FIBERSCOPE
モニタ
USB
USB（2.0）
LAN（100BASE）
RGB
※1 VHX専用ライトガイド（OP-51480）が必要です。
※2 VHX専用ライトガイドアタッチメント（OP-51482）が必要です。
※3 顕微鏡に適合するCマウントアダプタが必要です。
※4 同軸照明の場合は、OP-72407とOP-72406が必要です。
※5 VH-Z50L（W）/ VH-Z100R（W）/ VH-Z250R（W）/ VH-Z500R（W）/
VH-Z450のアタッチメントはOP-51647となります。
※6 OP-32348はVH-Z25専用アダプタです。
※7 DOUBLE‘R対応レンズVH-Z00W/Z20W/Z100W/Z100UW/Z250W/
Z500W/Z50Wには、レンズ・倍率自動認識ユニットが装着されます。
パソコン パソコンパソコン
VHX-1000
カメラレンズ（Cマウント）
※3
※2
顕微鏡
VH-F61
VH-F111
パソコン
USBメモリ等
ハードディスク
大画面モニタ。多人数で同時に
見るには大画面モニタを接続。
倍率がアップしてさらにシビア
なチェックが行なえます。
デジタルカラープリンタでハード
コピー。写真の代わりに観察
データ、資料として幅広く活用
できます。
カメラ部
VHX-1020
VHX-1100
バヨネット式
標準
アタッチメント※5
OP-51478
バヨネット式
Cマウントアタッチメント
OP-51479
VH-F
デジタルカラープリンタ
VH-H1G1
（粒子解析ソフト）
解析ソフト
（3D・HDR表示ソフト）
VHX-H3M
（3D形状測定ソフト）
VHX-H1M1
（XY測定ソフト）
OP-84263
（DOUBLE‘Rユニット）
VHX-H2M
（3D形状測定ソフト）
3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
フットスイッチ
ファイバスコープ
CD-R/RW
■オプション
VHX-500F
耐振・高倍率観察システム
VH-S5
XY測定システム
VH-M100
透過照明ユニット
OP-84484
表示ユニット
OP-84483
フリーアングル観察システム
VH-S30
フリーアングル観察システム（Z軸自動）
VHX-S50
回転スタンド OP-25539
X Yステージ OP-22124
33
FIBERSCOPE
モニタ
USB
USB（2.0）
LAN（100BASE）
RGB
※1 VHX専用ライトガイド（OP-51480）が必要です。
※2 VHX専用ライトガイドアタッチメント（OP-51482）が必要です。
※3 顕微鏡に適合するCマウントアダプタが必要です。
※4 同軸照明の場合は、OP-72407とOP-72406が必要です。
※5 VH-Z50L（W）/ VH-Z100R（W）/ VH-Z250R（W）/ VH-Z500R（W）/
VH-Z450のアタッチメントはOP-51647となります。
※6 OP-32348はVH-Z25専用アダプタです。
※7 DOUBLE‘R対応レンズVH-Z00W/Z20W/Z100W/Z100UW/Z250W/
Z500W/Z50Wには、レンズ・倍率自動認識ユニットが装着されます。
パソコン パソコンパソコン
VHX-1000
カメラレンズ（Cマウント）
※3
※2
顕微鏡
VH-F61
VH-F111
パソコン
USBメモリ等
ハードディスク
大画面モニタ。多人数で同時に
見るには大画面モニタを接続。
倍率がアップしてさらにシビア
なチェックが行なえます。
デジタルカラープリンタでハード
コピー。写真の代わりに観察
データ、資料として幅広く活用
できます。
カメラ部
VHX-1020
VHX-1100
バヨネット式
標準
アタッチメント※5
OP-51478
バヨネット式
Cマウントアタッチメント
OP-51479
VH-F
デジタルカラープリンタ
VH-H1G1
（粒子解析ソフト）
解析ソフト
（3D・HDR表示ソフト）
VHX-H3M
（3D形状測定ソフト）
VHX-H1M1
（XY測定ソフト）
OP-84263
（DOUBLE‘Rユニット）
VHX-H2M
（3D形状測定ソフト）
3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
フットスイッチ
ファイバスコープ
CD-R/RW
■オプション
VHX-500F
耐振・高倍率観察システム
VH-S5
XY測定システム
VH-M100
透過照明ユニット
OP-84484
表示ユニット
OP-84483
フリーアングル観察システム
VH-S30
フリーアングル観察システム（Z軸自動）
VHX-S50
回転スタンド OP-25539
X Yステージ OP-22124
33
FIBERSCOPE
モニタ
USB
USB
LAN
DVI（VHX-1000）
RGB（VHX-500F）
※1 VHX専用ライトガイド（OP-51480）が必要です。
※2 VHX専用ライトガイドアタッチメント（OP-51482）が必要です。
※3 顕微鏡に適合するCマウントアダプタが必要です。
※4 同軸照明の場合は、OP-72407とOP-72406が必要です。
※5 VH-Z50L（W）/VH-Z100R（W）/VH-Z250R（W）/VH-Z500R（W）/
VH-Z10 0UR（W）/VH-Z450のアタッチメントはOP-51647となります。
※6 OP-32348はVH-Z25専用アダプタです。
※7 DOUBLE‘R対応レンズVH-Z00W/Z20W/Z100W/Z100UW/Z250W/
Z500W/Z50Wには、レンズ・倍率自動認識ユニットが装着されます。
※8 ボアファイバケーブル（OP-33242）とVHX専用ライトガイドアタッチメント
（OP-51482）が必要です。
パソコン パソコンパソコン
VHX-1000
カメラレンズ（Cマウント）
※3
※2
顕微鏡
VH-F61
VH-F111
パソコン
USBメモリなど
ハードディスク
大画面モニタ。多人数で同時に
見るには大画面モニタを接続。
倍 率がアップしてさらにシビア
なチェックが行なえます。
デジタルカラープリンタでハード
コピー。写 真 の 代わりに観 察
データ、資料として幅広く活用
できます。
カメラ部
VHX-1020
VHX-1100
バヨネット式
標準
アタッチメント※5
OP-51478
バヨネット式
Cマウントアタッチメント
OP-51479
VH-F
デジタルカラープリンタ
VH-H1G1
（粒子解析ソフト）
解析ソフト
2次元計測、
3D・HDR表示ソフト
VHX-H3M
（3D形状測定ソフト）
VHX-H1M1
（XY測定ソフト）
OP-84263
（DOUBLE‘Rユニット）
VHX-H2M
（3D形状測定ソフト）
3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
フットスイッチ
ファイバスコープ
CD-R/RW
■オプション
VHX-500F
耐振・高倍率観察システム
VH-S5
XY測定システム
VH-M100
透過照明ユニット
OP-84484
表示ユニット
OP-84483
フリーアングル観察システム
VH-S30
フリーアングル観察システム（Z軸自動）
VHX-S50
回転スタンド OP-25539
XYステージ OP-22124
（ ）
35
画 面上で任意にプロファイル計 測画 面上で任意にプロファイル計 測
3Ｄプロファイル測定3Ｄプロファイル測定
自動画像取り込みから3Ｄ画像を作成。任意のライン
の高さプロファイルデータを求めます。測定ライン上
の高さ、幅、凹凸をグラフ表示します。プロファイル
グラフと画像表示エリアのカーソル位置は連動して
いるので、どこを測定しているのか簡単に把握がで
きます。
マイクロスコープで 3 次元 形 状を測るマイクロスコープで 3 次元 形 状を測る
3 D 形 状 測定ソフトウェア V H X- H 3 M
VHX-500Fの3D形状測定ソフトはVHX-H2Mとなります。
3D生画像 3Dレインボー画像
3D生画像＋レインボー画像
電子部品金型（×500）
体積計測
3次元画像上の四角で囲まれた
部分の体積を計測できます。
断面プロファイル計測
3次元画像上の任意の断面の形
状を計測できます。
面間距離計測
3次元画面上の平行な2面の幅
を計測できます。
面間角度計測
3次元画像上の任意の2平面が
交差する角度を計測できます。
電子部品金型（×500）
高 低 差が一目瞭 然高 低 差が一目瞭 然
高さカラー /スケール表 示高さカラー /スケール表 示
観察しながら瞬時に計 測観察しながら瞬 時に計 測
3Dリアルタイム計 測3Dリアルタイム計 測
3Ｄ画像に高さを表すカラーバーが表示されます。最
も高いところが赤、最も低いところが紺色で表示され、
高低差が一目瞭然です。生画像と重ねて表示すること
も可能です。またX、Y、Z軸のスケールが画像の大きさ
や3Dの回転位置に合わせて自動計算し表示できます。
3Ｄ画像上で各種計測が可能。観察しながら測定ポイ
ントを探し出し、瞬時に計測することができます。
水平・垂直カーソルを使っ
て高さ・幅などを測定でき
ます。2ライン比較モード
で平行な2ラインのプロ
ファイルを同時に表示し、
比較することができます。
16
画 面上で任意にプロファイル計 測画 面上で任意にプロファイル計 測
3Ｄプロファイル測定3Ｄプロファイル測定
自動画像取り込みから3Ｄ画像を作成。任意のライン
の高さプロファイルデータを求めます。測定ライン上
の高さ、幅、凹凸をグラフ表示します。プロファイル
グラフと画像表示エリアのカーソル位置は連動して
いるので、どこを測定しているのか簡単に把握がで
きます。
マイクロスコープで 3 次元 形 状を測るマイクロスコープで 3 次元 形 状を測る
3 D 形 状 測定ソフトウェア V H X- H 3 M
VHX-500Fの3D形状測定ソフトはVHX-H2Mとなります。
3D生画像 3Dレインボー画像
3D生画像＋レインボー画像
電子部品金型（×500）
体積計測
3次元画像上の四角で囲まれた
部分の体積を計測できます。
断面プロファイル計測
3次元画像上の任意の断面の形
状を計測できます。
面間距離計測
3次元画面上の平行な2面の幅
を計測できます。
面間角度計測
3次元画像上の任意の2平面が
交差する角度を計測できます。
電子部品金型（×500）
高 低 差が一目瞭 然高 低 差が一目瞭 然
高さカラー /スケール表 示高さカラー /スケール表 示
観察しながら瞬時に計 測観察しながら瞬 時に計 測
3Dリアルタイム計 測3Dリアルタイム計 測
3Ｄ画像に高さを表すカラーバーが表示されます。最
も高いところが赤、最も低いところが紺色で表示され、
高低差が一目瞭然です。生画像と重ねて表示すること
も可能です。またX、Y、Z軸のスケールが画像の大きさ
や3Dの回転位置に合わせて自動計算し表示できます。
3Ｄ画像上で各種計測が可能。観察しながら測定ポイ
ントを探し出し、瞬時に計測することができます。
水平・垂直カーソルを使っ
て高さ・幅などを測定でき
ます。2ライン比較モード
で平行な2ラインのプロ
ファイルを同時に表示し、
比較することができます。
16
KS-1100シリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 17
■ 特長・機能
プロファイル計測モード
平面図に最大20ポイントの計測ラインを引き、2点間距離、中心間距
離などが計測可能です。
平面計測モード
二つの波形を比較して定量的に確認したり差分の計測が可能です。
プロファイル比較計測モード
測定データを演算して、体積、表面積の計測が可能です。
体積・表面積計測モード
制御システム概要
CPU
リニアスケール
リニアエンコーダ
リニアモータ
読み取り装置
比較・演算部 モータドライバ
VFD表示
Z軸リニアスケール
回転テーブル
Y軸高精度ステージ
VFD表示
高剛性
クロスローラ
ガイド
X軸
高精度ステージ
リニアシャフト
モータ
高精度リニアスケールをステージ自体に取りつけ、ステージの位置
を直接確認するため従来のオープンループのような誤差の蓄積が
なくなり、±0.5μmの繰り返し位置決め精度が可能になりました。
高精度：フルクローズドループ制御を実現
使い勝手を追求した形状測定ソフト（KS-Measure）により測定パラ
メータ（測定範囲、測定ピッチ等）の設定や保存を行い、ワンクリック
で測定ができます。また専用ソフトのため、レーザ測定器の設定や
測定値のリアルタイム表示、形状測定における残り時間表示などが
PC画面上で確認できます。
使い勝手を追求した形状測定ソフト
KS-Measure
抜群の操作性とリアルな表現力を兼ね備えた
形状解析ソフト KS-Analyzer
ステージ面からの力はクロスローラ円柱の側面全体にかかることに
より、従来のボールベアリングタイプのように力を一点で受けるタイプ
と比較して高剛性を実現しました。
高剛性：クロスローラガイド採用
業界初
駆動部にリニアシャフトモーターを採用することにより150mm／sec
の高速移動を実現。駆動部はシャフトと非接触で動作するため騒音・
振動の抑制、低速時の速度のバラつきもなくなりました。また機械的
な遊びが要因のバックラッシュやコギングも発生しないため、従来
にない高精度を実現しました。
高速：リニアシャフトモータ採用 指定したラインの断面図を表示して高低差、幅、ピッチなどが計測可能です。
※外形寸法図はP41に掲載してます。
KS-1100シリーズ
www.keyence.co.jp/henni 9
■ 特長・機能
プロファイル計測モード
平面図に最大20ポイントの計測ラインを引き、2点間距離、中心間距
離などが計測可能です。
平面計測モード
二つの波形を比較して定量的に確認したり差分の計測が可能です。
プロファイル比較計測モード
測定データを演算して、体積、表面積の計測が可能です。
体積・表面積計測モード
制御システム概要
CPU
リニアスケール
リニアエンコーダ
リニアモータ
読み取り装置
比較・演算部 モータドライバ
VFD表示
Z軸リニアスケール
回転テーブル
Y軸高精度ステージ
VFD表示
高剛性
クロスローラ
ガイド
X軸
高精度ステージ
リニアシャフト
モータ
高精度リニアスケールをステージ自体に取りつけ、ステージの位置
を直接確認するため従来のオープンループのような誤差の蓄積が
なくなり、±0.5μmの繰り返し位置決め精度が可能になりました。
高精度：フルクローズドループ制御を実現
使い勝手を追求した形状測定ソフト（KS-Measure）により測定パラ
メータ（測定範囲、測定ピッチ等）の設定や保存を行い、ワンクリック
で測定ができます。また専用ソフトのため、レーザ測定器の設定や
測定値のリアルタイム表示、形状測定における残り時間表示などが
PC画面上で確認できます。
使い勝手を追求した形状測定ソフト
KS-Measure
抜群の操作性とリアルな表現力を兼ね備えた
形状解析ソフト KS-Analyzer
ステージ面からの力はクロスローラ円柱の側面全体にかかることに
より、従来のボールベアリングタイプのように力を一点で受けるタイプ
と比較して高剛性を実現しました。
高剛性：クロスローラガイド採用
業界初
駆動部にリニアシャフトモーターを採用することにより150mm／sec
の高速移動を実現。駆動部はシャフトと非接触で動作するため騒音・
振動の抑制、低速時の速度のバラつきもなくなりました。また機械的
な遊びが要因のバックラッシュやコギングも発生しないため、従来
にない高精度を実現しました。
高速：リニアシャフトモータ採用 指定したラインの断面図を表示して高低差、幅、ピッチなどが計測可能です。
KS-1100シリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 17
■ 特長・機能
プロファイル計測モード
平面図に最大20ポイントの計測ラインを引き、2点間距離、中心間距
離などが計測可能です。
平面計測モード
二つの波形を比較して定量的に確認したり差分の計測が可能です。
プロファイル比較計測モード
測定データを演算して、体積、表面積の計測が可能です。
体積・表面積計測モード
制御システム概要
CPU
リニアスケール
リニアエンコーダ
リニアモータ
読み取り装置
比較・演算部 モータドライバ
VFD表示
Z軸リニアスケール
回転テーブル
Y軸高精度ステージ
VFD表示
高剛性
クロスローラ
ガイド
X軸
高精度ステージ
リニアシャフト
モータ
高精度リニアスケールをステージ自体に取りつけ、ステージの位置
を直接確認するため従来のオープンループのような誤差の蓄積が
なくなり、±0.5μmの繰り返し位置決め精度が可能になりました。
高精度：フルクローズドループ制御を実現
使い勝手を追求した形状測定ソフト（KS-Measure）により測定パラ
メータ（測定範囲、測定ピッチ等）の設定や保存を行い、ワンクリック
で測定ができます。また専用ソフトのため、レーザ測定器の設定や
測定値のリアルタイム表示、形状測定における残り時間表示などが
PC画面上で確認できます。
使い勝手を追求した形状測定ソフト
KS-Measure
抜群の操作性とリアルな表現力を兼ね備えた
形状解析ソフト KS-Analyzer
ステージ面からの力はクロスローラ円柱の側面全体にかかることに
より、従来のボールベアリングタイプのように力を一点で受けるタイプ
と比較して高剛性を実現しました。
高剛性：クロスローラガイド採用
業界初
駆動部にリニアシャフトモーターを採用することにより150mm／sec
の高速移動を実現。駆動部はシャフトと非接触で動作するため騒音・
振動の抑制、低速時の速度のバラつきもなくなりました。また機械的
な遊びが要因のバックラッシュやコギングも発生しないため、従来
にない高精度を実現しました。
高速：リニアシャフトモータ採用 指定したラインの断面図を表示して高低差、幅、ピッチなどが計測可能です。
※外形寸法図はP41に掲載してます。
KS-1100シリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 17
■ 特長・機能
プロファイル計測モード
平面図に最大20ポイントの計測ラインを引き、2点間距離、中心間距
離などが計測可能です。
平面計測モード
二つの波形を比較して定量的に確認したり差分の計測が可能です。
プロファイル比較計測モード
測定データを演算して、体積、表面積の計測が可能です。
体積・表面積計測モード
制御システム概要
CPU
リニアスケール
リニアエンコーダ
リニアモータ
読み取り装置
比較・演算部 モータドライバ
VFD表示
Z軸リニアスケール
回転テーブル
Y軸高精度ステージ
VFD表示
高剛性
クロスローラ
ガイド
X軸
高精度ステージ
リニアシャフト
モータ
高精度リニアスケールをステージ自体に取りつけ、ステージの位置
を直接確認するため従来のオープンループのような誤差の蓄積が
なくなり、±0.5μmの繰り返し位置決め精度が可能になりました。
高精度：フルクローズドループ制御を実現
使い勝手を追求した形状測定ソフト（KS-Measure）により測定パラ
メータ（測定範囲、測定ピッチ等）の設定や保存を行い、ワンクリック
で測定ができます。また専用ソフトのため、レーザ測定器の設定や
測定値のリアルタイム表示、形状測定における残り時間表示などが
PC画面上で確認できます。
使い勝手を追求した形状測定ソフト
KS-Measure
抜群の操作性とリアルな表現力を兼ね備えた
形状解析ソフト KS-Analyzer
ステージ面からの力はクロスローラ円柱の側面全体にかかることに
より、従来のボールベアリングタイプのように力を一点で受けるタイプ
と比較して高剛性を実現しました。
高剛性：クロスローラガイド採用
業界初
駆動部にリニアシャフトモーターを採用することにより150mm／sec
の高速移動を実現。駆動部はシャフトと非接触で動作するため騒音・
振動の抑制、低速時の速度のバラつきもなくなりました。また機械的
な遊びが要因のバックラッシュやコギングも発生しないため、従来
にない高精度を実現しました。
高速：リニアシャフトモータ採用 指定したラインの断面図を表示して高低差、幅、ピッチなどが計測可能です。
※外形寸法図はP41に掲載してます。
画像に対する全ての操作をテンプレートとして記録。別のサンプルに適用すること
で全く同じ解析が実行できるので、複数サンプルの比較評価が簡単に行なえます。
画像データの解析操作も、観察・測定ソフトウェア“VK-VIEWER”と同様に手順に
従うだけ。各場面で必要な操作のみを表示するので、初心者でも操作に迷いません。
自動で、全く同じ処理を実行するので、
測定処理の違いによる誤差なく、素
早く多数のサンプルの比較評価が
行なえます。
データ解析の前準備。測定データ
の傾きを補正するなどの処理を行な
います。
解析したい内容に応じた計測を実行。
断面プロファイル計測や粗さ計測
など、行ないたい解析を選択します。
解析した結果を出力。印刷やファイ
ル保存などを選択します。
1 2 3 4
サンプルAに対して、
線粗さ計測
任意の領域で
面粗さ計測
レポート出力
1∼3を
テンプレート
として保存
5 6
サンプルBに対して
テンプレートを適用
サンプルAと全く同じ計測が
瞬時に完了
テンプレート機能
ビギナーモード
計測解析
出力・終了
Step2
Step3
Step1 画像処理
NEW
業界初
13
バックナンバー
