高精度位置決めセンサ 光学式 位置決めセンサ
EGシリ PTシリ
ーズ ーズ
■ わずかな位置ズレを高精度に判別
■ Ｌ Ｄ反射タイプ
Ｅ
■ 渦電流式
■ 超小型ヘッドで取り付け簡単
■ 繰り返し精度0.001mm
■ 上下限出力を装備
■ 豊富なセンサバリエーション
■ 耐熱型ヘッドも用意
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
繰り返し精度0.001mm 繰り返し精度5μm
高安定度増幅回路の採用によ 、
り 繰り返し精度 μmを実現しています。
１ 寸法チェ クに最適で抜群の位置精度を実現。
ッ
微妙な形状の違いや密着確認などに最適です。
22mmの距離から、微小面積の変位検出が可能
抜群の温度特性 理 想 的な非 球 面レンズの採 用により、 準 距 離２
基 ２m mにおいて
スポッ φ ．mmを実現しています。
ト径 １５
アンプユニットに独自の温度補償回路を内蔵。センサヘッドは−１０∼
＋６０℃の広範囲に渡ってフラットな温度特性を確保 。 ０
０．８％/℃
上 下限コンパレータ機能を搭載
・ （アンプユニッ という抜群の安定性を保っています。
ト）
従来２ ト必要だった上下限設定を、
セッ １台で可能にし
SH-110 検 検出物体
ました。取り付け時の省力化に威力を発揮します。 しかも
出 鉄10×10×1mm
（代表例） 距
離 1.2 距離比例 リ
ト マにより扱いやすさも抜群です。
Ｙ
（mm）1.0
0.8
-10 0 10 20 30 40 50 60 周囲温度 :
（）
専
用
■ 仕 様
■ 仕 様 機
・センサヘッドバリエーシ ン
ョ
表
種類 形状 検出範囲 最大動作距離 応差距離 使用周囲温度 型式 PT-165
センサヘッド
型式
示
PT-A170
アンプユニット
0.6mm
0.03mm SH-302
器
赤色 Ｅ
Ｌ Ｄ反射式
方式
1.6mm
スポ ト径
ッ φ ．mm以下
１５
0.8mm
SH-303A
0.05mm 基準距離 ２ mm
２
2mm
円
検出範囲※１ ± mm
２
柱
1mm
型 繰り返し精度※2 ５μm
0.01mm SH-305
3mm
JC / GA / EG / PT シリーズ
応差距離※2 ２ μm
０
シ
ー
感度調整 １ 回転 リ （距離比例回路内蔵）
０ トマ
2mm
ル
0.01mm SH-308
ド
制御出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ最大 ０ mＡ ０
１ ０ （４ Ｖ以下） 残留電圧 Ｖ以下
１
5mm
タ 出力
イ ０５
．ms
応答時間
2mm
プ
Ｄ １ − ４ １ ％ リ プル Ｐ）０
Ｃ ２ ２ Ｖ± ０ ッ （Ｐ- １ ％以下
0.01mm 電源電圧
SH-110
5mm 定格
ネ
消費電流 ５ mＡ以下
０
ジ
型 5mm センサヘッド ０１ ｏ ＦＳ．
．％ ｆ ． /℃
0.015mm SH-114 特性温度※3
10mm
汎 ００ ５ ｏ ＦＳ．
． ％ ｆ ． /℃
２
アンプユニット
用 −10∼＋60℃
蛍光灯 ５ ０ R 以下
：０ ０ ｘ
使用周囲照度
※
型 5mm
薄
SH-614A
0.015mm 使用周囲温度 ０∼＋ ０
５℃
型 10mm 耐環境性
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
6mm
１∼５
０ ５ Hz 複振幅 ．mm Ｘ、 Ｚ方向各 時間
１５ Ｙ、 ２
耐振動
SH-416
0.015mm
15mm
センサヘッド アルミ キ ト
ダイ ャス
材質（ケース）
アンプユニット ポ カーボネー
リ ト
9mm
円
0.02mm SH-422
非 柱 センサヘッド 約１ ０（コー
０g ド含む）
22mm
シ ＋ 質量
ー アンプユニット 約１ ０（コー
５g ド含む）
ネ 12mm
ル
ジ 0.03mm
ド SH-430 ※１ 基準距離を中心と して
型 30mm
タ
※ 測定対象物……白紙
２
イ
プ ※ ＦＳ．
３ ． は検出範囲 mmを示します。
４
18mm
0.05mm SH-440
40mm
円 35mm
0.1mm SH-290
柱
70mm
型
円
0.5mm∼2mm 0.04mm SH-809
柱
タシ 型
イー
ル
耐 プド ネ
1mm∼4mm 0.04mm −10∼＋200℃ SH-816
ジ
熱 型
型 ド非 ネ円
タシ ジ 0.04mm
2mm∼8mm SH-822
イー 柱
プル 型＋
耐 タシ ネ 2mm
ー 0.05mm SH-108
油 イル ジ −10∼＋60℃
3.5mm
型 プド 型
※薄型タ プでは らに ニサイ （薄さ ．mm） Ｓ ０ ７ を準標準で用意しています。
イ さミ ズ ３５ の、 Ｈ- ８ ２ 詳細はお問い合わせ ださい。
く
※詳細仕様につきま しては別途お問い合わせ ださい。
く
www.keyence.co.jp/henni 35
※外形寸法図はP45、46に掲載してます。
高精度位置決めセンサ 光学式 位置決めセンサ
EGシリ PTシリ
ーズ ーズ
■ わずかな位置ズレを高精度に判別
■ Ｌ Ｄ反射タイプ
Ｅ
■ 渦電流式
■ 超小型ヘッドで取り付け簡単
■ 繰り返し精度0.001mm
■ 上下限出力を装備
■ 豊富なセンサバリエーション
■ 耐熱型ヘッドも用意
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
繰り返し精度0.001mm 繰り返し精度5μm
高安定度増幅回路の採用によ 、
り 繰り返し精度 μmを実現しています。
１ 寸法チェ クに最適で抜群の位置精度を実現。
ッ
微妙な形状の違いや密着確認などに最適です。
22mmの距離から、微小面積の変位検出が可能
抜群の温度特性 理 想 的な非 球 面レンズの採 用により、 準 距 離２
基 ２m mにおいて
スポッ φ ．mmを実現しています。
ト径 １５
アンプユニットに独自の温度補償回路を内蔵。センサヘッドは−１０∼
＋６０℃の広範囲に渡ってフラットな温度特性を確保 。 ０
０．８％/℃
上 下限コンパレータ機能を搭載
・ （アンプユニッ という抜群の安定性を保っています。
ト）
従来２ ト必要だった上下限設定を、
セッ １台で可能にし
SH-110 検 検出物体
ました。取り付け時の省力化に威力を発揮します。 しかも
出 鉄10×10×1mm
（代表例） 距
離 1.2 距離比例 リ
ト マにより扱いやすさも抜群です。
Ｙ
（mm）1.0
0.8
-10 0 10 20 30 40 50 60 周囲温度 :
（）
専
用
■ 仕 様
■ 仕 様 機
・センサヘッドバリエーシ ン
ョ
表
種類 形状 検出範囲 最大動作距離 応差距離 使用周囲温度 型式 PT-165
センサヘッド
型式
示
PT-A170
アンプユニット
0.6mm
0.03mm SH-302
器
赤色 Ｅ
Ｌ Ｄ反射式
方式
1.6mm
スポ ト径
ッ φ ．mm以下
１５
0.8mm
SH-303A
0.05mm 基準距離 ２ mm
２
2mm
円
検出範囲※１ ± mm
２
柱
1mm
型 繰り返し精度※2 ５μm
0.01mm SH-305
3mm
JC / GA / EG / PT シリーズ
応差距離※2 ２ μm
０
シ
ー
感度調整 １ 回転 リ （距離比例回路内蔵）
０ トマ
2mm
ル
0.01mm SH-308
ド
制御出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ最大 ０ mＡ ０
１ ０ （４ Ｖ以下） 残留電圧 Ｖ以下
１
5mm
タ 出力
イ ０５
．ms
応答時間
2mm
プ
Ｄ １ − ４ １ ％ リ プル Ｐ）０
Ｃ ２ ２ Ｖ± ０ ッ （Ｐ- １ ％以下
0.01mm 電源電圧
SH-110
5mm 定格
ネ
消費電流 ５ mＡ以下
０
ジ
型 5mm センサヘッド ０１ ｏ ＦＳ．
．％ ｆ ． /℃
0.015mm SH-114 特性温度※3
10mm
汎 ００ ５ ｏ ＦＳ．
． ％ ｆ ． /℃
２
アンプユニット
用 −10∼＋60℃
蛍光灯 ５ ０ R 以下
：０ ０ ｘ
使用周囲照度
※
型 5mm
薄
SH-614A
0.015mm 使用周囲温度 ０∼＋ ０
５℃
型 10mm 耐環境性
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
6mm
１∼５
０ ５ Hz 複振幅 ．mm Ｘ、 Ｚ方向各 時間
１５ Ｙ、 ２
耐振動
SH-416
0.015mm
15mm
センサヘッド アルミ キ ト
ダイ ャス
材質（ケース）
アンプユニット ポ カーボネー
リ ト
9mm
円
0.02mm SH-422
非 柱 センサヘッド 約１ ０（コー
０g ド含む）
22mm
シ ＋ 質量
ー アンプユニット 約１ ０（コー
５g ド含む）
ネ 12mm
ル
ジ 0.03mm
ド SH-430 ※１ 基準距離を中心と して
型 30mm
タ
※ 測定対象物……白紙
２
イ
プ ※ ＦＳ．
３ ． は検出範囲 mmを示します。
４
18mm
0.05mm SH-440
40mm
円 35mm
0.1mm SH-290
柱
70mm
型
円
0.5mm∼2mm 0.04mm SH-809
柱
タシ 型
イー
ル
耐 プド ネ
1mm∼4mm 0.04mm −10∼＋200℃ SH-816
ジ
熱 型
型 ド非 ネ円
タシ ジ 0.04mm
2mm∼8mm SH-822
イー 柱
プル 型＋
耐 タシ ネ 2mm
ー 0.05mm SH-108
油 イル ジ −10∼＋60℃
3.5mm
型 プド 型
※薄型タ プでは らに ニサイ （薄さ ．mm） Ｓ ０ ７ を準標準で用意しています。
イ さミ ズ ３５ の、 Ｈ- ８ ２ 詳細はお問い合わせ ださい。
く
※詳細仕様につきま しては別途お問い合わせ ださい。
く
www.keyence.co.jp/henni 35
※外形寸法図はP45、46に掲載してます。
高精度位置決めセンサ 光学式 位置決めセンサ
EGシリ PTシリ
ーズ ーズ
■ わずかな位置ズレを高精度に判別
■ Ｌ Ｄ反射タイプ
Ｅ
■ 渦電流式
■ 超小型ヘッドで取り付け簡単
■ 繰り返し精度0.001mm
■ 上下限出力を装備
■ 豊富なセンサバリエーション
■ 耐熱型ヘッドも用意
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
繰り返し精度0.001mm 繰り返し精度5μm
高安定度増幅回路の採用によ 、
り 繰り返し精度 μmを実現しています。
１ 寸法チェ クに最適で抜群の位置精度を実現。
ッ
微妙な形状の違いや密着確認などに最適です。
22mmの距離から、微小面積の変位検出が可能
抜群の温度特性 理 想 的な非 球 面レンズの採 用により、 準 距 離２
基 ２m mにおいて
スポッ φ ．mmを実現しています。
ト径 １５
アンプユニットに独自の温度補償回路を内蔵。センサヘッドは−１０∼
＋６０℃の広範囲に渡ってフラットな温度特性を確保 。 ０
０．８％/℃
上 下限コンパレータ機能を搭載
・ （アンプユニッ という抜群の安定性を保っています。
ト）
従来２ ト必要だった上下限設定を、
セッ １台で可能にし
SH-110 検 検出物体
ました。取り付け時の省力化に威力を発揮します。 しかも
出 鉄10×10×1mm
（代表例） 距
離 1.2 距離比例 リ
ト マにより扱いやすさも抜群です。
Ｙ
（mm）1.0
0.8
-10 0 10 20 30 40 50 60 周囲温度 :
（）
専
用
■ 仕 様
■ 仕 様 機
・センサヘッドバリエーシ ン
ョ
表
種類 形状 検出範囲 最大動作距離 応差距離 使用周囲温度 型式 PT-165
センサヘッド
型式
示
PT-A170
アンプユニット
0.6mm
0.03mm SH-302
器
赤色 Ｅ
Ｌ Ｄ反射式
方式
1.6mm
スポ ト径
ッ φ ．mm以下
１５
0.8mm
SH-303A
0.05mm 基準距離 ２ mm
２
2mm
円
検出範囲※１ ± mm
２
柱
1mm
型 繰り返し精度※2 ５μm
0.01mm SH-305
3mm
JC / GA / EG / PT シリーズ
応差距離※2 ２ μm
０
シ
ー
感度調整 １ 回転 リ （距離比例回路内蔵）
０ トマ
2mm
ル
0.01mm SH-308
ド
制御出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ最大 ０ mＡ ０
１ ０ （４ Ｖ以下） 残留電圧 Ｖ以下
１
5mm
タ 出力
イ ０５
．ms
応答時間
2mm
プ
Ｄ １ − ４ １ ％ リ プル Ｐ）０
Ｃ ２ ２ Ｖ± ０ ッ （Ｐ- １ ％以下
0.01mm 電源電圧
SH-110
5mm 定格
ネ
消費電流 ５ mＡ以下
０
ジ
型 5mm センサヘッド ０１ ｏ ＦＳ．
．％ ｆ ． /℃
0.015mm SH-114 特性温度※3
10mm
汎 ００ ５ ｏ ＦＳ．
． ％ ｆ ． /℃
２
アンプユニット
用 −10∼＋60℃
蛍光灯 ５ ０ R 以下
：０ ０ ｘ
使用周囲照度
※
型 5mm
薄
SH-614A
0.015mm 使用周囲温度 ０∼＋ ０
５℃
型 10mm 耐環境性
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
6mm
１∼５
０ ５ Hz 複振幅 ．mm Ｘ、 Ｚ方向各 時間
１５ Ｙ、 ２
耐振動
SH-416
0.015mm
15mm
センサヘッド アルミ キ ト
ダイ ャス
材質（ケース）
アンプユニット ポ カーボネー
リ ト
9mm
円
0.02mm SH-422
非 柱 センサヘッド 約１ ０（コー
０g ド含む）
22mm
シ ＋ 質量
ー アンプユニット 約１ ０（コー
５g ド含む）
ネ 12mm
ル
ジ 0.03mm
ド SH-430 ※１ 基準距離を中心と して
型 30mm
タ
※ 測定対象物……白紙
２
イ
プ ※ ＦＳ．
３ ． は検出範囲 mmを示します。
４
18mm
0.05mm SH-440
40mm
円 35mm
0.1mm SH-290
柱
70mm
型
円
0.5mm∼2mm 0.04mm SH-809
柱
タシ 型
イー
ル
耐 プド ネ
1mm∼4mm 0.04mm −10∼＋200℃ SH-816
ジ
熱 型
型 ド非 ネ円
タシ ジ 0.04mm
2mm∼8mm SH-822
イー 柱
プル 型＋
耐 タシ ネ 2mm
ー 0.05mm SH-108
油 イル ジ −10∼＋60℃
3.5mm
型 プド 型
※薄型タ プでは らに ニサイ （薄さ ．mm） Ｓ ０ ７ を準標準で用意しています。
イ さミ ズ ３５ の、 Ｈ- ８ ２ 詳細はお問い合わせ ださい。
く
※詳細仕様につきま しては別途お問い合わせ ださい。
く
www.keyence.co.jp/henni 35
※外形寸法図はP45、46に掲載してます。
■ 仕 様
センサヘッド
標準型 超耐油型 耐薬品型
種類
シールドタイプ
形状 円柱型 ネジ型 薄型 薄型 ネジ型 円柱型
EH-302 EH-303A EH-305 EH-308 EH-110 EH-114 EH-605 EH-614A EH-108※１ EH-910
型式
安定検出範囲 ０ ０６
∼ ．mm ０ ０８
∼ ．mm ０１
∼ mm ０２
∼ mm ０５
∼ mm ０∼1mm ０５
∼ mm ０ １５
∼ ．mm ０∼2mm
最大動作距離※２ １２
．mm ２mm ３mm ５mm ８mm 3mm ８mm ２５
．mm 4．mm
５
応差距離 ００ mm
．４ ００ mm
．５ ００ mm
．４ ００ mm
．５ ００ mm
．５ ００ mm
．７ ００ mm
．６
繰り返し精度 ００ ２
． mm
０ ００ ５
． mm
０ ００ ２
． mm
０ ００ ５
． mm
０
検出物体 磁性金属（非磁性金属については特性図を参照）
標準検出物体 １ ）
（鉄 ｔ ５５
× mm １×０
０ １ mm １×５
５ １ mm ５ ５
× mm １×５
５ １ mm １×０
０ １ mm
＋０
２ ＋５
１
温度特性 − ０∼＋ ０
１ ６ ℃の温度範囲で＋ ３
２ ℃のときの検出距離の± ０％以下 Ｈ-３ ２,６ ５ ％以下）
１ （Ｅ ０ ０ は −１０ （EH-９ ０ ０∼＋ ０
１は ６ ℃の温度範囲で １０
− ％以下）
保護構造 Ｉ６
Ｐ- ７
耐
環 使用周囲温度 −０ ６℃
１ ∼＋ ０ （氷結しないこと）
境
性 使用周囲湿度 ３∼５ Ｈ
５ ８ ％Ｒ
質量（コー ３ 付）
ドm 約９
２g 約８
３g 約５
４g 約７
４g 約５
５g 約２
６g 約０
３g 約 7g
５ 約１
５g 約３
５g
※ Ｈ - ０ は超耐油構造ですが、
１ Ｅ １８ 油中でのご使用は避けて だ い。
くさ
※ ＋ ３
２ ２ ℃一定での仕様で、 精度を無視して得られる最大の動作距離です。
センサヘッド
ステンレススパイラルチューブ型 標準型
種類
シールドタイプ 非シールドタイプ
形状 円柱型 ネジ型 円柱型 円柱＋ネジ型 円柱型
EH-305S※３ EH-308S※３ EH-110S※３
EH-402 EH-416 EH-422 EH-430 EH-440 EH-290※３
型式
安定検出範囲 ０１
∼ mm ０２
∼ mm ０３
∼ mm ０６
∼ mm ０９
∼ mm ０ １ mm
∼２ ０ １ mm
∼８ ０ ３ mm
∼５
最大動作距離※２ ３mm ５mm ７mm １ mm
３ １ mm
８ ２ mm
５ ３ mm
６ ７ mm
０
応差距離 ００ mm
．５ ００ mm
．４ ００ mm
．４ ００ mm
．５ ００ mm
．６ ００ mm
．８ ０１
．mm ０２
．mm
繰り返し精度 ００ ２
． mm
０ ００ ５
． mm
０ ００ ２
． mm
０ ００ ２
． mm
１ ００ mm
．２ ００ ５
． mm
２ ００ ７
． mm
３ ００ ５
． mm
７
検出物体 磁性金属（非磁性金属については特性図を参照）
標準検出物体 １ ）
（鉄 ｔ ５５
× mm １×０
０ １ mm １×０
０ １ mm ２×０
０ ２ mm ２×５
５ ２ mm ３×０
０ ３ mm ４×０
０ ４ mm １ ０ １ ０
５ × ５ mm
１ ％以下 Ｈ- ０ は ０％以下）
（Ｅ ４ ２ ＋３０
温度特性 − ０ ６ ℃の温度範囲で＋ ３
１ ∼＋ ０ ２ ℃のときの検出距離の± ０ ー１
保護構造 Ｉ６
Ｐ- ７
耐
環 使用周囲温度 −０ ６℃
１ ∼＋ ０ （氷結しないこと）
境
性 使用周囲湿度 ３∼５ Ｈ
５ ８ ％Ｒ
質量（コー ３ 付）
ドm 約６
７g 約８
８ 約０g
１０ 約８
２g 約２
７g 約７g
１５ 約２g
２５ 約８g
２０ 約５g
６０
※ Ｈ - ９ 、Ｈ- ０ Ｓ Ｅ ３ ８ 、Ｈ- １ Ｓ
３ Ｅ ２ ０ Ｅ ３ ５ 、Ｈ- ０ Ｓ Ｅ １ ０ は準標準品です。納期についてはお問い合わせ だ い。
くさ
アンプユニット
種類 ワンライン増設式
ES-M1 ES-M2
型式
感度調整 ２ 回転
５ トリマ
応答時間 １ms以下
動作形態 Ｎ． /Ｎ．． ッチ切換
Ｏ． Ｃ スイ
温度特性 ０ ５ ℃の温度範囲で＋ ３
∼＋ ０ ２ ℃のときの検出距離の± ％以下
８
タイマ機能※１ ディ １ ms/タイマOFF スイ
レイ ０ ッチ切換
Ｎ Ｎオープンコレクタ最大 ０ mＡ
Ｐ １０
制御出力
（０４ Ｖ以下）残留電圧 Ｖ以下
１
出
力 Ｎ Ｎオープンコレクタ最大 ０ mＡ
Ｐ １０
断線警報出力※2
（０４ Ｖ以下）残留電圧 Ｖ以下
１
保護回路 電源逆接続保護、 出力過電流保護、 出力サージ保護
電源電圧 Ｄ １−４ リ
Ｃ ２ ２ Ｖ ップル（Ｐ-Ｐ）０
１ ％以下
定
格 消費電流 ２ mＡ以下
５
耐
０ ５ ℃※3
使用周囲温度 ∼＋ ０
環
境
使用周囲湿度 ３∼５ Ｈ
５ ８ ％Ｒ （結露しないこと）
性
質量 約 ５ （コー ２
６g ド m付） 約 ５ （コー ２
３g ド m付）
※ S -M
・ ２ Ｅ ４ ２ ４ ０ ４ ０ ２ ０
Ｅ １ M は Ｈ- ２ 、３ 、４ 、９ と接続で ません。
き
※ 動作形態N.O.時、
１ オフディ タ マ10msと り、
レイ イ な N.C.時、
オンディ タ マ10msと り
レイ イ な ます。
※2 ES-M には断線警報出力はあ ません。
２ り
※3 増設さ れる場合は、 以下の条件によ って使用周囲温度は変わ ます。
り 増設する場合は、必ずDINレール（金属板）に取り付け、
出力電流は ０ ２ mA以下と く さ ∼ ０
して だ い。 １ １ 台増設時 ∼＋ ０
０ ５ ℃ １ １ 台増設時 ∼＋ ５
１∼６ ０ ４℃
ES-M1 ES-M2
茶 DC12−24V
近
最大100mA
過 最大100mA
黒 接 黒
近 電 DC5−40V
負荷 過 DC5−40V
負荷
セ
接 流 （制御出力） 電
最大100mA ン
セ 保 （制御出力）
流
橙 サ
護
ン 負荷 DC5−40V 保
（断線警報出力）
回 主
サ 護
路 回
主 回
青 路
回 路
０V ０V
路
※電源はES-M 、Ｓ- Ｔ 、Ｓ- Ｔ
・ １ Ｖ
・ １ 、
１Ｐ １Ｆ １ Ｍ
・ １ V １
LV-21A 11A、
・ CZ-V よ
１ り供給されます。
6
超音波式 変位センサ
UD-300シリーズ
■ 対象物を選ばない超音波式
■ 超ロングレンジmax10m
■ 分解能1mm
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 測定範囲 型式
高精度 ミドルレンジ ロングレン 高精度ロング 超ロング レンジ
種類
レンジタイ ※１ タイ ※１
タイプ タイプ ジタイ プ プ プ
センサヘッド UD-310 UD-320 UD-360 UD-330 UD-390
60∼300mm UD-310
型式 UD-300 UD-300
アンプユニット UD-300
SO 5171）
（ SO 5277）
（
測定範囲 ６∼０
０ ３ ０mm ２ ０ ３ ０mm ８ ∼６ ０cm ４ ０ ３ ０
０ ∼１ ０ ００ ０ ∼ ０ ０mm ８ ∼１ ０
０ ０ ０cm
表示分解能 １mm １cm １mm １cm 200∼1300mm UD-320
（表示） ２
※
指示精度 ± ％ｏ Ｆ
１ ｆ .Ｓ
４ ２ｍ
・ ー０ Ａ
０ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
出力電流
（ど らか
ち
アナログ 400∼3000mm UD-330
一方を選択）
電流出力
適用負荷 ０ ５０
∼ ０Ω
分解能※３ ００ ｍ
．Ａ
８ ００ ６ ｍ
． ２Ａ
０ ００ ｍ
．Ａ
８
温度特性 ００ ％ ｏ Ｆ
．５ ｆ .Ｓ./℃
80∼600cm UD-360
リレー出力 c× Ａ ２ ０ ３A
１ ２ Ｃ ２ V （抵抗負荷）
制御出力
リレー出力 a
１ Ａ ２ ０ ３A
Ｃ ２ V （抵抗負荷）
アラーム出力
出 力 応差距離 １４
∼２ ０mm可変 １ ５
∼２ ５mm可変 １ ５cm可変 １ ５
∼２ ∼２ ５mm可変 １ ５cm可変
∼２
３ ms
８ ５ ms
６ ３ ３ms
０ ８ ms
６ ３０
１ ms 80∼1000cm UD-390
応答時間
（２ Hz設定時） ０
０ （１ Hz設定時） ３Hz設定時） Hz設定時） Hz設定時）
（ （４ （２
１ mm□ ２ mm□ １０ □ ５ mm□ ２０ □
０ ０ ０ mm ０ ０ mm
最小検出物体※４
定格 電源電圧※５/消費電流 Ｄ ２ Vリ プル Ｐ）０
Ｃ ４ ッ （Ｐ- １ ％以下/ ５ mA以下
２０
使用周囲 センサヘッド −５
２ ∼＋ ０
７℃ ※１ 準標準品ですので納期、 特性については別途お問い合わせ ださい。 く
※ アナログ出力の直線性は± ．％ ｆ .Ｓ.です。
２ ２５ ｏ Ｆ
温度 アンプユニット ０∼＋ ５
５℃
耐環境性 （ .Ｓ.は Ｄ- １ ＝ ０ mm、 Ｄ- ２ ＝ ３ ０
Ｆ Ｕ ３０ ３０ Ｕ ３ ０ １ ０ mm、 Ｄ- ６ ＝ ０ cm、
Ｕ ３０ ６０
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
Ｕ ３ ０ ３ ０ mm、 Ｄ- ９ ＝ ０ ０
Ｄ- ３ ＝ ０ ０ Ｕ ３ ０ １ ０ cmです。 ）
Ｉ６
Ｐ５
保護構造（センサヘッド） ※３ 距離換算で表示分解能の mm Ｄ- ６ と Ｄ- ９ は cm）
１ （Ｕ ３ ０ Ｕ ３ ０ １ 以下にはな ません。
り
※ 最小検出物体は上記の仕様を満足する検出物体の大き を示します。
４ さ
約３g
３０ 約６g
２０ 約０g
５０
約１ ０
９g
センサヘッド 有無検出など状況によっては、 らに小さな対象物にも対応できます。
さ
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
質量
別途お問い合わせ ださい。く
アンプユニット 約５g
４０
※ 使用可能範囲はDC ０ ３ Vです。
５ ２−０
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超音波式 変位センサ
UD-300シリーズ
■ 対象物を選ばない超音波式
■ 超ロングレンジmax10m
■ 分解能1mm
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 測定範囲 型式
高精度 ミドルレンジ ロングレン 高精度ロング 超ロング レンジ
種類
レンジタイ ※１ タイ ※１
タイプ タイプ ジタイ プ プ プ
センサヘッド UD-310 UD-320 UD-360 UD-330 UD-390
60∼300mm UD-310
型式 UD-300 UD-300
アンプユニット UD-300
SO 5171）
（ SO 5277）
（
測定範囲 ６∼０
０ ３ ０mm ２ ０ ３ ０mm ８ ∼６ ０cm ４ ０ ３ ０
０ ∼１ ０ ００ ０ ∼ ０ ０mm ８ ∼１ ０
０ ０ ０cm
表示分解能 １mm １cm １mm １cm 200∼1300mm UD-320
（表示） ２
※
指示精度 ± ％ｏ Ｆ
１ ｆ .Ｓ
４ ２ｍ
・ ー０ Ａ
０ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
出力電流
（ど らか
ち
アナログ 400∼3000mm UD-330
一方を選択）
電流出力
適用負荷 ０ ５０
∼ ０Ω
分解能※３ ００ ｍ
．Ａ
８ ００ ６ ｍ
． ２Ａ
０ ００ ｍ
．Ａ
８
温度特性 ００ ％ ｏ Ｆ
．５ ｆ .Ｓ./℃
80∼600cm UD-360
リレー出力 c× Ａ ２ ０ ３A
１ ２ Ｃ ２ V （抵抗負荷）
制御出力
リレー出力 a
１ Ａ ２ ０ ３A
Ｃ ２ V （抵抗負荷）
アラーム出力
出 力 応差距離 １４
∼２ ０mm可変 １ ５
∼２ ５mm可変 １ ５cm可変 １ ５
∼２ ∼２ ５mm可変 １ ５cm可変
∼２
３ ms
８ ５ ms
６ ３ ３ms
０ ８ ms
６ ３０
１ ms 80∼1000cm UD-390
応答時間
（２ Hz設定時） ０
０ （１ Hz設定時） ３Hz設定時） Hz設定時） Hz設定時）
（ （４ （２
１ mm□ ２ mm□ １０ □ ５ mm□ ２０ □
０ ０ ０ mm ０ ０ mm
最小検出物体※４
定格 電源電圧※５/消費電流 Ｄ ２ Vリ プル Ｐ）０
Ｃ ４ ッ （Ｐ- １ ％以下/ ５ mA以下
２０
使用周囲 センサヘッド −５
２ ∼＋ ０
７℃ ※１ 準標準品ですので納期、 特性については別途お問い合わせ ださい。 く
※ アナログ出力の直線性は± ．％ ｆ .Ｓ.です。
２ ２５ ｏ Ｆ
温度 アンプユニット ０∼＋ ５
５℃
耐環境性 （ .Ｓ.は Ｄ- １ ＝ ０ mm、 Ｄ- ２ ＝ ３ ０
Ｆ Ｕ ３０ ３０ Ｕ ３ ０ １ ０ mm、 Ｄ- ６ ＝ ０ cm、
Ｕ ３０ ６０
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
Ｕ ３ ０ ３ ０ mm、 Ｄ- ９ ＝ ０ ０
Ｄ- ３ ＝ ０ ０ Ｕ ３ ０ １ ０ cmです。 ）
Ｉ６
Ｐ５
保護構造（センサヘッド） ※３ 距離換算で表示分解能の mm Ｄ- ６ と Ｄ- ９ は cm）
１ （Ｕ ３ ０ Ｕ ３ ０ １ 以下にはな ません。
り
※ 最小検出物体は上記の仕様を満足する検出物体の大き を示します。
４ さ
約３g
３０ 約６g
２０ 約０g
５０
約１ ０
９g
センサヘッド 有無検出など状況によっては、 らに小さな対象物にも対応できます。
さ
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
質量
別途お問い合わせ ださい。く
アンプユニット 約５g
４０
※ 使用可能範囲はDC ０ ３ Vです。
５ ２−０
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超音波式 変位センサ
UD-300シリーズ
■ 対象物を選ばない超音波式
■ 超ロングレンジmax10m
■ 分解能1mm
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 測定範囲 型式
高精度 ミドルレンジ ロングレン 高精度ロング 超ロング レンジ
種類
レンジタイ ※１ タイ ※１
タイプ タイプ ジタイ プ プ プ
センサヘッド UD-310 UD-320 UD-360 UD-330 UD-390
60∼300mm UD-310
型式 UD-300 UD-300
アンプユニット UD-300
SO 5171）
（ SO 5277）
（
測定範囲 ６∼０
０ ３ ０mm ２ ０ ３ ０mm ８ ∼６ ０cm ４ ０ ３ ０
０ ∼１ ０ ００ ０ ∼ ０ ０mm ８ ∼１ ０
０ ０ ０cm
表示分解能 １mm １cm １mm １cm 200∼1300mm UD-320
（表示） ２
※
指示精度 ± ％ｏ Ｆ
１ ｆ .Ｓ
４ ２ｍ
・ ー０ Ａ
０ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
出力電流
（ど らか
ち
アナログ 400∼3000mm UD-330
一方を選択）
電流出力
適用負荷 ０ ５０
∼ ０Ω
分解能※３ ００ ｍ
．Ａ
８ ００ ６ ｍ
． ２Ａ
０ ００ ｍ
．Ａ
８
温度特性 ００ ％ ｏ Ｆ
．５ ｆ .Ｓ./℃
80∼600cm UD-360
リレー出力 c× Ａ ２ ０ ３A
１ ２ Ｃ ２ V （抵抗負荷）
制御出力
リレー出力 a
１ Ａ ２ ０ ３A
Ｃ ２ V （抵抗負荷）
アラーム出力
出 力 応差距離 １４
∼２ ０mm可変 １ ５
∼２ ５mm可変 １ ５cm可変 １ ５
∼２ ∼２ ５mm可変 １ ５cm可変
∼２
３ ms
８ ５ ms
６ ３ ３ms
０ ８ ms
６ ３０
１ ms 80∼1000cm UD-390
応答時間
（２ Hz設定時） ０
０ （１ Hz設定時） ３Hz設定時） Hz設定時） Hz設定時）
（ （４ （２
１ mm□ ２ mm□ １０ □ ５ mm□ ２０ □
０ ０ ０ mm ０ ０ mm
最小検出物体※４
定格 電源電圧※５/消費電流 Ｄ ２ Vリ プル Ｐ）０
Ｃ ４ ッ （Ｐ- １ ％以下/ ５ mA以下
２０
使用周囲 センサヘッド −５
２ ∼＋ ０
７℃ ※１ 準標準品ですので納期、 特性については別途お問い合わせ ださい。 く
※ アナログ出力の直線性は± ．％ ｆ .Ｓ.です。
２ ２５ ｏ Ｆ
温度 アンプユニット ０∼＋ ５
５℃
耐環境性 （ .Ｓ.は Ｄ- １ ＝ ０ mm、 Ｄ- ２ ＝ ３ ０
Ｆ Ｕ ３０ ３０ Ｕ ３ ０ １ ０ mm、 Ｄ- ６ ＝ ０ cm、
Ｕ ３０ ６０
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
Ｕ ３ ０ ３ ０ mm、 Ｄ- ９ ＝ ０ ０
Ｄ- ３ ＝ ０ ０ Ｕ ３ ０ １ ０ cmです。 ）
Ｉ６
Ｐ５
保護構造（センサヘッド） ※３ 距離換算で表示分解能の mm Ｄ- ６ と Ｄ- ９ は cm）
１ （Ｕ ３ ０ Ｕ ３ ０ １ 以下にはな ません。
り
※ 最小検出物体は上記の仕様を満足する検出物体の大き を示します。
４ さ
約３g
３０ 約６g
２０ 約０g
５０
約１ ０
９g
センサヘッド 有無検出など状況によっては、 らに小さな対象物にも対応できます。
さ
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
質量
別途お問い合わせ ださい。く
アンプユニット 約５g
４０
※ 使用可能範囲はDC ０ ３ Vです。
５ ２−０
32 www.keyence.co.jp/henni
超音波式 変位センサ
UD-300シリーズ
■ 対象物を選ばない超音波式
■ 超ロングレンジmax10m
■ 分解能1mm
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 測定範囲 型式
高精度 ミドルレンジ ロングレン 高精度ロング 超ロング レンジ
種類
レンジタイ ※１ タイ ※１
タイプ タイプ ジタイ プ プ プ
センサヘッド UD-310 UD-320 UD-360 UD-330 UD-390
60∼300mm UD-310
型式 UD-300 UD-300
アンプユニット UD-300
SO 5171）
（ SO 5277）
（
測定範囲 ６∼０
０ ３ ０mm ２ ０ ３ ０mm ８ ∼６ ０cm ４ ０ ３ ０
０ ∼１ ０ ００ ０ ∼ ０ ０mm ８ ∼１ ０
０ ０ ０cm
表示分解能 １mm １cm １mm １cm 200∼1300mm UD-320
（表示） ２
※
指示精度 ± ％ｏ Ｆ
１ ｆ .Ｓ
４ ２ｍ
・ ー０ Ａ
０ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
４ ２ｍ
−０ Ａ
出力電流
（ど らか
ち
アナログ 400∼3000mm UD-330
一方を選択）
電流出力
適用負荷 ０ ５０
∼ ０Ω
分解能※３ ００ ｍ
．Ａ
８ ００ ６ ｍ
． ２Ａ
０ ００ ｍ
．Ａ
８
温度特性 ００ ％ ｏ Ｆ
．５ ｆ .Ｓ./℃
80∼600cm UD-360
リレー出力 c× Ａ ２ ０ ３A
１ ２ Ｃ ２ V （抵抗負荷）
制御出力
リレー出力 a
１ Ａ ２ ０ ３A
Ｃ ２ V （抵抗負荷）
アラーム出力
出 力 応差距離 １４
∼２ ０mm可変 １ ５
∼２ ５mm可変 １ ５cm可変 １ ５
∼２ ∼２ ５mm可変 １ ５cm可変
∼２
３ ms
８ ５ ms
６ ３ ３ms
０ ８ ms
６ ３０
１ ms 80∼1000cm UD-390
応答時間
（２ Hz設定時） ０
０ （１ Hz設定時） ３Hz設定時） Hz設定時） Hz設定時）
（ （４ （２
１ mm□ ２ mm□ １０ □ ５ mm□ ２０ □
０ ０ ０ mm ０ ０ mm
最小検出物体※４
定格 電源電圧※５/消費電流 Ｄ ２ Vリ プル Ｐ）０
Ｃ ４ ッ （Ｐ- １ ％以下/ ５ mA以下
２０
使用周囲 センサヘッド −５
２ ∼＋ ０
７℃ ※１ 準標準品ですので納期、 特性については別途お問い合わせ ださい。 く
※ アナログ出力の直線性は± ．％ ｆ .Ｓ.です。
２ ２５ ｏ Ｆ
温度 アンプユニット ０∼＋ ５
５℃
耐環境性 （ .Ｓ.は Ｄ- １ ＝ ０ mm、 Ｄ- ２ ＝ ３ ０
Ｆ Ｕ ３０ ３０ Ｕ ３ ０ １ ０ mm、 Ｄ- ６ ＝ ０ cm、
Ｕ ３０ ６０
使用周囲湿度 ３ ∼ ５ Ｒ （結露しないこ
５ ８％ Ｈ と）
Ｕ ３ ０ ３ ０ mm、 Ｄ- ９ ＝ ０ ０
Ｄ- ３ ＝ ０ ０ Ｕ ３ ０ １ ０ cmです。 ）
Ｉ６
Ｐ５
保護構造（センサヘッド） ※３ 距離換算で表示分解能の mm Ｄ- ６ と Ｄ- ９ は cm）
１ （Ｕ ３ ０ Ｕ ３ ０ １ 以下にはな ません。
り
※ 最小検出物体は上記の仕様を満足する検出物体の大き を示します。
４ さ
約３g
３０ 約６g
２０ 約０g
５０
約１ ０
９g
センサヘッド 有無検出など状況によっては、 らに小さな対象物にも対応できます。
さ
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
（コード含まず）
質量
別途お問い合わせ ださい。く
アンプユニット 約５g
４０
※ 使用可能範囲はDC ０ ３ Vです。
５ ２−０
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