挟み込み測定
各センサヘッドごとにスパン校正する方法
①測定対象物をセンサヘッド間に挿入します。
②スケーリング設定の『測定データから設定』をクリ します。
ック
③
注意：
ヘッ Ａ
ド とヘッ Ｂの
ド 『セッ ボタンは
ト』
時間を空けずに続けて押してく ださい。
④
⑤ ヘッ Ａ
ド
A
B
ヘッドB
注意：
ヘッ Ａ
ド とヘッ Ｂの
ド 『セッ ボタンは
ト』
時間を空けずに続けて押してく ださい。
⑥
⑦
⑧
挟み込み測定
変位測定器の挟み込み厚み測定
センサヘッ ２ヘッ
ドを ド接続し、挟み込みにて
厚み測定する際の設定方法は以下のよ になり
う ます。
挟み込み測定はインラインで測定対象物の上下振れ
の影響を排除することが可能です。
シコ
リ ンウエハー
準備
1 センサヘッド取り付け治具
基準距離
挟み込み測定するために、センサヘッド取り付け治具を用意します。２つのセンサヘッド間の
設置距離が測定対象物を挿入した状態で、センサの基準距離になるような取り付け治具に
します。 取り付け治具は装置の取付箇所に合わせて作成
尚、 基準距離
ください。
コの字型の一体治具の方が取付部の振動
ワンポイント
アドバイス の影響がキャンセルできます。
2 光軸を調整します。
２台のセンサヘッドの光軸が一直線になるように調整します。対象物を上下移動させても上下
のスポット位置がズレないようにしてください。
光軸
仮の測定対象物と して、薄い白色樹脂板か紙を測定します。 これらの対象物を
ワンポイント
アドバイス 測定するとレーザスポットが透けて見えます。表裏のスポットが対象物を上下移
動させてもズレないようにセンサヘッドの取り付けを行ってください。
コントローラの設定
付属ソフ Ｌ − ａ ｉ ａ ｏ（Ｌ − １Ｗ）
ト Ｋ Ｎ ｖｇ ｔ ｒ Ｋ Ｈ を使用して、
コト ン ローラの設定を行います。
1 設定の初期化
『初期化』をクリ します。
ック
① 初期化を実行すると、付属ソフトの設定内容が初期値になります。
『コントローラへ設定を送信』をクリ します。
ック
②
挟み込み測定
2 演算方法及びオフセットの設定
①Ｏ Ｔ の演算方法を
Ｕ１ 『ヘッ Ａ＋ヘッ
ド ドＢ』に変更します。
②Ｏ Ｔ のオフセッ
Ｕ１ ト値にマスタワークの厚みを入力します。
例えば、 マスタワークの厚みが ０
１．ｍｍの場合、
オフセッ 『１． ０ ｍｍ』
トに ０ ０
０ と入力します。
③
3 マスタワークによるオートオフセット設定
①マスタワークを測定します。
『測定値表示』をクリ します。
ック
② マスターワーク
（例えば、厚み1.0mm）
③
④
備 考
①Ｏ Ｔ に挟み込み測定の結果を表示させる場合は、
Ｕ２ 上記の Ｕ １ を全て Ｕ ２』
『Ｏ Ｔ 』 『Ｏ Ｔ にして設定してください。
②挟み込み測定は測定対象物の上下振れの影響を排除することができますが、
そのためには２つのセンサヘッドの光軸調整（前ページ）が重要です。
③
［ レーザ 変 位 測 定 のシステム 構 成 ］
レー ザ 測 定 器 演 算・制 御
■ 反射タイプ 共焦点方式
■ 反射タイプ 2次元変位センサ
■ 波形処理タイプ
RJ
LT-9500シ ーズ
リ LJ-Gシ ーズ
リ
■ 透過タイプ
■ 反射タイプ 三角測距方式
■ 数値処理タイプ
LKシ ーズ
リ
LK-Gシ ーズ
リ
RD
LBシ ーズ
リ LS-5000シ ーズ
リ
LS-7000シ ーズ
リ
（新原理LED方式）
記 録・観 測
■ モバイルタイプ
■ 小型・絶縁8ch高速マルチタイプ
■ マルチ入力タイプ
レー ザ 測 定 器
GR-7000 NR-500/600 NR-1000/2000
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0 6 - 6379 - 1130
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APSULT事業部
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仙 台 022 - 224 - 0911
浦 和 048 - 832 - 1711 八王子 042 - 648 - 1101 松 本 0263 - 36 - 3911 一 宮 0586 - 47 - 7511 大阪北 06 - 6338 - 1471 広 島 082 - 261 - 0911
山 形 023 - 626- 7311
水 戸 029 - 302 - 0811 川 崎 044 - 220 - 3011 静 岡 054 - 203 - 7100 津 059 - 224 - 0911 大阪中央 06 - 6943 - 6111 北九州 093 - 511 - 3911
郡 山 024 - 933 - 0911
柏 04 - 7165 - 7011 横浜中央 045 - 263 - 1311 浜 松 053 - 454 - 0911 富 山 076 - 444 - 1433 堺 072 - 224 - 4911 福 岡 092 - 452 - 8411
宇都宮 028 - 627 - 1911
幕 張 043 - 296 - 7511 藤 沢 0466 - 29 - 0711 豊 田 0565 - 25 - 3211 金 沢 076 - 262 - 0911 神 戸 078 - 322 - 0911 熊 本 096 - 278 - 8311
長 岡 0258 - 38 - 5311
神 田 03 - 5825 - 6211
高 崎 027 - 328 - 1911
海 外 事 業 部 〒533-8555 大 阪市東淀川区東中島1- 3 -14 Tel 0 6 - 6379 - 2211 Fax 0 6 - 6379 - 2131
AP8-0128
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
K988T-0019-2
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C
用途 別
レ ーザ変 位 測 定 ガ イド
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測定のポイ ト
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厚み測定
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2
寸法測定器を
活用するために
2-1 センサヘッドの固定方法
･･････････2-2
2-2 校正方法
････････････････････････2-6
2-3 測定精度を得るためのポイント
････2-7
2-4 大径ワーク測定テクニック
････････2-8
2-5 細径ワーク測定テクニック
････････2-9
2-6 投受光間長距離測定テクニック
･･ 2-10
2-7 隙間測定テクニック
････････････ 2-11
2-8 光軸曲げ測定テクニック
････････ 2-12
2-9 悪環境対策
････････････････････ 2-13
2-10 周辺ツール
････････････････････ 2-14
2-11 ISO校正
･･････････････････････ 2-15
2-1
11
Ｋ-Ｇシリーズ サポー シー Vol． 2 半透明体測定
Ｌ トト
コントローラの設定
付属ソフ Ｌ − ａ ｉ ａ ｏ（Ｌ − １Ｗ）
ト Ｋ Ｎ ｖｇ ｔ ｒ Ｋ Ｈ を使用して、
コト ン ローラの設定を行います。
1 設定の初期化
上記と同様の手順にて、設定の初期化を行います。
2 半透明体モードの設定
半透明体を測定しているヘッ （
ド 『ヘッ Ａ』 を選択します。
ド）
測定モー 『半透明体』
ドを にします。
『コントローラへ設定を送信』をクリ します。
ック
3 半透明体の測定
『測定値表示』をクリ します。
ック
『測定値取得開始』をクリックすると、測定値が表示します。
翻訳キーワード集
