ
でセンタリングや等
幅配置ができます。
ガイドライン / 配置・整列の方法
ガイドラインで任意の部品にセンタ 配置・整列で複数部品をセンタリング・等幅配置
リングすることができます。 することができます。
ガイドライン 配置・整列
配置・整列では
上揃え／上下中央揃え／上下均等揃え
／下揃え／左揃え／左右中央揃え
／左右均等揃え／右揃え
の中から配置・整列の種類を選択する
ことができます。
配置・整列ウィンドウはCtrl+Hキーで呼び出すことができます。
ガイドラインは左辺／右辺／上辺／下辺
／幅の中央／高さの中央の最大6個まで また、ソフト下部のショートカットアイコンからツークリックで行う
設定することができます。 こともできます。
VT3シリーズ リファレンスマニュアル 「表示の各機能について」 5-20ページ
「編集の各機能について」 4-15ページ
数値表示など同じ大きさの部品を複数配置する場合は“複数コピー”が便利です。
複数コピー
数値表示を選択した状態で右クリックメニューから複数コピーを選択します。
コピーする数を指定します。
配置するときの状態を
ドット単位で詳細に設定できます。
デバイスNo.を自動的にインクリメ
ントに設 定できます 。２ワードで
あれば２ずつデバイスNo.をインク
リすることも可能です。
通常のコピー、貼り付け機能も使用できますが、この場合はすべての設定がコピーされるので
デバイスNo.を再度調整する必要があります。
必要であれば、配置後に全体のサイズを変更してバランスを調整します。 均等に配置されます
15
ワンポイント
ワンポイント
数値表示など同じ大きさの部品を複数配置する場合は“複数コピー”が便利です。
複数コピー
複数コピー
数値表示をクリックした状態で右クリックしてポップアップメニューから複数コピーを選択します。
コ ピーする数を指定し
ます。
配置するときの状態を
ドット単位で詳細に設
定できます。
デ バイスＮｏを自動的
にインクリメントに設定
できます。２ワードであ
れば２ずつデバイスＮ
ｏをインクリすることも
可能です。
必要であれば、配置後に全体のサイズを変更してバランスを調整します。
均等に配
置されま
す。
通常のコピー、貼り付け機能も使用できますが、この場合はすべての設定がコピーされるので
デバイスＮｏ．を再度調整する必要があります。
25
ステップ １ ラダーサポートソフトから作画ソフトに
デバイスコメントを取り込みます。
タッチパネル作画ソフト
デバイスコメント取込画面 タッチパネルの作画ソフトにデバイス
コメントの一覧が作成されます。
タッチパネル作画ソフト
デバイスコメント一覧ウィンドウ
ステップ ２
タッチパネル作画ソフト 編集画面
ドラッグ＆
ドロップ
デバイスコメント一覧から編集画面に デバイスコメントがそのまま銘板に
ドラッグアンドドロップして部品の種類 なったスイッチ・ランプが自動的に完成。
を選択します。 しかも、デバイスＮｏ．は設定済み。
POINT
・ 銘板に文字を入力する工数を１００％
削減できます。
・ デバイスＮｏ．の設定ミスを
防止できます。
複数選択時は一度に均等なサイズの
スイッチ・ランプを自動的に作成可能。
3
ＳＥＭを使いこなそう！
Ⅳ-ⅱ. 非点収差の調整手順
非点調整手順
2つの非点調整
非点収差の有無は、フォー
非点調整には、観察画面の
フォーカス調整
カスをずらすことで、試料の
水平垂直方向の成分を調整
構造が均等にボケるか、特
する「Ｘ」と斜め方向の成分を
定の方向に流れたような像
調整する「Ｙ」の2つがあり、そ 非点Ｘ調整
になるかを確認します。
れぞれを個別に調整します。
非点収差は1回では調整し
非点Ｘ調整
非点Ｙ調整
きれないことが多く、この手
電子ビームの
順を数回繰り返します。
水平垂直成分を
調整
非点あり
非点収差有無を
非点Ｙ調整
確認
電子ビームの
斜め成分を
非点収差や調整手順を紹介した
調整
ムービーを収録しています。
非点なし
非点調整完了
3Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡 ＶＥシリーズには、自動非点メモリ機能が搭載されており
非点調整が必要となる頻度を抑えることで、誰にでも簡単なＳＥＭ観察を実現しています。
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
3つの
作画
テクニック
14 ［ 知ってて得する便利機能 ］
その
1. 複 数コピー
複数コピーを使用すれば、同じデザインの部品を一括で複数個コピーできます。
複数個の部品をきれい
にコピーします。
間隔指定も可能です。
2. 配 置/ 整 列
複数の部品を配置していると、微妙に位置がずれていきます。
こんな時に配置/整列を使うと見栄えよく部品を整列させることができます。
左揃え、均等揃えなど
複数個の部品をきれいに
配置/整列させることが可能です。
3. 装 飾枠
数値表示や画像貼り付け時に装飾枠を配置すると見栄えが向上します。
数値表示＋装飾枠 画像＋装飾枠
参照 VT2シリーズ リファレンスマニュアル「複数コピー」3-14ページ
VT2シリーズ リファレンスマニュアル「配置/整列」3-21ページ
VT2シリーズ リファレンスマニュアル「装飾枠の設定」6-6ページ
15
ＳＥＭの性能を回復しよう！
非点収差の調整
ＳＥＭ観察において必ず必要であり、かつあまり馴染みがない調整項目が非点収差（スティグマ）です。観察に使用する光はビー
ム全円周方向から均等に絞り込まれることで焦点位置で最も小さなスポットを形成できます。非点収差は、円周方向でのビーム
絞り角のばらつきを表します。非点収差がある状態では、ビームの円周方向で最も小さく絞り込まれる焦点位置が異なるため、
本来レンズが持つ能力まで光を細く絞ることができません。このため分解能が低下し、倍率が上がらないという状態になります。
光学顕微鏡ではレンズの形状により非点収差が補正されているため調整が不要になっていますが、その反面、決められた距離
でしか観察できない仕様になります。ＳＥＭでは観察の自由度が高い反面、面倒な調整も必要になっているといえるでしょう。
非点収差がない場合 焦点距離による電子ビーム断面形状の変化
ビーム円周方向から均等にビームが
焦点位置
スポットは真円のまま大きくなる スポットは真円のまま大きくなる
絞られるため焦点位置で小さなスポッ
ト径となります。このため焦点位置では
シャープな観察像が得られます。焦点
位置からはずれた場合には全方向均
等にぼけた像となります。
焦点距離による電子ビーム断面形状の変化
非点収差がある場合
ビームの円周方向により焦点位置が
異なるため、ビームは楕円形となりま 縦方向の焦点位置 中心位置 横方向の焦点位置
す。焦点位置でのスポットも最小となら
ないため、シャープな観察像は得られ
ません。焦点位置からはずれた場合に
はスポット径の長手方向に流れた像と
なります。
ますは非点調整を試してみましょう。
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
ＳＥＭの性能を回復しよう！
非点収差の調整
ＳＥＭ観察において必ず必要であり、かつあまり馴染みがない調整項目が非点収差（スティグマ）です。観察に使用する光はビー
ム全円周方向から均等に絞り込まれることで焦点位置で最も小さなスポットを形成できます。非点収差は、円周方向でのビーム
絞り角のばらつきを表します。非点収差がある状態では、ビームの円周方向で最も小さく絞り込まれる焦点位置が異なるため、
本来レンズが持つ能力まで光を細く絞ることができません。このため分解能が低下し、倍率が上がらないという状態になります。
光学顕微鏡ではレンズの形状により非点収差が補正されているため調整が不要になっていますが、その反面、決められた距離
でしか観察できない仕様になります。ＳＥＭでは観察の自由度が高い反面、面倒な調整も必要になっているといえるでしょう。
非点収差がない場合 焦点距離による電子ビーム断面形状の変化
ビーム円周方向から均等にビームが
焦点位置
スポットは真円のまま大きくなる スポットは真円のまま大きくなる
絞られるため焦点位置で小さなスポッ
ト径となります。このため焦点位置では
シャープな観察像が得られます。焦点
位置からはずれた場合には全方向均
等にぼけた像となります。
焦点距離による電子ビーム断面形状の変化
非点収差がある場合
ビームの円周方向により焦点位置が
異なるため、ビームは楕円形となりま 縦方向の焦点位置 中心位置 横方向の焦点位置
す。焦点位置でのスポットも最小となら
ないため、シャープな観察像は得られ
ません。焦点位置からはずれた場合に
はスポット径の長手方向に流れた像と
なります。
ますは非点調整を試してみましょう。
「非点収差」のムービーを見る
３Ｄリアルサーフェスビュー顕微鏡
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