ダブルスキャン高精度レーザ測定器
NEW
LT-9000シリーズ総合
高精度ダブルスキャン方式
世界初
従来比10倍、
高分解能0.01μm
3
透明体の測定をおこなう際は、ダブルスキャン
高精度レーザ測定器（lTシリーズ） 高精度レ
、
ーザ変位計（LCシリーズ） CCDレーザ変位
、
計（LK-Gシリーズ）を用いれば簡単に測定す
ることができます。
CCDレーザ変位センサ（LKシリーズ）を使用
する場合には、次のようなテクニックが必要と
なります。
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
高精度レーザ角度測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
高精度レーザ角度測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
長距離レーザ変位測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １５
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
長距離レーザ変位測定器・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １７
目次
◆ 変位センサとは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ 変位センサの種類
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １
◆ センサ選定のポイント
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ２
◆ 精度とは
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ３
◆ 変位センサのバリエーション
レーザ変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ４
高精度レーザ測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ５
透過型測定器
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ６
渦電流式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ７
接触式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ８
超音波式変位計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
非接触温度計
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ ９
◆ アプリケーション
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ １０
◆ ＰＣデータロガーを使用した計測アプリケーション
・・・・・・ １７
高精度レーザ測定器
特長
同軸測定
抜群の角度特性
投受光が同軸上にあるため、受光レンズが大きく、開口角も広くなっていま
す。したがって、正反射ワークであっても角度特性に優れています。
複雑形状の測定が可能
段差や溝を測定する場合、投受光が同軸上にないと、反射光がワークの壁に当
たって返ってこなかったり、壁で乱反射して返ってきたりなどが生じる可能性
があります。
全測定レンジで小スポットΦ２μｍ
選定のポイント
三角測距方式 共焦点方式
測定範囲
共焦点原理（1 千万円以上する測定顕微鏡で採用されてい
るのと同じ原理です）を使用しており、抜群の高精度と安
上限
定性を持っています。
レーザ変位計では測定できない測定に使用されます。
中心
（基準距離）
形状測定や薄膜の膜厚測定等、精度が求められる測定で多
くの実績があります。
下限
基準距離の み 全測定範囲 で
小スポット 小スポット
高精度形状測定システム
特長
非接触で３Ｄ形状測定が可能に
高精度レーザ測定器とリニアシャフトモータステージを用いることで高精度に非接触形状測定が可能になりました。
ＢＧＡ半田ボール形状 ワイヤボンディング 基板実装面
キーエンス APSULT 事業部
-5-
高精度レーザ測定器
特長
同軸測定
抜群の角度特性
投受光が同軸上にあるため、受光レンズが大きく、開口角も広くなっていま
す。したがって、正反射ワークであっても角度特性に優れています。
複雑形状の測定が可能
段差や溝を測定する場合、投受光が同軸上にないと、反射光がワークの壁に当
たって返ってこなかったり、壁で乱反射して返ってきたりなどが生じる可能性
があります。
全測定レンジで小スポットΦ２μｍ
選定のポイント
三角測距方式 共焦点方式
測定範囲
共焦点原理（1 千万円以上する測定顕微鏡で採用されてい
るのと同じ原理です）を使用しており、抜群の高精度と安
上限
定性を持っています。
レーザ変位計では測定できない測定に使用されます。
中心
（基準距離）
形状測定や薄膜の膜厚測定等、精度が求められる測定で多
くの実績があります。
下限
基準距離の み 全測定範囲 で
小スポット 小スポット
高精度形状測定システム
特長
非接触で３Ｄ形状測定が可能に
高精度レーザ測定器とリニアシャフトモータステージを用いることで高精度に非接触形状測定が可能になりました。
ＢＧＡ
チップ部品
１０円
キーエンス APSULT 事業部
-5-
翻訳キーワード集
