図解 簡単ＡＦＭ入門 （Vol.2）
パラメータの意味合い
ＡＦＭの測定モードについて
ここでは、ＡＦＭの測定モードについて説明します。
■ＤＣモード
ＤＣモードは、ＡＦＭの測定モードではもっともポピュラーな測定モードの一つで、カンチレバーを微小な力
で常時、試料に接触させ、カンチレバーのたわみ量が一定になるようにプローブ・試料間の距離を制御
しながら走査することで観察するモードです。コンタクトモードとも呼ばれています。
接触状態で斥力を利用して観察するため試料表面の凹凸だけでなく、摩擦力や堅さ、粘性も評価できる
測定モードです。
■ＡＣモード
ＡＣモードは、共振させたカンチレバーの振幅が一定になるようにプローブ・試料完の距離を制御しながら
走査して、試料表面の凹凸を映像化するモードです。ＤＣモードは、試料表面を微小な力で断続的に接触
しながら観察するモードで、メーカー、商品によって呼び名が異なります。弊社 VN-8000では、Damping
Force Mode
と呼んでいます。
ＤＣモードと異なり、常時プローブ先端が接触していないので、プローブ先端の破損や摩耗などの影響を
受けにくく、高分解能での観察が可能な測定モードです。
■ＤＣモード、ＡＣモードの使い分け
ＤＣモード、ＡＣモードの使い分けは、スキャン領域や測定レンジ、試料表面の材質、堅さなどによって選択
します。広いスキャン領域や試料表面の高低差が大きいときは、ＤＣモードを選択します。
ナノスケールハイブリッド顕微鏡
6
エッジコントロール・位置決めモード
設定ソフトで受光波形の
モニタや測定モードなどの
各種設定を行なえます。
受光波形など測定状態を
リアルタイムに表示できます。
より精密な設置調整、感度
調整が可能になります。
モニタ機能
■ シート材のエッジコントロール ■ ワーク（ウエハ）の位置決め
多彩なモードで簡単に設定・測定・モニタリング
測定範囲の端から測定対象物（しゃ光体）
のエッジまでの距離を測定します。
外径・幅測定モード
■ 部品の外径測定 ■ 線材のＸ、Ｙ同時測定測定対象物の外径や幅を測定します。
内径・すき間測定モード
■ ローラのギャップ測定 ■ Ｏリングの内径測定測定対象物の内径やすき間を測定します。
クラス最速：毎秒1300スキャン/1300デコード
［ H i - S p e e d ］
・読み取り率測定モード
・タクト測定モード
・コード位置測定モード
TEST MODE
テストスイッチ
<読み取り率測定モード>
100％読み
取り状態
40％読み
取り状態
読み取り
エラー状態
高速モータ（従来比：2.6倍）と高速処理エンジン【HPPE】を新開発。
タクトの早いラインでの読み取りが可能。
読み取り最 小ナローバー幅：0 . 0 8ｍｍ
［ H i - R e s o l u t i o n ］
スペースの汚れや印字の乱れから発生するノイズをデジタル処理。
高分解能でありながらノイズの影響を受けず、極細コードを
読み取ることができます。
新プロセスで、常 識を超えた読み取り能 力
［ H i - P e r f o r m a n c e ］
難読コードもバーとスペースの切り換わりを“エッジ検出“で確実に抽出。
変動してしまったナロー：ワイド比率もデジタル補正して読み取ります。
基 本 機 能を継 承
テストスイッチを搭載
本体だけで各種テストモードを起動できる
テストスイッチを装備。
CODE39：16桁
※HPPE = Hi-Speed Parallel Processing Engine
5連バーLED搭載
起動したテストモードの結果を表示します。
ひと目で状態を確認できるので調整の工数を
大幅に削減することができます。
03
ＮＥＷ
7
測定モードなど、全ての設定
をパソコンで入力し、センサへ
転送することができます。
設定データの管理も簡単に
でき、複数台数使用される
場合にも便利です。
設定の読み出し／書き込み
RS-232C通信ユニット
DL-RS1A※1
■ フィルムのエッジコントロール ■ ガラス基板の位置決め
■ 加算モードで幅測定 ■ 減算モードで傾き測定
GV-Tseries
ガラスエッジモード
測定範囲の端から、測定対象物（ガラス
など）のエッジまでの距離を測定します。
演算機能
ピン位置測定モード ピン間隔判定モード ピン径判定モード 指定エッジ間測定モード
２台のセンサを使用して、加算／減算を
行ないます。
測定範囲の端から、円柱ワーク
などの中心までの距離を測定
します。
ピンが複数並ぶような測定対
象物の、ピンとピンの間（すき間）
を全て（最大１3）測定し、公差
範囲内か判定します。
ピンが複数並ぶような測定対
象物の、全て（最大１４）のピン
径（直径）を測定し、公差範囲
内か判定します。
測定する対象物のエッジから
エッジまでの距離を測定します。
測定する２つのエッジは指定
します。
※1 2009年7月14日以前にご購入されたDL-RS1Aはご使用になれません。
詳細については、最寄りの営業所にお問い合わせください。
3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
デジタルマイクロスコープ VHX-900
NEW
自動で 斜めから・簡単に
深度合成ができる
高精度電動リニアステージで、深度合成や3D構築などが
誰でも簡単に操作できます。
自動で
「深度合成」が完了
自動合成開始
電動ステージが作動
高倍率でのピント調整がどなたでも素早く正確にできます。画面上で
フォーカスを合わすエリアを指定することができるので、凹凸のある対象物
でも有効に活用できます。
オートフォーカス機能
自動測定モードで設定したウィンドウ間の段差が素早く自動測定できます。
手動測定モード画面で細部のピントの状態を見ながら測定することもできます。
2点間高さ測定
ピント調整の手間を省く
ピンポイントで手軽に高さ測定
ワンクリック
5
これまでにない操作性と極め尽くされた機能
取り付けスペースを最小に抑える傾斜光軸設計
読み取り・照射角度２０度
２次元コードの読み取りを安定させる最適な角度を、本体の中に持た
せました。傾けて設置することによって発生する余分なスペースの
確保は不要です。
読み取りエラーを未然に防止
予知保全情報付加機能
パラメータ設定時の明るさ（ワーク照度）との比を4種類のデータで報知
します。照明に対する障害、背景やコードのコントラストの変化などを早
期にお知らせ。従来の定期的なテストや画像検査が不要になりました。
クラス最速読み取りスピード + 抜群の読み取り能力
2D-SPAT! 搭載
読み取り可能なパラメータ数値の中でもっとも安定した設定値を割り
出し、独自の撮像制御と高性能デコードアルゴリズムを搭載した新高
速エンジン『2D-SPAT！』により従来と比較して２倍の読み取り速度
と抜群の読み取り能力を実現しました。
読み取りの安定度を確認できるTESTモードを搭載。従来機器で大
好評の『読み取り率測定モード』『タクト測定モード』に加え、新たに
『コード位置測定モード』を搭載。読み取り視野の中心部からのズレ
や傾きを5段階のレベルで確認できます。更に安定した読み取りを約
束する便利な機能です。
TESTモードで読み取りの安定が確認できたパラメータは８種類まで
パラメータバンクに登録することができます。読み取り動作時に、最適
なパラメータを自動で選択するオルタネート機能搭載。通常コード、白
黒反転コード、下地の色が違うコードが混在しても設定の変更作業
なく使用することができます。
読み取り安定度を確認
TESTモード搭載
パラメータバンクへの登録
オルタネート機能
STEP3 STEP 4
１００％
読み取り状態
4０％
読み取り状態
読み取り
エラー状態
適正
5個点灯
5個点灯
しない
ズレ
傾き
20°
SR-500シリーズ 従来品
０：正 常
１：注 意
２：警 告
３：読み取り
エラー
PMI=
読み取り率測定モード コード位置測定モード
予
知
情
報
KEYENCE 0001:0
KEYENCE 0002:0
KEYENCE 0003:1
KEYENCE 0004:0
KEYENCE 0005:0
2D Code Reader
読み取り時間比較
従来品
撮像時間
撮像時間 デコード時間
デコード時間
SR-500 読み取り時間を約１／２に短縮
《特許出願中》
《PMI》 読み取りデータ PMI
PMI=Preventive Maintenance Information
2D-SPAT!=2D Super Progressive Algorithm Technology
TEST
スイッチ
ＯＵＴ間演算
1.
2.
3.
『OUT設定』にて
演算対象となるOUT1、OUT2の測定モードをともに「段差」に設定し、
測定エリアを図１のように設定します。
OUT3の測定モードで「演算」を選択し、演算種類を「A+B」にします。
演算対象Aに「OUT1」、演算対象Bに「OUT2」を選択します。
OUT3のスケーリングで、図2のように設定し、
入力値の1/2になるようにします。
STEP
3点 段 差 測 定がしたい
任意の測定モードで
幅と段差の測定
２次元で測定された表面形状の
幅と段差を測定します。対象物
の色に影響されずに高精度測
定が可能です。
ＯＵＴ間演算は、演算を行っているＯＵＴＮｏ．を、別のＯＵＴの演算対象に指定することも可能です。
OUT4 ＝ OUT1+OUT2，
OUT5 ＝ OUT４−OUT3（演算を行っているOUT4も指定可能）
具体的には、 と指定できます。
幅
・
段
差
＜図１＞
＜図2＞
OK
10.652Program01
OUT01
[mm]
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
-30.000mm
30.000mm
-20.000mm 20.000mm
X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
5 ms
5 ms
GO
ZERO
測定中
トリガ間隔
測定時間
測 定 値
入 力 値 1
入 力 値 2
0.000
2.000
mm
mm
------ｍｍ
LJ-Gシリーズ活用サポート ＜検出・測定方法＞
指定したOUT番号の測定値を演算して測定できます。
演算は加算または減算を設定します。
ワンランクUP!
OUT2のエリア2OUT1のエリア2
OUT2のエリア2OUT1のエリア2
測定したい段差
スケーリング−ＯＵＴ3
表 示 値 1
表 示 値 2
0.000
1.000
mm
mm
3点段差測定は、平らでない面上にある
凹凸の高さを正しく測定したいときに
用います。
表示値2／入力値2 ＝ 1/2になるように
数値を入力します。
精 度 が 必 要なあらゆるインライン測 定に 。
先進テクノロジーが実現する2次元の新たなステージ
Ｘ軸・Ｚ軸の２次元で対象物の表面形状を正確に再現。
表面形状波形を、28種類の豊富な測定モードから
測定内容に応じて選択し、高さ、幅、段差などを測定します。
さらに、業界最多の8ポイント同時測定を実現。
測定モードの組合せや演算も自在に設定でき、
多彩なニーズに応えます。
幅・段差
指定した範囲内で
高さを多点測定
高さは、平均・ピーク・ボトムから任意に選
択できます。指定ポイントの高さを演算す
ることで、そり、うねりなども測定可能です。
任意の測定モードで
幅と段差の測定
２次元で測定された表面形状の幅と
段差を測定します。対象物の色に影
響されずに高精度測定が可能です。
OK
10.652Program01
OUT01
[mm]
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
-30.000mm
30.000mm
-20.000mm 20.000mm
X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
5 ms
5 ms
GO
ZERO
測定中
トリガ間隔
測定時間
OK
Program01
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
OUT1 16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
ZERO
OUT2
OUT3
OUT4
OUT5
OUT6
OUT7
OUT8
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
5 ms
5 ms
測定中
トリガ間隔
測定時間
5.000 [mm]
GO
3.500 [mm]
GO
5.150 [mm]
GO
9.260 [mm]
GO
6.100 [mm]
GO
3.220 [mm]
GO
1.070 [mm]
GO
2.455 [mm]
GO
OK
14.421Program01
OUT01
[mm]
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
-30.000mm
30.000mm
-20.000mm 20.000mm
X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
5 ms
5 ms
GO
ZERO
測定中
トリガ間隔
測定時間
高さ・そり
クラス最多 8ポイント同時測定・判定
高さ、幅、段差、形状、角度など 世界初 あらゆる対象物を安定測定
E3-CMOS & ASAP機能［特許出願中］
LJ-Gシリーズ
高精度2次元レーザ変位センサ
高精度2次元レーザ変位センサ
22
精 度 が 必 要なあらゆるインライン測 定に 。
先進テクノロジーが実現する2次元の新たなステージ
Ｘ軸・Ｚ軸の２次元で対象物の表面形状を正確に再現。
表面形状波形を、28種類の豊富な測定モードから
測定内容に応じて選択し、高さ、幅、段差などを測定します。
さらに、業界最多の8ポイント同時測定を実現。
測定モードの組合せや演算も自在に設定でき、
多彩なニーズに応えます。
幅・段差
指定した範囲内で
高さを多点測定
高さは、平均・ピーク・ボトムから任意に選
択できます。指定ポイントの高さを演算す
ることで、そり、うねりなども測定可能です。
任意の測定モードで
幅と段差の測定
２次元で測定された表面形状の幅と
段差を測定します。対象物の色に影
響されずに高精度測定が可能です。
OK
10.652Program01
OUT01
[mm]
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
-30.000mm
30.000mm
-20.000mm 20.000mm
X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
5 ms
5 ms
GO
ZERO
測定中
トリガ間隔
測定時間
OK
Program01
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
OUT1 16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
16.000
-5.000
ZERO
OUT2
OUT3
OUT4
OUT5
OUT6
OUT7
OUT8
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
H I
LO
5 ms
5 ms
測定中
トリガ間隔
測定時間
5.000 [mm]
GO
3.500 [mm]
GO
5.150 [mm]
GO
9.260 [mm]
GO
6.100 [mm]
GO
3.220 [mm]
GO
1.070 [mm]
GO
2.455 [mm]
GO
OK
14.421Program01
OUT01
[mm]
メモリーカード
OUT1 GO
OUT2 GO
OUT3 GO
OUT4 GO
OUT5 GO
OUT6 GO
OUT7 GO
OUT8 GO
全OUT
-30.000mm
30.000mm
-20.000mm 20.000mm
X : [ 5.000mm/div]
X : [ 10.000mm/div]
5 ms
5 ms
GO
ZERO
測定中
トリガ間隔
測定時間
高さ・そり
クラス最多 8ポイント同時測定・判定
高さ、幅、段差、形状、角度など 世界初 あらゆる対象物を安定測定
E3-CMOS & ASAP機能［特許出願中］
LJ-Gシリーズ
高精度2次元レーザ変位センサ
高精度2次元レーザ変位センサ
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上記と同様の手順にて、設定の初期化を行います。
半透明体を測定しているヘッド（『ヘッドＡ』）を選択します。
測定モードを『半透明体』にします。
『コントローラへ設定を送信』をクリックします。
『測定値表示』をクリックします。
『測定値取得開始』をクリックすると、測定値が表示します。
半透明体測定Vol．11ＬＫ-Ｇシリーズサポートシート
設定の初期化1
半透明体モードの設定2
半透明体の測定3
コントローラの設定
付属ソフトＬＫ−Ｎａｖｉｇａｔｏｒ（ＬＫ−Ｈ１Ｗ）を使用して、
コントローラの設定を行います。
2
バックナンバー
