31
日本語 英 語 中国語
生産計画 Production plan
生産工程 Production procedure
せ︱ 生産中止 Production stop
せ 生産ライン Production line
静止 Stationary
製造 Manufacture
製造原価 Manufacture cost
製造工程 Manufacture procedure
製造費 Production expenditure
静電容量型 Capacitance type
静電誘導ノイズ Static induced noise
精度 Precision
性能試験 Performance test
生販会議 Production & Sales meeting
正反射受光型 Specular-reflective receiver
整備 Preparation/Maintenance
製品カタログ Product catalogue
精密加工 Precision machining
正ループ Positive loop
正論理 Positive logic
積算タイマ Accumulated timer
赤色半導体レーザ Red semiconductor laser
セキュリティ Security
セグメント長 Segment length
絶縁 Insulation
絶縁試験 Insulation test
絶縁抵抗 Insulation resistance
絶縁トランス Insulated transformer
設計 Design
設計変更 Design change
3-1 仕様
● 高速 高精度デジタル寸法測定器LS-5000シリーズ
・ コントローラ部
種類 表示分離型 表示部 表示一体型
型式 LS-5000 LS-D500 LS-5500
⎯
測定値表示 液晶表示、 320×240ドット、 バックライト付き
⎯
最小表示単位 ０.０５μm
3 ⎯
表示 表示範囲 ｰ99.99995∼999.99995
⎯
公差判別出力表示灯 ７段階液晶表示
⎯
レーザ放射警告灯 液晶表示 （測定部は、 緑色ＬＥＤ）
参考資料
プログラム切換入力
端子台 無電圧入力 無電圧入力
⎯
入力 （有/無接点） （有/無接点）
レーザリモート入力
測定データ出力および 測定データ出力および
インター ⎯
RS-232C出力
フェース 制御入力 制御入力
タイミング入力
無電圧入力 無電圧入力
ホールドリセット入力
⎯
オートゼロ設定 解除
・ （有/無接点） （有/無接点）
I/O※ 入力
ボード ⎯
アナログ出力 ±１０Ｖ出力 ±10Ｖ出力
NPNオープンコレクタ出力 NPNオープンコレクタ出力
⎯
７段コンパレータ出力
最大100mA（40V） 最大100mA（40V）
測定データ出力（８桁） 測定データ出力 （８桁）
BCD※ ⎯
BCD出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力
ボード
最大40ｍＡ（30Ｖ） 最大40ｍＡ（30Ｖ）
測定トレンド表示機能、 測定状態モニタ機能、 同時測定機能、エリア設定機能、 演算機能、
主な機能
平均機能、 校正機能、計測機能、
オートゼロ機能、 １６プログラムメモリ機能他
電源電圧 DC24V±10％ リップルP-P 10％以下 AC85∼264V 50/60Hz
定格
消費電流 1.4A以下 0.6A以下 85VA以下
使用周囲温度 ０∼＋45℃ ０∼＋40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85％ＲＨ （結露しないこと）
質量 約１.１kg 約０.７kg 約３.７kg
※I/Oボード、
BCDボードはオプション対応
センサヘッド部
種類 標準 大径測定用
型式 LS-5040 LS-5120
投受光部の分類 分離型 分離型
測定範囲 0.2∼40㎜ 0.8∼120㎜
最小検出物体 0.2㎜ 0.8㎜
標準400±100㎜ 最大1000㎜※1
投受光間距離 160±40㎜
赤色半導体レーザ （670nm） 赤色半導体レーザ （670nm）
光源
最大0.8mW JISクラス2 最大0.6mW JISクラス2
※２ ±8μm以下※４
測定精度 ±2μm以下
±0.3μm以下※３ ±1μm以下※５
繰り返し精度
レーザ走査回数 1200回/秒 1200回/秒
レーザ走査速度 121m/秒 504m/秒
レーザ走査範囲 約46㎜ 約124㎜
保護構造 IP64 IP65
耐環
境性 使用周囲温度/使用周囲湿度 0∼＋50℃/35∼85％RH
（結露しないこと）
質量 約1.4kg（ベース付き） 約5.5kg（ベース付き）
※1 測定可能領域は投光部から800mmまで。
※2 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mm内においてφ10mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※3 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
※4 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mm内においてφ40mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※5 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
3-4
3-1 仕様
● 高速 高精度デジタル寸法測定器LS-5000シリーズ
・ コントローラ部
種類 表示分離型 表示部 表示一体型
型式 LS-5000 LS-D500 LS-5500
液晶表示、320×240ドット、バックライト付き
測定値表示
0.05μm
最小表示単位
3 ｰ99.99995∼999.99995
表示 表示範囲
７段階液晶表示
公差判別出力表示灯
参考資料
液晶表示（測定部は、緑色LED）
レーザ放射警告灯
プログラム切換入力 無電圧入力 無電圧入力
端子台
入力 （有/無接点） （有/無接点）
レーザリモート入力
測定データ出力および 測定データ出力および
インター
RS-232C出力
フェース 制御入力 制御入力
タイミング入力
無電圧入力 無電圧入力
ホールドリセット入力
オートゼロ設定・ （有/無接点） （有/無接点）
I/O※ 解除入力
ボード
±１０Ｖ出力 ±10Ｖ出力
アナログ出力
NPNオープンコレクタ出力 NPNオープンコレクタ出力
７段コンパレータ
出力 最大100mA（40V）
最大100mA（40V）
測定データ出力（８桁） 測定データ出力 （８桁）
BCD※
ＮＰＮオープンコレクタ出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力
BCD出力
ボード
最大40ｍＡ（30Ｖ） 最大40ｍＡ（30Ｖ）
測定トレンド表示機能、測定状態モニタ機能、
同時測定機能、
エリア設定機能、演算機能、
主な機能
平均機能、校正機能、計測機能、
オートゼロ機能、
１６プログラムメモリ機能他
DC24V±10％ リップルP-P 10％以下 AC85∼264V 50/60Hz
電源電圧
定格
1.4A以下 0.6A以下 85VA以下
消費電流
０∼＋45℃ ０∼＋40℃
使用周囲温度
耐環境性
35∼85％ＲＨ（結露しないこと）
使用周囲湿度
約１.１kg 約０.７kg 約３.７kg
質量
※I/Oボード、
BCDボードはオプション対応
センサヘッド部
種類 標準 大径測定用
型式 LS-5040 LS-5120
投受光部の分類 分離型 分離型
測定範囲 0.2∼40㎜ 0.8∼120㎜
最小検出物体 0.2㎜ 0.8㎜
標準400±100㎜ 最大1000㎜※1
投受光間距離 160±40㎜
赤色半導体レーザ （670nm） 赤色半導体レーザ （670nm）
光源 最大0.8mW JISクラス2 最大0.6mW JISクラス2
±2μm以下※２ ±8μm以下※４
測定精度
±0.3μm以下※３ ±1μm以下※５
繰り返し精度
レーザ走査回数 1200回/秒 1200回/秒
レーザ走査速度 121m/秒 504m/秒
レーザ走査範囲 約46㎜ 約124㎜
保護構造 IP64 IP65
耐環
使用周囲温度/
境性 0∼＋50℃/35∼85％RH
（結露しないこと）
使用周囲湿度
質量 約1.4kg（ベース付き） 約5.5kg（ベース付き）
※1 測定可能領域は投光部から800mmまで。
※2 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mm内においてφ10mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※3 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
※4 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mm内においてφ40mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※5 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
3-4
3-1 仕様
● 高速 高精度デジタル寸法測定器LS-5000シリーズ
・ コントローラ部
種類 表示分離型 表示部 表示一体型
型式 LS-5000 LS-D500 LS-5500
液晶表示、320×240ドット、バックライト付き
測定値表示
0.05μm
最小表示単位
3 ｰ99.99995∼999.99995
表示 表示範囲
７段階液晶表示
公差判別出力表示灯
参考資料
液晶表示（測定部は、緑色LED）
レーザ放射警告灯
プログラム切換入力 無電圧入力 無電圧入力
端子台
入力 （有/無接点） （有/無接点）
レーザリモート入力
測定データ出力および 測定データ出力および
インター
RS-232C出力
フェース 制御入力 制御入力
タイミング入力
無電圧入力 無電圧入力
ホールドリセット入力
オートゼロ設定・ （有/無接点） （有/無接点）
I/O※ 解除入力
ボード
±１０Ｖ出力 ±10Ｖ出力
アナログ出力
NPNオープンコレクタ出力 NPNオープンコレクタ出力
７段コンパレータ
出力 最大100mA（40V）
最大100mA（40V）
測定データ出力（８桁） 測定データ出力 （８桁）
BCD※
ＮＰＮオープンコレクタ出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力
BCD出力
ボード
最大40ｍＡ（30Ｖ） 最大40ｍＡ（30Ｖ）
測定トレンド表示機能、測定状態モニタ機能、
同時測定機能、
エリア設定機能、演算機能、
主な機能
平均機能、校正機能、計測機能、
オートゼロ機能、
１６プログラムメモリ機能他
DC24V±10％ リップルP-P 10％以下 AC85∼264V 50/60Hz
電源電圧
定格
1.4A以下 0.6A以下 85VA以下
消費電流
０∼＋45℃ ０∼＋40℃
使用周囲温度
耐環境性
35∼85％ＲＨ（結露しないこと）
使用周囲湿度
約１.１kg 約０.７kg 約３.７kg
質量
※I/Oボード、
BCDボードはオプション対応
センサヘッド部
種類 標準 大径測定用
型式 LS-5040 LS-5120
投受光部の分類 分離型 分離型
測定範囲 0.2∼40㎜ 0.8∼120㎜
最小検出物体 0.2㎜ 0.8㎜
標準400±100㎜ 最大1000㎜※1
投受光間距離 160±40㎜
赤色半導体レーザ （670nm） 赤色半導体レーザ （670nm）
光源 最大0.8mW JISクラス2 最大0.6mW JISクラス2
±2μm以下※２ ±8μm以下※４
測定精度
±0.3μm以下※３ ±1μm以下※５
繰り返し精度
レーザ走査回数 1200回/秒 1200回/秒
レーザ走査速度 121m/秒 504m/秒
レーザ走査範囲 約46㎜ 約124㎜
保護構造 IP64 IP65
耐環
使用周囲温度/
境性 0∼＋50℃/35∼85％RH
（結露しないこと）
使用周囲湿度
質量 約1.4kg（ベース付き） 約5.5kg（ベース付き）
※1 測定可能領域は投光部から800mmまで。
※2 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mm内においてφ10mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※3 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
※4 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mm内においてφ40mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※5 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
3-4
3-1 仕様
● 高速 高精度デジタル寸法測定器LS-5000シリーズ
・ コントローラ部
種類 表示分離型 表示部 表示一体型
型式 LS-5000 LS-D500 LS-5500
液晶表示、320×240ドット、バックライト付き
測定値表示
0.05μm
最小表示単位
3 ｰ99.99995∼999.99995
表示 表示範囲
７段階液晶表示
公差判別出力表示灯
参考資料
液晶表示（測定部は、緑色LED）
レーザ放射警告灯
プログラム切換入力 無電圧入力 無電圧入力
端子台
入力 （有/無接点） （有/無接点）
レーザリモート入力
測定データ出力および 測定データ出力および
インター
RS-232C出力
フェース 制御入力 制御入力
タイミング入力
無電圧入力 無電圧入力
ホールドリセット入力
オートゼロ設定・ （有/無接点） （有/無接点）
I/O※ 解除入力
ボード
±１０Ｖ出力 ±10Ｖ出力
アナログ出力
NPNオープンコレクタ出力 NPNオープンコレクタ出力
７段コンパレータ
出力 最大100mA（40V）
最大100mA（40V）
測定データ出力（８桁） 測定データ出力 （８桁）
BCD※
ＮＰＮオープンコレクタ出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力
BCD出力
ボード
最大40ｍＡ（30Ｖ） 最大40ｍＡ（30Ｖ）
測定トレンド表示機能、測定状態モニタ機能、
同時測定機能、
エリア設定機能、演算機能、
主な機能
平均機能、校正機能、計測機能、
オートゼロ機能、
１６プログラムメモリ機能他
DC24V±10％ リップルP-P 10％以下 AC85∼264V 50/60Hz
電源電圧
定格
1.4A以下 0.6A以下 85VA以下
消費電流
０∼＋45℃ ０∼＋40℃
使用周囲温度
耐環境性
35∼85％ＲＨ（結露しないこと）
使用周囲湿度
約１.１kg 約０.７kg 約３.７kg
質量
※I/Oボード、
BCDボードはオプション対応
センサヘッド部
種類 標準 大径測定用
型式 LS-5040 LS-5120
投受光部の分類 分離型 分離型
測定範囲 0.2∼40㎜ 0.8∼120㎜
最小検出物体 0.2㎜ 0.8㎜
標準400±100㎜ 最大1000㎜※1
投受光間距離 160±40㎜
赤色半導体レーザ （670nm） 赤色半導体レーザ （670nm）
光源 最大0.8mW JISクラス2 最大0.6mW JISクラス2
±2μm以下※２ ±8μm以下※４
測定精度
±0.3μm以下※３ ±1μm以下※５
繰り返し精度
レーザ走査回数 1200回/秒 1200回/秒
レーザ走査速度 121m/秒 504m/秒
レーザ走査範囲 約46㎜ 約124㎜
保護構造 IP64 IP65
耐環
使用周囲温度/
境性 0∼＋50℃/35∼85％RH
（結露しないこと）
使用周囲湿度
質量 約1.4kg（ベース付き） 約5.5kg（ベース付き）
※1 測定可能領域は投光部から800mmまで。
※2 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mm内においてφ10mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※3 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
※4 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mm内においてφ40mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※5 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
3-4
3-1 仕様
● 高速 高精度デジタル寸法測定器LS-5000シリーズ
・ コントローラ部
種類 表示分離型 表示部 表示一体型
型式 LS-5000 LS-D500 LS-5500
⎯
測定値表示 液晶表示、 320×240ドット、 バックライト付き
⎯
最小表示単位 ０.０５μm
3 ⎯
表示 表示範囲 ｰ99.99995∼999.99995
⎯
公差判別出力表示灯 ７段階液晶表示
⎯
レーザ放射警告灯 液晶表示 （測定部は、 緑色ＬＥＤ）
参考資料
プログラム切換入力
端子台 無電圧入力 無電圧入力
⎯
入力 （有/無接点） （有/無接点）
レーザリモート入力
測定データ出力および 測定データ出力および
インター ⎯
RS-232C出力
フェース 制御入力 制御入力
タイミング入力
無電圧入力 無電圧入力
ホールドリセット入力
⎯
オートゼロ設定 解除
・ （有/無接点） （有/無接点）
I/O※ 入力
ボード ⎯
アナログ出力 ±１０Ｖ出力 ±10Ｖ出力
NPNオープンコレクタ出力 NPNオープンコレクタ出力
⎯
７段コンパレータ出力
最大100mA（40V） 最大100mA（40V）
測定データ出力（８桁） 測定データ出力 （８桁）
BCD※ ⎯
BCD出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力 ＮＰＮオープンコレクタ出力
ボード
最大40ｍＡ（30Ｖ） 最大40ｍＡ（30Ｖ）
測定トレンド表示機能、 測定状態モニタ機能、 同時測定機能、エリア設定機能、 演算機能、
主な機能
平均機能、 校正機能、計測機能、
オートゼロ機能、 １６プログラムメモリ機能他
電源電圧 DC24V±10％ リップルP-P 10％以下 AC85∼264V 50/60Hz
定格
消費電流 1.4A以下 0.6A以下 85VA以下
使用周囲温度 ０∼＋45℃ ０∼＋40℃
耐環境性
使用周囲湿度 35∼85％ＲＨ （結露しないこと）
質量 約１.１kg 約０.７kg 約３.７kg
※I/Oボード、
BCDボードはオプション対応
センサヘッド部
種類 標準 大径測定用
型式 LS-5040 LS-5120
投受光部の分類 分離型 分離型
測定範囲 0.2∼40㎜ 0.8∼120㎜
最小検出物体 0.2㎜ 0.8㎜
標準400±100㎜ 最大1000㎜※1
投受光間距離 160±40㎜
赤色半導体レーザ （670nm） 赤色半導体レーザ （670nm）
光源
最大0.8mW JISクラス2 最大0.6mW JISクラス2
※２ ±8μm以下※４
測定精度 ±2μm以下
±0.3μm以下※３ ±1μm以下※５
繰り返し精度
レーザ走査回数 1200回/秒 1200回/秒
レーザ走査速度 121m/秒 504m/秒
レーザ走査範囲 約46㎜ 約124㎜
保護構造 IP64 IP65
耐環
境性 使用周囲温度/使用周囲湿度 0∼＋50℃/35∼85％RH
（結露しないこと）
質量 約1.4kg（ベース付き） 約5.5kg（ベース付き）
※1 測定可能領域は投光部から800mmまで。
※2 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mm内においてφ10mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※3 投光部から80mmの位置を中心とする測定領域10mm×20mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
※4 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mm内においてφ40mmの丸棒を移動させて測定した場合の誤差。
※5 投光部から200mmの位置を中心とする測定領域40mm×80mmにおいて測定平均回数を768回に設定した場合。
3-4
キ ー エンス・歴 代 レー ザ 顕 微 鏡とその 進 化
表 面形状測定 超 深度形状測定 超 深度カラー3D
顕微鏡 顕微鏡 形状測定顕微鏡
VF-7500 VK-8500 VK-9500
生産終了 生産終了 生産終了
観 察像に対して、非接触で エリ 走査方式に進化し、
ア 短波長 バイオレッ レーザと
ト
断 面形状 が 解析可能な 3次元形状解析とカラー共焦点画像の 受 光素子の高感度化によ 、
り
顕 微鏡として登場し した 。
ま 取 得 が 可能な顕微鏡に進化 。 測定の高精度化を実現 。
光源 He-Neレーザ 赤色半導体レーザ バイオレット半導体レーザ
レーザ走査 ライン（488×1ピクセル） 面（1024×768ピクセル） 面（1024×768ピクセル）
受光素子 ラインCCD／8Bit フォトダイオード／8Bit フォトマルチプライヤ／14Bit
観察倍率 250-2500倍 200-8000倍 200-18000倍
光学ズーム機能 無し 1 2 4倍
・・ 1-6倍
リニアスケールモジュール分解能 無し 0.01μｍ 0.01μｍ
トレーサビリティ体系 無し 有り 有り
検出アルゴリズム ピーク方式 ピーク方式 ピーク方式
繰り返し精度σ※ 0.03μm 0.03μm 0.02μm
測定方法設定 マニュアル設定 マニュアル設定 マニュアル設定
画像連結機能 無し 無し 有り Ｉ
（Ａ Ａシステム搭載）
膜厚測定 有り
（ライン膜厚測定） 有り
（ライン膜厚測定） 有り
（ライン膜厚測定）
6 ※ 標準段差2μｍを測定する場合
キーエンス 歴代レーザ顕微鏡 そ 進化
・ との
「レーザ顕微鏡」「レーザマイ
は クロスコープ」
に進化 ま
し した。
表面形状測定 超深度形状測定 超深度カラー3D
顕微鏡 顕微鏡 形状測定顕微鏡
VF-7500 VK-8500 VK-9500
生産終了 生産終了 生産終了
観察像に対して、非接触で エリ 走査方式に進化し、
ア 短波長 バイオレッ レーザと
ト
断面形状が解析可能な 3次元形状解析とカラー共焦点画像の 受光素子の高感度化によ 、
り
顕微鏡として登場しました。 取得 が 可能な顕微鏡に進化。 測定の高精度化を実現。
光源 He-Neレーザ 赤色半導体レーザ バイオレット半導体レーザ
レーザ走査 ライン（488×1ピクセル） 面（1024×768ピクセル） 面（1024×768ピクセル）
受光素子 ラインCCD／8Bit フォトダイオード／8Bit フォトマルチプライヤ／14Bit
観察倍率 250-2500倍 200-8000倍 200-18000倍
光学ズーム機能 無し 1 2 4倍
・・ 1-6倍
リニアスケールモジュール分解能 無し 0.01μｍ 0.01μｍ
トレーサビリティ体系 無し 有り 有り
検出アルゴリズム ピーク方式 ピーク方式 ピーク方式
繰り返し精度σ※ 0.03μm 0.03μm 0.02μm
測定方法設定 マニュアル設定 マニュアル設定 マニュアル設定
画像連結機能 無し 無し 有り Ｉ
（Ａ Ａシステム搭載）
膜厚測定 有り
（ライン膜厚測定） 有り
（ライン膜厚測定） 有り
（ライン膜厚測定）
6 ※標準段差2μｍを測定する場合
仕 様
■ ヘッ （LK-G08、
ド LK-G15/ LK-G10）
型式 L K-G08 LK-G15/ LK-G10
− −
設置モード
8mm 10mm
基準距離
測定範囲※1 ±0.8mm ±1mm
赤色半導体レーザ
波長 650nm（可視光）
クラス1
（JIS C6802）
光源
出力 最大0.3mW
約φ20μm 約φ20μm（G10）
スポッ （基準距離にて）
ト径
約20×500μm（G15）
直線性※2 ±0.05% of F.S. Ｆ.Ｓ.＝±0.8ｍｍ）
（ ±0.03% of F.S. Ｆ.Ｓ.＝±1ｍｍ）
（
繰り返し精度※3 0.02μm（0.01μｍ）
20/50/100/200/500/1000μs 6段階可変）
（
サンプリング周期
測定中心付近：緑点灯
測定範囲内：橙点灯
LED表示
測定範囲外：橙点滅
0.02% of F.S. / ℃（Ｆ.Ｓ.＝±0.8ｍｍ） 0.01% of F.S. / ℃（Ｆ.Ｓ.＝±1ｍｍ）
温度特性
− IP67（IEC60529）
保護構造
白熱ランプ、蛍光灯 10000 ｘ
： ｌ 以下 白熱ランプ、蛍光灯 10000lx以下
：
使用周囲照度
＋10∼＋40℃ 0∼＋50℃
耐環境性 使用周囲温度
35∼85％Ｒ （結露なきこ
Ｈ と） 35∼85％RH
（結露なきこと）
使用周囲湿度
10∼55Ｈ 複振幅0.75ｍｍ X、 Z各方向2時間
ｚ Y、 10∼55Hz 複振幅1.5mm X、 Z 各方向2時間
Y、
耐振動
約245ｇ 約190ｇ
質量（コード含む）
※1 サンプリング周期20μ ｓ時の測定範囲は以下の通り。
LK-G08：＋0.37mm（FAR側）∼−0.8mm（NEAR側） LK-G15 / LK-G10
、 ：＋0.37mm（FAR側）∼−1mm（NEAR側）
※2 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。
※3 弊社標準対象物 Ｕ を基準距離にて平均回数4096回で測定した場合の値。
（Ｓ Ｓ） （ ） 内は平均回数16384回で測定した場合の代表例。
■ ヘッ （LK-G35 / LK-G30、
ド LK-G85 / LK-G80）
型式 L K-G35 / LK-G30 LK-G85 / LK-G80
設置モード 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射
基準距離 30mm 23.5mm 80mm 75.2mm
測定範囲※1 ±5mm ±4.5mm ±15mm ±14mm
赤色半導体レーザ
波長 ※2
650nm（可視光）
クラス3R
（JIS C6802）
光源
出力 最大4.8mW
約φ30μm（G30） 約φ70μm（G80）
スポッ （基準距離にて）
ト径
約30×850μm（G35） 約70×1100μm（G85）
直線性※3 ±0.05% of F.S.（Ｆ.Ｓ.＝±5ｍｍ） ±0.05% of F.S.
（F.S.＝ ±15ｍｍ）
繰り返し精度※4 0.05μm（0.01μm） 0.2μm
20/50/100/200/500/1000μs 6段階可変）
（
サンプリング周期
測定中心付近 緑点灯
：
測定範囲内 橙点灯
：
LED表示
測定範囲外 橙点滅
：
0.01% of F.S./ ℃（Ｆ.Ｓ.＝±5ｍｍ） 0.01% of F.S./ ℃（F.S.＝±15ｍｍ）
温度特性
IP67（IEC60529）
保護構造
白熱ランプ、蛍光灯 10000lx以下
：
使用周囲照度
0∼＋50℃
耐環境性 使用周囲温度
35∼85％RH
（結露なきこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz 複振幅1.5mm X、 Z 各方向2時間
Y、
耐振動
約280ｇ 約380ｇ
質量（コード含む）
※1 サンプリング周期20μ ｓ時の測定範囲は以下の通り。
LK-G35 / LK-G30：拡散反射時＋1.8mm（FAR側）∼−5mm（NEAR側） 正反射時＋1.6mm
、 （FAR側）∼−4.5mm（NEAR側）
LK-G85 / LK-G80：拡散反射時−9mm（NEAR側） ∼−15mm（NEAR側） 正反射時−8.7mm
、 （NEAR側）∼−14mm（NEAR側）
※2 クラス2タイプも用意しており ます。別途お問い合わせく ださい。
※3 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。
※4 弊社標準対象物 Ｕ を基準距離にて平均回数4096回で測定した場合の値。
（Ｓ Ｓ） （ ）内は平均回数16384回で測定した場合の代表例。
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■ ヘッ （LK-G155 / LK-G150、
ド LK-G405 / G400）
型式 LK-G155 / LK-G150 L K-G405 / LK-G400
設置モード 拡散反射 正反射 拡散反射 正反射
基準距離 150mm 147.5mm 400mm 398mm
測定範囲※1 ±40mm ±39mm ±100mm ±99mm
赤色半導体レーザ
波長 ※2
光源 650nm（可視光）
クラス3R
（JIS C6802）
出力 最大4.8mW
約φ120μm（G150） 約φ290μm（G400）
スポッ （基準距離にて）
ト径
約120×1700μm（G155） 約290×8300μm（G405）
直線性※3 ±0.05% of F.S.
（Ｆ.Ｓ.＝±40ｍｍ） ±0.05% of F.S.
（Ｆ.Ｓ.＝±100ｍｍ）
繰り返し精度※4 0.5μm 2μm
20/50/100/200/500/1000μs 6段階可変）
（
サンプリング周期
測定中心付近 緑点灯
：
測定範囲内 橙点灯
：
LED表示
測定範囲外 橙点滅
：
0.01% of F.S./ ℃（Ｆ.Ｓ.＝±40ｍｍ） 0.01% of F.S./ ℃（Ｆ.Ｓ.＝±100ｍｍ）
温度特性
IP67（IEC60529）
保護構造
白熱ランプ、蛍光灯 10000lx以下
：
使用周囲照度
0∼＋50℃
耐環境性 使用周囲温度
35∼85％RH
（結露なきこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz 複振幅1.5mm X、 Z 各方向2時間
Y、
耐振動
約290ｇ 約380ｇ
質量（コード含む）
※1 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。 サンプリ ング周期20μｓ時の測定範囲は以下の通り。
LK-G155 /LK-G150：拡散反射時−22mm（NEAR側）∼−40mm（NEAR側） 正反射時−22mm
、 （NEAR側）∼−39mm（NEAR側）
LK-G405 /LK-G400：拡散反射時−70mm（NEAR側）∼−100mm（NEAR側） 正反射時−70mm
、 （NEAR側）∼−99mm（NEAR側）
※2 クラス2タイプも用意しており ます。別途お問い合わせく ださい。
※3 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。
※4 弊社標準対象物 Ｕ を基準距離にて平均回数4096回で測定した場合の値。
（Ｓ Ｓ）
■ ヘッ （LK-G505 / LK-G500）
ド
型式 L K-G505 / LK-G500
設置モード 拡散反射 正反射
基準距離 500mm 497.5mm
測定範囲※1 −250mm∼＋500mm −249mm∼＋498mm
赤色半導体レーザ
波長 ※2
650nm（可視光）
クラス3R
（JIS C6802）
光源
出力 最大4.8mW
約φ300μm（G500）
スポッ （基準距離にて）
ト径
約300×9500μm（G505）
±0.05% of F.S.（−250mm∼＋250mm）
ロングレンジ±0.1% of F.S.（−250mm∼＋500mm）
直線性※3
高精度レンジ±0.02% of F.S.（−250mm∼−50mm）
（Ｆ.Ｓ.＝±250ｍｍ）
2μm
繰り返し精度※4
20/50/100/200/500/1000μs 6段階可変）
（
サンプリング周期
測定中心付近 緑点灯 測定範囲内 橙点灯 測定範囲外 橙点滅
： ： ：
LED表示
0.01% of F.S./ ℃（Ｆ.Ｓ.＝±250ｍｍ）
温度特性
IP67（IEC60529）
保護構造
白熱ランプ、蛍光灯 10000lx以下
：
使用周囲照度
0∼＋50℃
耐環境性 使用周囲温度
35∼85％RH
（結露なきこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz 複振幅1.5mm X、 Z 各方向2時間
Y、
耐振動
約380ｇ
質量（コード含む）
※1 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。
サンプリング周期20μ 時は 拡散反射時−230mm
ｓ （NEAR側）∼−250mm
（NEAR側） 正反射時−230mm
、 （NEAR側）∼−249mm
（NEAR側）、
サンプリング周期50μ 時は 拡散反射時−125mm
ｓ （NEAR側）∼−250mm
（NEAR側） 正反射時−125mm
、 （NEAR側）∼−249mm
（NEAR側） り
にな ます。
※ 2 クラス2タイプも用意しており ます。別途お問い合わせく ださい。
※3 弊社標準対象物 （セラミ ク）
ッ を標準モー ドにて測定した場合の値。
※4 弊社標準対象物 Ｕ を基準距離にて平均回数4096回で測定した場合の値。
（Ｓ Ｓ）
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翻訳キーワード集
