ダブルスキャン高精度レーザ測定器
LT-9000シリーズ総合
従来比10倍、高分解能0.01μm
高精度ダブルスキャン方式
NEW
世界初
33
透明体の測定をおこなう際は、ダブルスキャン
高精度レーザ測定器（lTシリーズ）、高精度レ
ーザ変位計（LCシリーズ）、CCDレーザ変位
計（LK-Gシリーズ）を用いれば簡単に測定す
ることができます。
CCDレーザ変位センサ（LKシリーズ）を使用
する場合には、次のようなテクニックが必要と
なります。
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
高精度レーザ角度測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
高精度レーザ角度測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
長距離レーザ変位測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １５
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
長距離レーザ変位測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
非接触温度計 ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション ・・・・・・ １７
キーエンス APSULT 事業部
- 5 -
高精度レーザ測定器
同軸測定
特長
投受光が同軸上にあるため、受光レンズが大きく、開口角も広くなっていま
す。したがって、正反射ワークであっても角度特性に優れています。
段差や溝を測定する場合、投受光が同軸上にないと、反射光がワークの壁に当
たって返ってこなかったり、壁で乱反射して返ってきたりなどが生じる可能性
があります。
全測定レンジで小スポットΦ２μｍ
抜群の角度特性
複雑形状の測定が可能
選定のポイント三角測距方式 共焦点方式
全測定範囲
測定範囲
上限
中心
（基準距離）
下限
共焦点原理（1 千万円以上する測定顕微鏡で採用されてい
るのと同じ原理です）を使用しており、抜群の高精度と安
定性を持っています。
レーザ変位計では測定できない測定に使用されます。
形状測定や薄膜の膜厚測定等、精度が求められる測定で多
くの実績があります。
小スポット
基準距離のみ で
小スポット
高精度形状測定システム
特長
非接触で３Ｄ形状測定が可能に
高精度レーザ測定器とリニアシャフトモータステージを用いることで高精度に非接触形状測定が可能になりました。
シボ加工面 不織布
プラスチックレンズ
（フレネルレンズ）
１０円玉
キーエンス APSULT 事業部
- 5 -
高精度レーザ測定器
投受光が同軸上にあるため、受光レンズが大きく、開口角も広くなっていま
す。したがって、正反射ワークであっても角度特性に優れています。
段差や溝を測定する場合、投受光が同軸上にないと、反射光がワークの壁に当
たって返ってこなかったり、壁で乱反射して返ってきたりなどが生じる可能性
があります。
同軸測定
特長
全測定レンジで小スポットΦ２μｍ
抜群の角度特性
複雑形状の測定が可能
選定のポイント三角測距方式 共焦点方式
全測定範囲
測定範囲
上限
中心
（基準距離）
下限
共焦点原理（1 千万円以上する測定顕微鏡で採用されてい
るのと同じ原理です）を使用しており、抜群の高精度と安
定性を持っています。
レーザ変位計では測定できない測定に使用されます。
形状測定や薄膜の膜厚測定等、精度が求められる測定で多
くの実績があります。
小スポット
基準距離のみ で
小スポット
高精度形状測定システム
特長
非接触で３Ｄ形状測定が可能に
高精度レーザ測定器とリニアシャフトモータステージを用いることで高精度に非接触形状測定が可能になりました。
ネジ 鋼板塗装
での異物
１０円
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