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8
...
15
第2章 近 接センサ選定ノウハウとトラブル対策
位 置決め
< 代表アプリケーション>
ここで…位置決めの精度はカタログスペックの、
『 繰り返し精度 ( E S シリーズ ) 』 を参照してください。
繰り返し精度の定義
ON
ON
標
一定条件のもとで動作させた時の検出位置
準
検
の誤差を示します。
出
物
体
誤差
『繰り返し精度』の精度の出る検知方法
ワークが正面からセンサに ワークが横からセンサに
近づく場合 近づく場合
ワークの移動方向
標準検出物体 L/4
↓
標準検出物体
安定検出距離
←
安定検出距離の 1/2
ワークの移動方向
L
上記のような位置関係にて、まさに ON
上記のように安定検出距離内で、まさに
ON の調整をしてください。 の調整をしてください。
6
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
電線以上の高屈曲性を発揮 フッ素樹脂カバーで
耐屈曲 耐油/薬品 金具一体
繰り返しの曲げに強いR4タイプ あらゆる環境に対応
フラット金具
ケー ル耐屈曲デー
ブ タ フッ素樹脂耐薬データ(参考)
屈曲試験機による断線までの屈曲回数比較 薬品 チル ベン メ ル トル
チ
メ 硫酸
アセ エ 塩酸 (98%)
アル
チル
名ト
略図 ネジ
ン ケ ン ゼン コール エン
ト
材質
測定対象 芯線断線
mmメタルコード フッ素
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
φ1 131回 樹脂
円柱
3芯ケー ル
ブ 2200回 × × △ △ × △ ×
ABS
1kg ポ カー
リ
耐屈曲フ イ
ァバ 8万回以上 × × × × × △ ×
ボネート
〈測定条件〉
スリーブ
ローラ径 8mm
: (R4mm) 荷重 1kg
: ○良好 △条件により可 ×不可
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。 選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。 「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 0120 - 66 - 3000 エリア
回帰反射
赤 は透 過 型 赤 は透過型
狭視界/
ハイパワー
※1 ※1
検出距離(mm) 検出距離 (mm) ( )
種 類 種 類
最小 最小
光軸径 はAPC ON時 光軸径
( )はAPC ON時 価格(¥) 価格(¥)
型式 型式
ファイバ長(径) ファイバ長(径)
ケーブル ケーブル
形状 形状
検出物体 検出物体
(標準 (標準
検出 検出 光の出る
その他 その他
mm mm
MEGA MEGA
外形寸法図 外形寸法図
曲げ半径 曲げ半径
使用周囲温度 使用周囲温度
質量 質量
サイズ
サイズ ※2 ※2
検出物体) ( ) 検出物体) ( )
掲載ページ 掲載ページ
パワーモード パワーモー ド
方式 方式 方向
FINE FINE 限定反射
1m リ ッ
フ ーカ ト 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
φ1.5
(φ1.0) ULTRA :3 0( 6 0)
6030
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-59 78 0
,0
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-92 3,0
52 0
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(2 0
φ1.5 0 0 4 0)
10 トップ φ.
37 φ.
02
約g
3 P 5
3 耐屈曲
ULTRA : 4 0 3 0)
2( 3 22mm 約1
7g
3 0 0 0) TURBO :2 0(2 0
6 0 0 0) P 7
3
1 0(1 0
5 0 3 0) SUPER : 2 0 2 0)
0( 8 φ5
7( 0 HSP : 7 0 4 0)
5( 0
1mフ ーカ ト φ1.0)
リ ッ( TURBO : 2 0 1 0)
2( 7
φ5
透過型 R40
1 5 1 0)
2( 0
−0 7℃
4 ∼+ 0 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
HSP : 7( 3 )
0 5 FU-79 78 0
,0
R4 耐油/薬品
透過型 M3 ULTRA :2 0( 7 0)
2010
φ.
07 φ.0
00 5 −0 7℃
4 ∼+ 0
10 耐屈曲 約g
6 P 7
3 2 0(2 0
7 0 2 0) SUPER :1 0( 8 0) FU-96 3,0
52 0
10 8
サイド φ.
28
M3 φ .1
0
TURBO : 8 0 7 0)
8( 0 約1
7g P 8
3
4 0 3 0)
3( 5
1mフ ーカ ト
リッ HSP : 2 0 1 0)
4( 6
耐熱
ULTRA : 2 0 2 0)
5( 0 φ5
(φ1.0) 23mm
3 0 2 0)
2( 5 FU-57TE 1 , 0
08 0
SUPER : 1 0 1 0)
4( 1
6×10.5×2.5
TURBO : 1 0 8
0( 0) 約g
5 P 5
3
5( 0)
04
青 は反 射 型
HSP : 3( 2
0 0)
−0 7℃ 6
4 ∼+ 0 10.5
液面
※1
検出距離(mm) ( )
種 類
青 は反 射 型 はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) ケーブル 最小検出物体
mm
形状
光の出る
検出 その他
MEGA 外形寸法図
曲げ半径 ※2
( ) 液晶 半導体
・ 使用周囲温度 質量
サイズ 掲載ページ
方向 パワーモード
方式
※1
検出距離(mm) ( ) FINE
種 類 はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) ケーブル 最小検出物体
mm
形状 2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.3×2)
検出 その他
MEGA 外形寸法図
曲げ半径 ※2
( )
使用周囲温度 質量
サイズ ULTRA : 2 0 1 0)
2( 8
−0 7℃
4 ∼+ 0
掲載ページ
パワーモード
方式 FINE FU-91 2,0
89 0
2 0 1 0)
2( 8 φ.0
00 5
SUPER : 1 5 1 0)
3( 1
反射型 R40
トップ φ4.5 φ4.5
1mカ ト不可
ッ 金線 約2
3g
TURBO : 1 0 8 )
1( 5 P 7
3
7( 0)
56
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-49X 67 0
,0 HSP : 4( 3 )
5 5
φ1.5 20mm
φ1.5
約g
3
6( 5
0 0)
ULTRA : P 4
3
15 7( 0)
56 3( 2 )
2 5
SUPER : ※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 検出距離の最大を3600mmとしているのは、 イバ長が片側2mのためです。
ファ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
2( 2
5 0)
TURBO :
1mカ ト不可
ッ 2( 6
01 )
1( 1
3 0)
HSP :
−0 7℃
4 ∼+ 0 M3 FU-69X 67 0
,0
M3
約g
3 P 6
3
10
アプリケーション
R4 φ.0
00 5
反射型 金線
耐屈曲
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2)
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-48 70 0
,0
φ3
φ3
約g
7 P 4
3
ULTRA : 1 0 1 0)
3( 1
15 1 0 1 0)
6( 3 7( 5 )
0 5
SUPER :
5( 4
0 0)
TURBO :
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2) 3( 8
52 )
−0 7℃
4 ∼+ 0 2( 1 )
2 7
HSP : FU-68 70 0
,0
M4
M4
約g
8 P 6
3
15
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
ウエハ検出(ウエット) ウエハ検出(ウオッシュ)
24 25
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
電線以上の高屈曲性を発揮 フッ素樹脂カバーで
耐屈曲 耐油/薬品 金具一体
繰り返しの曲げに強いR4タイプ あらゆる環境に対応
フラット金具
ケー ル耐屈曲デー
ブ タ フッ素樹脂耐薬データ(参考)
屈曲試験機による断線までの屈曲回数比較 薬品 チル ベン メ ル トル
チ
メ 硫酸
アセ エ 塩酸 (98%)
アル
チル
名ト
略図 ネジ
ン ケ ン ゼン コール エン
ト
材質
測定対象 芯線断線
mmメタルコード フッ素
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
φ1 131回 樹脂
円柱
3芯ケー ル
ブ 2200回 × × △ △ × △ ×
ABS
1kg ポ カー
リ
耐屈曲フ イ
ァバ 8万回以上 × × × × × △ ×
ボネート
〈測定条件〉
スリーブ
ローラ径 8mm
: (R4mm) 荷重 1kg
: ○良好 △条件により可 ×不可
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。 選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。 「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 0120 - 66 - 3000 エリア
回帰反射
赤 は透 過 型 赤 は透過型
狭視界/
ハイパワー
※1 ※1
検出距離(mm) 検出距離 (mm) ( )
種 類 種 類
最小 最小
光軸径 はAPC ON時 光軸径
( )はAPC ON時 価格(¥) 価格(¥)
型式 型式
ファイバ長(径) ファイバ長(径)
ケーブル ケーブル
形状 形状
検出物体 検出物体
(標準 (標準
検出 検出 光の出る
その他 その他
mm mm
MEGA MEGA
外形寸法図 外形寸法図
曲げ半径 曲げ半径
使用周囲温度 使用周囲温度
質量 質量
サイズ
サイズ ※2 ※2
検出物体) ( ) 検出物体) ( )
掲載ページ 掲載ページ
パワーモード パワーモー ド
方式 方式 方向
FINE FINE 限定反射
1m リ ッ
フ ーカ ト 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
φ1.5
(φ1.0) ULTRA :3 0( 6 0)
6030
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-59 78 0
,0
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-92 3,0
52 0
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(2 0
φ1.5 0 0 4 0)
10 トップ φ.
37 φ.
02
約g
3 P 5
3 耐屈曲
ULTRA : 4 0 3 0)
2( 3 22mm 約1
7g
3 0 0 0) TURBO :2 0(2 0
6 0 0 0) P 7
3
1 0(1 0
5 0 3 0) SUPER : 2 0 2 0)
0( 8 φ5
7( 0 HSP : 7 0 4 0)
5( 0
1mフ ーカ ト φ1.0)
リ ッ( TURBO : 2 0 1 0)
2( 7
φ5
透過型 R40
1 5 1 0)
2( 0
−0 7℃
4 ∼+ 0 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
HSP : 7( 3 )
0 5 FU-79 78 0
,0
R4 耐油/薬品
透過型 M3 ULTRA :2 0( 7 0)
2010
φ.
07 φ.0
00 5 −0 7℃
4 ∼+ 0
10 耐屈曲 約g
6 P 7
3 2 0(2 0
7 0 2 0) SUPER :1 0( 8 0) FU-96 3,0
52 0
10 8
サイド φ.
28
M3 φ .1
0
TURBO : 8 0 7 0)
8( 0 約1
7g P 8
3
4 0 3 0)
3( 5
1mフ ーカ ト
リッ HSP : 2 0 1 0)
4( 6
耐熱
ULTRA : 2 0 2 0)
5( 0 φ5
(φ1.0) 23mm
3 0 2 0)
2( 5 FU-57TE 1 , 0
08 0
SUPER : 1 0 1 0)
4( 1
6×10.5×2.5
TURBO : 1 0 8
0( 0) 約g
5 P 5
3
5( 0)
04
青 は反 射 型
HSP : 3( 2
0 0)
−0 7℃ 6
4 ∼+ 0 10.5
液面
※1
検出距離(mm) ( )
種 類
青 は反 射 型 はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) ケーブル 最小検出物体
mm
形状
光の出る
検出 その他
MEGA 外形寸法図
曲げ半径 ※2
( ) 液晶 半導体
・ 使用周囲温度 質量
サイズ 掲載ページ
方向 パワーモード
方式
※1
検出距離(mm) ( ) FINE
種 類 はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) ケーブル 最小検出物体
mm
形状 2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.3×2)
検出 その他
MEGA 外形寸法図
曲げ半径 ※2
( )
使用周囲温度 質量
サイズ ULTRA : 2 0 1 0)
2( 8
−0 7℃
4 ∼+ 0
掲載ページ
パワーモード
方式 FINE FU-91 2,0
89 0
2 0 1 0)
2( 8 φ.0
00 5
SUPER : 1 5 1 0)
3( 1
反射型 R40
トップ φ4.5 φ4.5
1mカ ト不可
ッ 金線 約2
3g
TURBO : 1 0 8 )
1( 5 P 7
3
7( 0)
56
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-49X 67 0
,0 HSP : 4( 3 )
5 5
φ1.5 20mm
φ1.5
約g
3
6( 5
0 0)
ULTRA : P 4
3
15 7( 0)
56 3( 2 )
2 5
SUPER : ※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 検出距離の最大を3600mmとしているのは、 イバ長が片側2mのためです。
ファ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
2( 2
5 0)
TURBO :
1mカ ト不可
ッ 2( 6
01 )
1( 1
3 0)
HSP :
−0 7℃
4 ∼+ 0 M3 FU-69X 67 0
,0
M3
約g
3 P 6
3
10
アプリケーション
R4 φ.0
00 5
反射型 金線
耐屈曲
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2)
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-48 70 0
,0
φ3
φ3
約g
7 P 4
3
ULTRA : 1 0 1 0)
3( 1
15 1 0 1 0)
6( 3 7( 5 )
0 5
SUPER :
5( 4
0 0)
TURBO :
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2) 3( 8
52 )
−0 7℃
4 ∼+ 0 2( 1 )
2 7
HSP : FU-68 70 0
,0
M4
M4
約g
8 P 6
3
15
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
ウエハ検出(ウエット) ウエハ検出(ウオッシュ)
24 25
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
電線以上の高屈曲性を発揮 フッ素樹脂カバーで
耐屈曲 耐油/薬品 金具一体
繰り返しの曲げに強いR4タイプ あらゆる環境に対応
フラット金具
ケー ル耐屈曲デー
ブ タ フッ素樹脂耐薬データ(参考)
屈曲試験機による断線までの屈曲回数比較 薬品 チル ベン メ ル トル
チ
メ 硫酸
アセ エ 塩酸 (98%)
アル
チル
名ト
略図 ネジ
ン ケ ン ゼン コール エン
ト
材質
測定対象 芯線断線
mmメタルコード フッ素
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
φ1 131回 樹脂
円柱
3芯ケー ル
ブ 2200回 × × △ △ × △ ×
ABS
1kg ポ カー
リ
耐屈曲フ イ
ァバ 8万回以上 × × × × × △ ×
ボネート
〈測定条件〉
スリーブ
ローラ径 8mm
: (R4mm) 荷重 1kg
: ○良好 △条件により可 ×不可
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。 選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。 「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 0120 - 66 - 3000 エリア
回帰反射
赤 は透 過 型 赤 は透過型
狭視界/
光軸径 最小 はAPC ON時 光軸径 ハイパワー
※1 ※1
検出距離 (mm) ( ) 検出距離 (mm) ( )
種 類 種 類 最小
mm mm
ケーブル (径) 形 状 ケ ーブル
はAPC ON時 価格(¥) 価格(¥)
型式 型式
ファイバ長(径) 形 状 ファイバ長
( ) 検出物体 ( ) 検出物体
mm mm
曲げ半径 光の出る サイズ 使用周囲温度 ( ) 曲げ半径
検出 検出
その他 その他
サイズ
mm mm
mm MEGA
mm MEGA
外形寸法図 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) (標準
mm
(標準
mm
質量 質量
※2 ※2
検出物体)( ) 検出物体)( )
() ()
掲載ページ 掲載ページ
パワーモー ド パワーモー ド
方式 方式 方向 ( )
() FINE FINE 限定反射
1m リ ッ
フ ーカ ト 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
φ1.5
(φ1.0) ULTRA :3 0( 6 0)
6030
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-59 78 0
,0
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-92 3,0
52 0
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(2 0
φ1.5 0 0 4 0)
10 トップ φ.
37 φ.
02
約g
3 P 5
3 耐屈曲
22
ULTRA : 4 0 3 0)
2( 3 約1
7g
3 0 0 0) TURBO :2 0(2 0
6 0 0 0) P 7
3
1 0(1 0
5 0 3 0) SUPER : 2 0 2 0)
0( 8 φ5
7( 0 HSP : 7 0 4 0)
5( 0
1mフ ーカ ト φ1.0)
リ ッ( TURBO : 2 0 1 0)
2( 7
φ5
透過型 R40
1 5 1 0)
2( 0
−0 7℃
4 ∼+ 0 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
HSP : 7( 3 )
0 5 FU-79 78 0
,0
R4 耐油/薬品
透過型 M3 ULTRA :2 0( 7 0)
2010
φ.
07 φ.0
00 5 −0 7℃
4 ∼+ 0
10 耐屈曲 約g
6 P 7
3 2 0(2 0
7 0 2 0) SUPER :1 0( 8 0) FU-96 3,0
52 0
10 8
サイド φ.
28
M3 φ .1
0
TURBO : 8 0 7 0)
8( 0 約1
7g P 8
3
4 0 3 0)
3( 5
1mフ ーカ ト
リッ HSP : 2 0 1 0)
4( 6
耐熱
ULTRA : 2 0 2 0)
5( 0 φ5
(φ1.0) 23
3 0 2 0)
2( 5 FU-57TE 1 , 0
08 0
SUPER : 1 0 1 0)
4( 1
6×10.5×2.5
TURBO : 1 0 8
0( 0) 約g
5 P 5
3
5( 0)
04
青 は反 射 型
HSP : 3( 2
0 0)
−0 7℃ 6
4 ∼+ 0 10.5
液面
※1
検出距離(mm)
種 類
(径) 形 状 ケーブル
青 は反 射 型 ( )はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長 最小検出物体
mm mm
曲げ半径
光の出る サイズ
検出 その他
mm MEGA 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) ※2
( ) 液晶 半導体
・ mm 質量 掲載ページ
方向 ( ) パワーモード
方式
※1
検出距離(mm) ( ) FINE
種 類 ケ ーブル はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) 形 状 最小検出物体
mm mm
曲げ半径 2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.3×2)
サイズ
検出 その他
MEGA
mm
外形寸法図
使用周囲温度 ( )
mm
※2
( ) 質量 ULTRA : 2 0 1 0)
2( 8
−0 7℃
4 ∼+ 0
() 掲載ページ
() パワーモード
方式 FINE FU-91 2,0
89 0
2 0 1 0)
2( 8 φ.0
00 5
SUPER : 1 5 1 0)
3( 1
反射型 R40
トップ φ4.5 φ4.5
1mカ ト不可
ッ 金線 約2
3g
TURBO : 1 0 8 )
1( 5 P 7
3
7( 0)
56
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-49X 67 0
,0 HSP : 4( 3 )
5 5
φ1.5 20
φ1.5
約g
3
6( 5
0 0)
ULTRA : P 4
3
15 7( 0)
56 3( 2 )
2 5
SUPER : ※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 検出距離の最大を3600mmとしているのは、 イバ長が片側2mのためです。
ファ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
2( 2
5 0)
TURBO :
1mカ ト不可
ッ 2( 6
01 )
1( 1
3 0)
HSP :
−0 7℃
4 ∼+ 0 M3 FU-69X 67 0
,0
M3
約g
3 P 6
3
10
アプリケーション
R4 φ.0
00 5
反射型 金線
耐屈曲
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2)
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-48 70 0
,0
φ3
φ3
約g
7 P 4
3
ULTRA : 1 0 1 0)
3( 1
15 1 0 1 0)
6( 3 7( 5 )
0 5
SUPER :
5( 4
0 0)
TURBO :
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2) 3( 8
52 )
−0 7℃
4 ∼+ 0 2( 1 )
2 7
HSP : FU-68 70 0
,0
M4
M4
約g
8 P 6
3
15
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
ウエハ検出 ○ ウエハ検出 ○
2
1
24 25
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
電線以上の高屈曲性を発揮 フッ素樹脂カバーで
耐屈曲 耐油/薬品 金具一体
繰り返しの曲げに強いR4タイプ あらゆる環境に対応
フラット金具
ケー ル耐屈曲デー
ブ タ フッ素樹脂耐薬データ(参考)
屈曲試験機による断線までの屈曲回数比較 薬品 チル ベン メ ル トル
チ
メ 硫酸
アセ エ 塩酸 (98%)
アル
チル
名ト
略図 ネジ
ン ケ ン ゼン コール エン
ト
材質
測定対象 芯線断線
mmメタルコード フッ素
○ ○ ○ ○ ○ ○ ○
φ1 131回 樹脂
円柱
3芯ケー ル
ブ 2200回 × × △ △ × △ ×
ABS
1kg ポ カー
リ
耐屈曲フ イ
ァバ 8万回以上 × × × × × △ ×
ボネート
〈測定条件〉
スリーブ
ローラ径 8mm
: (R4mm) 荷重 1kg
: ○良好 △条件により可 ×不可
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。 選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。 「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 0120 - 66 - 3000 エリア
回帰反射
赤 は透 過 型 赤 は透過型
狭視界/
光軸径 最小 はAPC ON時 光軸径 ハイパワー
※1 ※1
検出距離 (mm) ( ) 検出距離 (mm) ( )
種 類 種 類 最小
mm mm
ケーブル (径) 形 状 ケ ーブル
はAPC ON時 価格(¥) 価格(¥)
型式 型式
ファイバ長(径) 形 状 ファイバ長
( ) 検出物体 ( ) 検出物体
mm mm
曲げ半径 光の出る サイズ 使用周囲温度 ( ) 曲げ半径
検出 検出
その他 その他
サイズ
mm mm
mm MEGA
mm MEGA
外形寸法図 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) (標準
mm
(標準
mm
質量 質量
※2 ※2
検出物体)( ) 検出物体)( )
() ()
掲載ページ 掲載ページ
パワーモー ド パワーモー ド
方式 方式 方向 ( )
() FINE FINE 限定反射
1m リ ッ
フ ーカ ト 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
φ1.5
(φ1.0) ULTRA :3 0( 6 0)
6030
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-59 78 0
,0
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-92 3,0
52 0
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(2 0
φ1.5 0 0 4 0)
10 トップ φ.
37 φ.
02
約g
3 P 5
3 耐屈曲
22
ULTRA : 4 0 3 0)
2( 3 約1
7g
3 0 0 0) TURBO :2 0(2 0
6 0 0 0) P 7
3
1 0(1 0
5 0 3 0) SUPER : 2 0 2 0)
0( 8 φ5
7( 0 HSP : 7 0 4 0)
5( 0
1mフ ーカ ト φ1.0)
リ ッ( TURBO : 2 0 1 0)
2( 7
φ5
透過型 R40
1 5 1 0)
2( 0
−0 7℃
4 ∼+ 0 2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
HSP : 7( 3 )
0 5 FU-79 78 0
,0
R4 耐油/薬品
透過型 M3 ULTRA :2 0( 7 0)
2010
φ.
07 φ.0
00 5 −0 7℃
4 ∼+ 0
10 耐屈曲 約g
6 P 7
3 2 0(2 0
7 0 2 0) SUPER :1 0( 8 0) FU-96 3,0
52 0
10 8
サイド φ.
28
M3 φ .1
0
TURBO : 8 0 7 0)
8( 0 約1
7g P 8
3
4 0 3 0)
3( 5
1mフ ーカ ト
リッ HSP : 2 0 1 0)
4( 6
耐熱
ULTRA : 2 0 2 0)
5( 0 φ5
(φ1.0) 23
3 0 2 0)
2( 5 FU-57TE 1 , 0
08 0
SUPER : 1 0 1 0)
4( 1
6×10.5×2.5
TURBO : 1 0 8
0( 0) 約g
5 P 5
3
5( 0)
04
青 は反 射 型
HSP : 3( 2
0 0)
−0 7℃ 6
4 ∼+ 0 10.5
液面
※1
検出距離(mm)
種 類
(径) 形 状 ケーブル
青 は反 射 型 ( )はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長 最小検出物体
mm mm
曲げ半径
光の出る サイズ
検出 その他
mm MEGA 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) ※2
( ) 液晶 半導体
・ mm 質量 掲載ページ
方向 ( ) パワーモード
方式
※1
検出距離(mm) ( ) FINE
種 類 ケ ーブル はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長(径) 形 状 最小検出物体
mm mm
曲げ半径 2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.3×2)
サイズ
検出 その他
MEGA
mm
外形寸法図
使用周囲温度 ( )
mm
※2
( ) 質量 ULTRA : 2 0 1 0)
2( 8
−0 7℃
4 ∼+ 0
() 掲載ページ
() パワーモード
方式 FINE FU-91 2,0
89 0
2 0 1 0)
2( 8 φ.0
00 5
SUPER : 1 5 1 0)
3( 1
反射型 R40
トップ φ4.5 φ4.5
1mカ ト不可
ッ 金線 約2
3g
TURBO : 1 0 8 )
1( 5 P 7
3
7( 0)
56
−0 7℃
4 ∼+ 0
FU-49X 67 0
,0 HSP : 4( 3 )
5 5
φ1.5 20
φ1.5
約g
3
6( 5
0 0)
ULTRA : P 4
3
15 7( 0)
56 3( 2 )
2 5
SUPER : ※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 検出距離の最大を3600mmとしているのは、 イバ長が片側2mのためです。
ファ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
2( 2
5 0)
TURBO :
1mカ ト不可
ッ 2( 6
01 )
1( 1
3 0)
HSP :
−0 7℃
4 ∼+ 0 M3 FU-69X 67 0
,0
M3
約g
3 P 6
3
10
アプリケーション
R4 φ.0
00 5
反射型 金線
耐屈曲
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2)
−0 7℃
4 ∼+ 0 FU-48 70 0
,0
φ3
φ3
約g
7 P 4
3
ULTRA : 1 0 1 0)
3( 1
15 1 0 1 0)
6( 3 7( 5 )
0 5
SUPER :
5( 4
0 0)
TURBO :
2m リ ッ(
フ ーカ ト φ1.0×2) 3( 8
52 )
−0 7℃
4 ∼+ 0 2( 1 )
2 7
HSP : FU-68 70 0
,0
M4
M4
約g
8 P 6
3
15
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
ウエハ検出 ○ ウエハ検出 ○
2
1
24 25
近接センサの分類
■ / Type of proximity sensors /
アンプ内蔵型 アンプ分離・中継型
・電源を加えるだけで使用できます。
・センサヘッド部を小型にできます。
特長
・アンプ内蔵型に比べ検出距離が長くとれます。
センサヘッド
発振回路 検出回路 出力回路
発振回路 検出回路 出力回路
基本構成
検出コイル 同軸ケーブル
検出コイル
Self-contalned proximity sensor Separate/in-cable amplifier
・Operative only by adding DC power supply
・Compact sensor head
Features
・Long-detecting distance
Sensor head
Amplitude
Amplitude Amplifier Output
Oscillation Output
Standard detecting
oscillation
detecting circuit
circuit circuit
configuration circuit
circuit
circuit
Sensing coil Coaxial cable
Sensing coil
・
・
・
用語説明 / Glossary /
■
検出距離 The distance from the
標準検出物体を前方から近
detecting surface of a
づけて、はじめて動作する位
Detecting 検出面
Detecting surface
distance sensor head to the point
置から検出面までの距離を示
where a standard target
します。
ON
approaching the sensor
標準検出物体 (鉄)
head is detected.
Standard target (Iron)
Maximum operating
最大動作距離〈ESシ ーズ〉
リ :
distance (ES Series):
精度を無視して得られる最大
検出距離
The maximum obtainable
の動作距離。
Detecting distance
operating distance without
concerning accuracy.
復帰距離
応差距離 The difference between
Reset distance 検出面から動作点までの距
the reset distance and the
Hysteresis 離と、復帰点までの距離の差
detecting distance using a
を絶対値で表わします。
standard target. The reset
標準検出物体
Standard target distance refers to the
distance from the
動作点 復帰点
検出距離 detecting surface of a
ON OFF
Detecting distance
sensor head to the point at
which the sensor resets for
応差距離
subsequent detection.
Hysteresis
5
取り付け環境について
■ / Installation environment /
周囲照度と外乱光の影響について Ambient light and effect of external light
パルス点灯方式の採用によ り外乱光には非 KEYENCE photoelectric sensors employ
常に強く なっていますが、受光器の光軸方向 the pulse light emission method which
に強力な光や、 高周波点灯方式の蛍光灯の ensures stable operation when external
光が入っ た場合、誤動作を起す恐れがあ ま
り す。 light is strong. However, a strong light
そのよ な場合には取り付け角度の変更、
う し beam emitted in the direction of the
ゃ光板をつけるなど、 直接光が入らないよ うに optical axis of the receiver will cause the
して ださい。
く sensor to malfunction. To correct this,
change the angle of the sensor head, or
provide a light-shield to prevent an
external light beam from being emitted
directly to the receiver.
遮光板をつける
Light-shield ① 角度を変更
Sensor head angle
①
外乱光
External light beam
使用上の注意
■ / Hints on correct use /
種類 対策
取り付け面 背景物体の影響 / External disturbance /
・ / Type / / Solution /
検出物体 検出物体
透過型 Target
Target
Thrubeam
しゃ光板
Light-shield
図のような面 The receiver Position a
しゃ光板を設
で反射した光 may detect a light-shield so
けて光の回り
がまわりこん light beam that the
込みを防いで
で入光状態と reflected by receiver will
ください。
なることがあ the mounting not detect a
ります。 surface. light beam
travelling
below the
target.
① 取り付け高さ変更
Readjust the mounting
height
①
Raise the
取り付け高さ
mounting
を変更してく
position of the
ださい。
sonsor head.
14
15
日本語 英 語 中国語
ケミカルミーリング Chemical milling
下落試験 Dropping test
け︱ ゲル・タイム Gel time
け 減圧 Decompression
減圧弁 Reducing valve
限界ゲージ Limit gauge
限界絞り比 Limiting drawing
限定反射型 Definite-reflective
原価管理 Cost management
原価計算 Cost accounting
原価構成表 Cost constitution table
原材料 Raw material
検査 Check
検査員 Inspector
検査基準 Inspection standard
研削 Grinding
研削液 Grinding lubricant/Grinding fluid
研削盤 Grinding machine
検査定盤 Inspection platform
検査マニュアル Inspection manual
原産地証明 Ceritificate of origin
検収 Acceptance test
検出距離 Detecting distance
検出物体 Object
検出領域 Detection zone
原図 Original diagram
減衰 Attenuation
原寸図 Full size drawing
元素記号 Atomic symbol
減速比 Speed-reduction rate
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
金具とセンサを合体させることで 青 は反 射 型
金具一体 金 具一体
面倒な組み立て作業が ※1
検出距離(mm) ( )
種 類
(径) 形 状 ケーブル はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長 最小検出物体
mm mm
曲げ半径
検出 光の出る 光軸 その他
MEGA
mm
外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) ※2
( )
不要になりました 質量 フラット金具
掲載ページ
パワーモード
方式 方向 高さ FINE
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA : 4 0 3 0)
0( 2
ネジ
50 0
0(4 0) FU-L41Z 88 0
,0
R2
10 SUPER : 2 0 1 0)
2( 8
13
反射型 φ.0
00 5
トップ 2-
φ3.4 折れない
mm TURBO : 1 0 1 0)
7( 3 約25g P 8
3
8( 5
56 )
HSP : 5( 3 )
0 6
14 17
円柱
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
従来は部品が 金具と合体して ※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
多くて大変 手間いらず
スリーブ
さらに小型タイプは P7に掲載
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 エリア
お 客 様 の声
回帰反射
赤 は透 過 型
狭視界/
数 が多いと取り付けがたいへん レンズ内蔵タイプだとレンズが
はAPC ON時 光軸径
※1
検出距離 (mm) ( )
種 類 最小
(径) 形 状 ケーブル mm ハイパワー
価格(¥)
型式
ファイバ長 ( ) 検出物体
mm
曲げ半径
だったんだよ。これだと楽になるね。 外れる心配もないね。
検出 光の出る 光軸 その他
mm
mm MEGA 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) (標準 質量
※2
検出物体) ( ) 掲載ページ
パワーモー ド
方式 方向 高さ FINE
限定反射
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
ナットを落として無くすこともなくなるね。 並べてみるとずいぶんと
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :3 0( 6 0)
6030
結構イライラするから。
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(3 0
小さくなったんだね。
FU-L50Z 1 , 0
10 0
13 6 0 6 0)
φ.
35
耐屈曲
9 0 5 0) TURBO :3 0(3 0
6 0 0 0) 約30g P 8
3
1 0(1 0
コンパクトに設置できて助かるよ。
20
14 HSP :1 0( 9 0)
40 0
光軸の高さが分かりやすいから
2- 3.4
φ
10
どうして今まで無かったんだい?
設計しやすくなるね。
mm 耐油/薬品
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0
FU-L51Z
12.2
約30g
耐熱
12.2 17
2-
φ3.4
トップ
!
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
あっ 液面
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :1 7( 9 0)
10 9
17 R2 1 3(1 7
5 0 1 0) SUPER : 6 0 5 0) FU-L52Z 88 0
,0
15 8( 4
透過型 φ.0
00 5
折れない
mm TURBO : 5 0 4 0)
4( 2 約30g P 8
3
2 0 2 0)
7( 1
12.2 17 HSP : 10 15
8( 2 )
液晶 半導体
・ 従来 従来 従来 FU-L
2-
φ3.4
φ.3
11
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0
22
FU-L53Z
20
mm 約30g
金 具の設計、金具とセンサの組み立て、
12.2 17
2-
φ3.4
ゆるみの心配など全て不要になります。
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
また、 一体型なので
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :1 0( 6 0)
10 4
1 0(1 0
3 0 0 0) SUPER : 6 0 4 0) FU-L54Z 98 0
,0
10 2( 3 省スペース化にもなります。
サイド
mm 2-
φ3.4 TURBO : 5 0 3 0)
0( 5 約30g P 8
3
2 0 2 0)
5( 0
12.8 HSP : 10 9
6( 0)
17 12.8
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
さらに小型タイプは P6に掲載
4 5
1 2 3
2 大枠の 具体的な
具体的なセンサを選ぶ
STEP アンプを
タイプを センサを 選ぶ
選ぶ 選ぶ
金具とセンサを合体させることで 青 は反 射 型
金具一体 金 具一体
面倒な組み立て作業が ※1
検出距離(mm) ( )
種 類
(径) 形 状 ケーブル はAPC ON時 価格(¥)
型式
ファイバ長 最小検出物体
mm mm
曲げ半径
検出 光の出る 光軸 その他
MEGA
mm
外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) ※2
( )
不要になりました 質量 フラット金具
掲載ページ
パワーモード
方式 方向 高さ FINE
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA : 4 0 3 0)
0( 2
ネジ
50 0
0(4 0) FU-L41Z 88 0
,0
R2
10 SUPER : 2 0 1 0)
2( 8
13
反射型 φ.0
00 5
トップ 2-
φ3.4 折れない
mm TURBO : 1 0 1 0)
7( 3 約25g P 8
3
8( 5
56 )
HSP : 5( 3 )
0 6
14 17
円柱
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ 反射型の検出距離は白紙(標準検出物体)に対する値です。
従来は部品が 金具と合体して ※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
多くて大変 手間いらず
スリーブ
さらに小型タイプは P7に掲載
小スポット
選 定のお手伝いをさせてください。
「FUについて」 とお伝えください。
0120 - 66 - 3000 エリア
お 客 様 の声
回帰反射
赤 は透 過 型
狭視界/
数 が多いと取り付けがたいへん レンズ内蔵タイプだとレンズが
はAPC ON時 光軸径
※1
検出距離 (mm) ( )
種 類 最小
(径) 形 状 ケーブル mm ハイパワー
価格(¥)
型式
ファイバ長 ( ) 検出物体
mm
曲げ半径
だったんだよ。これだと楽になるね。 外れる心配もないね。
検出 光の出る 光軸 その他
mm
mm MEGA 外形寸法図
使用周囲温度 ( ) ( ) (標準 質量
※2
検出物体) ( ) 掲載ページ
パワーモー ド
方式 方向 高さ FINE
限定反射
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
ナットを落として無くすこともなくなるね。 並べてみるとずいぶんと
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :3 0( 6 0)
6030
結構イライラするから。
3 0(3 0
6 0 6 0) SUPER :3 0(3 0
小さくなったんだね。
FU-L50Z 1 , 0
10 0
13 6 0 6 0)
φ.
35
耐屈曲
9 0 5 0) TURBO :3 0(3 0
6 0 0 0) 約30g P 8
3
1 0(1 0
コンパクトに設置できて助かるよ。
20
14 HSP :1 0( 9 0)
40 0
光軸の高さが分かりやすいから
2- 3.4
φ
10
どうして今まで無かったんだい?
設計しやすくなるね。
mm 耐油/薬品
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0
FU-L51Z
12.2
約30g
耐熱
12.2 17
2-
φ3.4
トップ
!
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
あっ 液面
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :1 7( 9 0)
10 9
17 R2 1 3(1 7
5 0 1 0) SUPER : 6 0 5 0) FU-L52Z 88 0
,0
15 8( 4
透過型 φ.0
00 5
折れない
mm TURBO : 5 0 4 0)
4( 2 約30g P 8
3
2 0 2 0)
7( 1
12.2 17 HSP : 10 15
8( 2 )
液晶 半導体
・ 従来 従来 従来 FU-L
2-
φ3.4
φ.3
11
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
−0 5℃
4 ∼+ 0
22
FU-L53Z
20
mm 約30g
金 具の設計、金具とセンサの組み立て、
12.2 17
2-
φ3.4
ゆるみの心配など全て不要になります。
2mフ ーカ ト φ2.2)
リ ッ(
また、 一体型なので
−0 5℃
4 ∼+ 0 ULTRA :1 0( 6 0)
10 4
1 0(1 0
3 0 0 0) SUPER : 6 0 4 0) FU-L54Z 98 0
,0
10 2( 3 省スペース化にもなります。
サイド
mm 2-
φ3.4 TURBO : 5 0 3 0)
0( 5 約30g P 8
3
2 0 2 0)
5( 0
12.8 HSP : 10 9
6( 0)
17 12.8
※1 FS-V30シ ーズ使用時。
リ
※2 最小検出物体は検出距離と感度を最適状態に設定した きの値です。
と
さらに小型タイプは P6に掲載
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6
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8
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