28
日本語 英 語 中国語
真空度 Degree of vacuum
真空ポンプ Vacuum pump
し
︱
信号 Signal
す
人工知能 Artificial intelligence
新製品 New product
診断 Diagnosis
真直度 Straighness
振動 Vibration
浸透圧力 Esmotic pressure
振動解析 Vibration analyser
振動計 Vibration meter
振動子 Vibrator
振動数 Frequency
振幅 Amplitude
進捗管理 Schedule management
シンボルサイズ Symbol size
信頼性 Reliability
水圧 Hydraulic pressure
水位 Water level
水準 Level
水準器 Level
水素ガス Hydrogen gas
水素ぜい化 Hydrogen embrittlement
垂直 Vertical
垂直応力 Normal stress
スイッチ切換 Switch-selectable
スイッチングレギュレータ Switching regulator
水平 Horizontal
水平同期信号 Signal for horizontal synchronization
水溶性切削油剤 Water-miscible cutting fluid
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクロースドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
■ 外形寸法図
コンソール
本体
型式 KS-1100
R2 23
KS-1100
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
12
3
44
制御 フルクローズ ドループ
ガイド方式 クロスローラ
18
駆動方式 リニアモータ P.C.D100
12
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec φ170
最小移動分解能 ０１
. μm 4-M4深さ5 103
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
6.5
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
φ4.5
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６ φ11
コード長 3m
可動範囲 １０
０㎜
（163.5）
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
280
（X軸可動範囲）
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
15
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
280
（Y軸可動範囲）
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性 （481）
100
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と) （50） （Z軸可動範囲）
（50） （50） （50）
質量 約０
２ kg
382
5
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
システム仕様
82
Windows XP Professional
（182.5）
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
77
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
（100）
78.5 298
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上 260 15
393.5 7.5
300
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
ハードディ ク容量
ス
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
8 www.keyence.co.jp/henni
高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
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高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
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■ KSシリーズ仕様
KSシリーズ仕様
型式 KS-1100
移動量 100ｍｍ
（X/Y）
ステージ面サイズ 180ｍｍ×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
X/Yステージ 最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
4μm※1
位置決め精度
ロストモーシ ン
ョ 1μm
2μm/2μm※2
真直度（垂直/水平）
θステージ 移動範囲 360°
可動範囲 100mm
Zステージ 耐荷重 1.5 ｇ
ｋｆ（14.7N）
スケール分解能 1μm
チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
アナログ入力
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS232C インターフェース 測定データ取得（ボー ト 115200bps）
レー
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピー （USB1.1互換）
ド 準拠
データ容量 10Mデータ
（40Mbyte）
電源電圧 AC100∼120±10％ 50/60Hz
定格 最大消費電力 200VA
使用周囲温度 5∼40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。 ※2 移動量30mmの範囲においての値。
システム仕様
Windows XP Professional
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス
イ トールされているモデルであること。
CPU CPU Pentium4
（または同等以上の性能を持つCPU ）1.7GHz以上
メモリ 1ＧＢ搭載しているこ （2Ｇ
と。 Ｂ以上を推奨）
ビデオカード VRAM 128MB以上
1280×1024 Ｘ Ａ）
（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color 32bit）
（
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量70ＭＢ以上（測定データ含まず）
ハードディスク容量
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が500ＭＢ以上
■ システム図
LT-9010M KS-1100
アナログ電圧
形状測定ソフ ト
KS-H1M（本体付属）
（KS-Measure）
RS-232C
形状解析ソフ ト
KS-H1A
（KS-Analyzer）
RS-232C通信コード
CA-MN80 LT-9500
（本体付属）
USB
（ケーブル長さ2.5m）
PC USBケーブル（本体付属）
（ケーブル長さ3m）
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高精度形状測定システム
KS-1100シリーズ
■ リニアシャフトモータ採用
■ フルクローズドループ制御を実現
■ クロスローラガイド採用
■ 多彩な計測モード標準装備
■ 3D表示機能搭載
■ 仕 様
システム仕様
Windows XP Professional
型式 KS-1100
対応OS Windows XP Home Edition
移動量 １ ０ （X/Y）
０㎜
上記OSの日本語版がプリ ンス イ トールさ れているモデルである と。
こ
ステージ面サイ ズ １０
８ ㎜× ８ ㎜
１０
CPU CPU Pentium （または同等以上の性能を持つCPU ） . GHz以上
４ １７
制御 フルクローズ ドループ
メリ
モ １ Ｂ搭載している と。 ２ Ｂ以上を推奨）
Ｇ こ （Ｇ
ガイド方式 クロスローラ
ビデオカード VRAM １ ８
２ MB以上
駆動方式 リニアモータ
１ ８ × ０ ４ Ｘ Ａ）
２ ０ １ ２（Ｓ Ｇ 以上
X/Yステージ 最大駆動速度 １０
５ ㎜/sec
ディスプレイ解像度
表示色True Color ３ bit）
（２
最小移動分解能 ０１
. μm
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量 ０ Ｂ以上
７Ｍ （測定データ含まず）
繰り返し位置決め精度 ± . μm
０５
ハードディ ク容量
ス
実行時、 ＤＨ Ｄ空き容量が ０ Ｍ ５ ０ Ｂ以上
４ ※1
位置決め精度 μm
ロストモーシ ン
ョ １μm
２ ２ ※2
真直度 （垂直/水平） μm/ μm
θステージ 移動範囲 ３ ０°
６
可動範囲 １０
０㎜
Zステージ 耐荷重 １５ ｇ ４７
. ｋｆ（１ . N）
スケール分解能 １μm
チ ンネル数
ャ 最大 ch
２
方式 シングルエン ド方式
アナログ入力
測定確度 ０１ of F.S.
.%
定格電圧 ±０１V
RS232C インターフ ース
ェ 測定データ取得 （ボー ト１ ５ ０ bps）
レー １ ２ ０
制御入力 リ ト端子
モー 無電圧接点入力
USB イ ンターフ ース
ェ USB Revision ２０
. フルスピー （USB . 互換）
ド １１ 準拠
データ容量 １ Mデータ ４ Mbyte）
０ （０
電源電圧 AC ０ ∼ ２ ± ０
１ ０ １ ０ １ ％ ０６ Hz
５/０
定格
最大消費電力 ２０
０ VA
使用周囲温度 ５ ４℃
∼０
耐環境性
使用周囲湿度 ３∼５
５ ８ %RH(結露なきこ と)
質量 約０２ kg
※1 移動量10㎜の範囲においての値。 ※2 移動量30㎜の範囲においての値。
16 www.keyence.co.jp/henni
■ KSシリーズ仕様
KSシリーズ仕様
型式 KS-1100
移動量 100ｍｍ
（X/Y）
ステージ面サイズ 180ｍｍ×180mm
制御 フルクローズドループ
ガイド方式 クロスローラ
駆動方式 リニアモータ
X/Yステージ 最大駆動速度 150mm/sec
最小移動分解能 0.1μm
繰り返し位置決め精度 ±0.5μm
4μm※1
位置決め精度
ロストモーシ ン
ョ 1μm
2μm/2μm※2
真直度（垂直/水平）
θステージ 移動範囲 360°
可動範囲 100mm
Zステージ 耐荷重 1.5 ｇ
ｋｆ（14.7N）
スケール分解能 1μm
チャンネル数 最大2ch
方式 シングルエンド方式
アナログ入力
測定確度 0.1% of F.S.
定格電圧 ±10V
RS232C インターフェース 測定データ取得（ボー ト 115200bps）
レー
制御入力 リモート端子 無電圧接点入力
USB インターフェース USB Revision 2.0 フルスピー （USB1.1互換）
ド 準拠
データ容量 10Mデータ
（40Mbyte）
電源電圧 AC100∼120±10％ 50/60Hz
定格 最大消費電力 200VA
使用周囲温度 5∼40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85%RH(結露なきこと)
質量 約20kg
※1 移動量10mmの範囲においての値。 ※2 移動量30mmの範囲においての値。
システム仕様
Windows XP Professional
対応OS Windows XP Home Edition
上記OSの日本語版がプリ ンス
イ トールされているモデルであること。
CPU CPU Pentium4
（または同等以上の性能を持つCPU ）1.7GHz以上
メモリ 1ＧＢ搭載しているこ （2Ｇ
と。 Ｂ以上を推奨）
ビデオカード VRAM 128MB以上
1280×1024 Ｘ Ａ）
（Ｓ Ｇ 以上
ディスプレイ解像度
表示色True Color 32bit）
（
イ トール時、 Ｄ
ンス Ｈ Ｄ空き容量70ＭＢ以上（測定データ含まず）
ハードディスク容量
実行時、 Ｄ
Ｈ Ｄ空き容量が500ＭＢ以上
■ システム図
LT-9010M KS-1100
アナログ電圧
形状測定ソフ ト
KS-H1M（本体付属）
（KS-Measure）
RS-232C
形状解析ソフ ト
KS-H1A
（KS-Analyzer）
RS-232C通信コード
CA-MN80 LT-9500
（本体付属）
USB
（ケーブル長さ2.5m）
PC USBケーブル（本体付属）
（ケーブル長さ3m）
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