レ
ー
ザ
非
接
触
式
渦
電
流
非
接
触
式
差
動
ト
ラ
ン
ス
接
触
式
超
音
波
非
接
触
式
P8
www.keyence.co.jp/henni 3
P24
P28
P32
専
用
機
・
表
示
器
レーザ非接触式
渦電流 非接触式
差動トランス接触式
超音波 非接触式
専用機・表示器
外径寸法図
P34
［ 繰返し精度：0.01μm∼、測定範囲：7.2∼1000mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：0.9∼1.1mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：5.7∼31mm ］
［ 分解能：0.1μm、測定範囲：0∼100mm ］
［ 繰返し精度：±0.06μm∼、測定範囲：0∼65mm］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：6.1∼750mm ］
［ 分解能：2μm∼、測定範囲：30∼400mm ］
［ 分解能：0.1mm、測定範囲：0.5∼25m ］
［ 分解能：1/720°、測定範囲：−1.5∼1.5°］
［ 分解能：1μm、測定範囲：φ40mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.3μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：±0.5∼±15mm ］
［ 分解能：0.16μm∼、測定範囲：±0.4∼±1.5mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：±0.5∼±5mm ］
［ 分解能：1mm∼、測定範囲：6∼1000cm ］
［ 分解能：0.1mm∼、測定範囲：80∼300mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0.5∼35mm ］
ブルーレーザフォーカス変位計
ダブルスキャン高精度レーザ測定器
高速・高精度CCDレーザ変位計
LT-9500V
LT-9000
高精度 形状測定システム KS-1100
高速・高精度デジタル寸法測定器 LS-7000
高速・高精度デジタル変位センサ EX-V
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500
高速・高精度 渦電流式 変位センサ EX-200
渦電流式 変位センサ AS
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V
高精度 接触式 変位センサ AT2
接触式 変位センサ AT
超音波式 変位センサ UD-300
ロードセルインジケータ JC
高精度 振動センサ GA
高精度 位置決めセンサ EG
光学式 位置決めセンサ PT
超小型・小スポット赤外放射温度計 IT2-50
金属板2枚送り検出センサ DD
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転・速度計 RX
グラフィック アナログコントローラ RJ
アナログコントローラ RD
多機能デジタルメータリレー RV3
小型デジタルメータリレー RV10
高精度 超音波式 変位センサ UD-500
CCDレーザ変位センサ LK
レーザ変位センサ LB
長距離レーザ変位測定器 LF
高精度レーザ角度測定器 LA
高精度2次元寸法測定器 VM
レーザ式 外径変位センサ VG
LK-G P 8
P12
P14
P16
P18
P20
P21
P22
P22
P23
P23
P24
P26
P27
P27
P28
P30
P31
P32
P33
P34
P34
P35
P35
P36
P36
P37
P37
P38
P38
P39
P39
P40 テクニカルガイド P48
SE L E C T I ON GU I D E
NEW
NEW
NEW
レ
ー
ザ
非
接
触
式
渦
電
流
非
接
触
式
差
動
ト
ラ
ン
ス
接
触
式
超
音
波
非
接
触
式
P8
www.keyence.co.jp/henni 3
P24
P28
P32
専
用
機
・
表
示
器
レーザ非接触式
渦電流 非接触式
差動トランス接触式
超音波 非接触式
専用機・表示器
外径寸法図
P34
［ 繰返し精度：0.01μm∼、測定範囲：7.2∼1000mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：0.9∼1.1mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：5.7∼31mm ］
［ 分解能：0.1μm、測定範囲：0∼100mm ］
［ 繰返し精度：±0.06μm∼、測定範囲：0∼65mm］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：6.1∼750mm ］
［ 分解能：2μm∼、測定範囲：30∼400mm ］
［ 分解能：0.1mm、測定範囲：0.5∼25m ］
［ 分解能：1/720°、測定範囲：−1.5∼1.5°］
［ 分解能：1μm、測定範囲：φ40mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.3μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：±0.5∼±15mm ］
［ 分解能：0.16μm∼、測定範囲：±0.4∼±1.5mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：±0.5∼±5mm ］
［ 分解能：1mm∼、測定範囲：6∼1000cm ］
［ 分解能：0.1mm∼、測定範囲：80∼300mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0.5∼35mm ］
ブルーレーザフォーカス変位計
ダブルスキャン高精度レーザ測定器
高速・高精度CCDレーザ変位計
LT-9500V
LT-9000
高精度 形状測定システム KS-1100
高速・高精度デジタル寸法測定器 LS-7000
高速・高精度デジタル変位センサ EX-V
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500
高速・高精度 渦電流式 変位センサ EX-200
渦電流式 変位センサ AS
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V
高精度 接触式 変位センサ AT2
接触式 変位センサ AT
超音波式 変位センサ UD-300
ロードセルインジケータ JC
高精度 振動センサ GA
高精度 位置決めセンサ EG
光学式 位置決めセンサ PT
超小型・小スポット赤外放射温度計 IT2-50
金属板2枚送り検出センサ DD
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転・速度計 RX
グラフィック アナログコントローラ RJ
アナログコントローラ RD
多機能デジタルメータリレー RV3
小型デジタルメータリレー RV10
高精度 超音波式 変位センサ UD-500
CCDレーザ変位センサ LK
レーザ変位センサ LB
長距離レーザ変位測定器 LF
高精度レーザ角度測定器 LA
高精度2次元寸法測定器 VM
レーザ式 外径変位センサ VG
LK-G P 8
P12
P14
P16
P18
P20
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P23
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P28
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P32
P33
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P34
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P35
P36
P36
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P37
P38
P38
P39
P39
P40 テクニカルガイド P48
SE L E C T I ON GU I D E
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ー
ザ
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接
触
式
渦
電
流
非
接
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式
差
動
ト
ラ
ン
ス
接
触
式
超
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波
非
接
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示
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レーザ非接触式
渦電流 非接触式
差動トランス接触式
超音波 非接触式
専用機・表示器
外径寸法図
P34
［ 繰返し精度：0.01μm∼、測定範囲：7.2∼1000mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：0.9∼1.1mm ］
［ 分解能：0.01μm、測定範囲：5.7∼31mm ］
［ 分解能：0.1μm、測定範囲：0∼100mm ］
［ 繰返し精度：±0.06μm∼、測定範囲：0∼65mm］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：6.1∼750mm ］
［ 分解能：2μm∼、測定範囲：30∼400mm ］
［ 分解能：0.1mm、測定範囲：0.5∼25m ］
［ 分解能：1/720°、測定範囲：−1.5∼1.5°］
［ 分解能：1μm、測定範囲：φ40mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.3μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.4μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：0.1μm∼、測定範囲：±0.5∼±15mm ］
［ 分解能：0.16μm∼、測定範囲：±0.4∼±1.5mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：±0.5∼±5mm ］
［ 分解能：1mm∼、測定範囲：6∼1000cm ］
［ 分解能：0.1mm∼、測定範囲：80∼300mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0∼10mm ］
［ 分解能：1μm∼、測定範囲：0.5∼35mm ］
ブルーレーザフォーカス変位計
ダブルスキャン高精度レーザ測定器
高速・高精度CCDレーザ変位計
LT-9500V
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高精度 形状測定システム KS-1100
高速・高精度デジタル寸法測定器 LS-7000
高速・高精度デジタル変位センサ EX-V
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500
高速・高精度 渦電流式 変位センサ EX-200
渦電流式 変位センサ AS
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V
高精度 接触式 変位センサ AT2
接触式 変位センサ AT
超音波式 変位センサ UD-300
ロードセルインジケータ JC
高精度 振動センサ GA
高精度 位置決めセンサ EG
光学式 位置決めセンサ PT
超小型・小スポット赤外放射温度計 IT2-50
金属板2枚送り検出センサ DD
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転・速度計 RX
グラフィック アナログコントローラ RJ
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高精度 超音波式 変位センサ UD-500
CCDレーザ変位センサ LK
レーザ変位センサ LB
長距離レーザ変位測定器 LF
高精度レーザ角度測定器 LA
高精度2次元寸法測定器 VM
レーザ式 外径変位センサ VG
LK-G P 8
P12
P14
P16
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P23
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P36
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P38
P39
P39
P40 テクニカルガイド P48
SE L E C T I ON GU I D E
NEW
NEW
NEW
LJ/LF/LA/VMシリーズ
www.keyence.co.jp/henni 23
■ 仕 様 ■ 仕 様
※外形寸法図はP36に掲載してます。
■ 特長・機能 ■ 特長・機能
ディスク、テープなどの回転・走行ワークから、基板やマスクなどの平面
ワークまで、対象物にレーザーを当てるだけで簡単に測定可能です。
「角度・平行度・反り」を1台で測定
高精度レーザ角度測定器
LAシリーズ
■ 高分解能 5秒
■ 測定スポット 任意可変（φ2∼9mm）
■ 角度（傾き）、振れ測定可能
高精度2次元寸法測定器
VMシリーズ
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 角度・内径測定可能
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ Excelへの直接入力可能
今まで測定しにくかった形状や寸法が測定エリアに対象物を置くだけで
簡単・高精度に計測できます。
測れなかった寸法を簡単測定
円ピッチ内径 角度R径
※ Excelは、米国マイクロソフト社の商標です。
型式
■ 特性図
※1、2 分解能・直線性は、対象物までの距離が10∼60mmまでのときの値となります。
また、測定対象物は弊社標準サンプルにて、重心モード時のデータです。
※3 重心モード・平均回数1回のとき ※4 特性図参照
0
0 50 100 150 200 250 300
φ２
ワーキングディスタンス mm
スポット径
保証特性範囲
（±０.５％ of F.S.）
理論特性範囲
（±０.５％ of F.S.）
理論特性範囲
（±１.０％ of F.S.）
理論特性範囲
（±１.５％ of F.S.）
φ５
φ９
±1000
±2000
±3000
±4000
±5000
±5400
測定範囲 秒 距離角度における直線性
※弊社標準サンプルにて重心モードの時の
データとなります。
※理論特性範囲とは保証値ではなく、
光学特性上の理論値となります。
測定範囲
分解能※１
直線性※2
サンプリング速度※3
測定可能距離※4
レーザスポット径
測定軸
光源
出力
入力
RS-232Cインターフェース
測定モード
電源
消費電流
消費電力
温度特性
使用周囲温度
使用周囲湿度
質量
コントローラ
測定部
波長
出力
クラス
アナログ出力
BCD出力
制御出力
ビデオ出力
タイミング入力
プログラム切換入力
制御入力
測定部
コントローラ
LA-2000
LA-2010
±1.5°
5″（1/720°）
±0.5％ of F.S.
300ms以下
下図グラフ参照
φ2∼φ9mm（1mmステップ可変）
X、Y、D
670nm
最大0.3mW
クラス2
2チャンネル出力 ±10V 0.5∼10mV（5段階換） 出力インピーダンス100Ω
BCD5桁 NPNオープンコレクタ20点 最大50mA（30V以下）
公差判定（HIGH、GO、LOW、OK、NG、）、アラーム、STABILITY
NTSC方式準拠
10ms以上
8プログラム切り換え（無電圧入力）
ゼロセット、ゼロリセット、タイミング、ホールドリセット
数値出力、制御入力（ボーレート9600、19200、38400bit/secまで可変）
重心、最外点、任意点、表面モニタ、振れモード
DC24V±10％（DC電源使用時）、
100-240V±10％ 50/60Hz（AC電源スタンド使用時）
1.2A
90VA以下（AC電源スタンド使用時）
±0.02％ of F.S./℃
0∼40℃
35∼85％RH（結露なきこと）
約1.0kg
約1.2kg
測定部
VM-8040
φ４０ｍｍ
±５μｍ※１
１μｍ※１
１μｍ
０．３ｍｍ
２０ｍｍ
約１秒※２
グリーンＬＥＤ透過照明
１３０万画素ＣＣＤ
無電圧入力
（有/無接点）
ＭＥＡＳＵＲＥ
ＤＡＴＡＯＵＴ
ＮＰＮオープンコレクタ
最大１００ｍＡ（４０Ｖ）
残留電圧１Ｖ以下
ＧＯ
ＢＵＳＹ
専用インターフェース
ＤＣ２４Ｖ±１０％
０．８Ａ
（ＡＣアダプタ別売り）
＋１０∼＋３５℃使用周囲温度
２０∼８０％ 結露なきこと使用周囲湿度
３．７ｋｇ
（ベースプレート含む）
型式
測定エリア
測定精度
繰り返し精度
表示分解能
最小検出体
Ｚ軸ステージ移動範囲
測定時間
測定用光源
撮像素子
制御入力
制御出力
ＰＣインターフェース
電源電圧
耐環境性
質量
測定ソフトウェア
VM-H1W型式
直線・円・円弧・中心線・結合エッジ指定
中心線・２点間直線・交点・垂線補助指定
最大１６条件エッジ/補助指定数
直線間（平均/最大/最小）・直線一点間・
２点間・直線−円接線・円接線間・
半径（平均/最大/最小）
直径（平均/最大/最小）・直線角度
測定指定
最大１６条件測定指定数
補助機能
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９５（ＯＳＲ２．０以降）、
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９８
プリインストールモデル
対応ＯＳ
ＰＣ/ＡＴ互換機、
またはＮＥＣＰＣ‐９８００シリーズ
ディスプレイ：ＳＶＧＡ（８００×６００ドット）
２５６色以上
ＣＰＵ：Ｐｅｎｔｉｕｍ１６６ＭＨｚ以上推奨・
メモリ：３２ＭＢ以上
ＨＤＤ：１０ＭＢ以上の空き容量・
ＣＤ‐ＲＯＭドライブ
ＬＡＮカード（１０ＢＡＳＥ‐Ｔ）※３
対応ＰＣ
Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｅｘｃｅｌは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｐｅｎｔｉｕｍは、米国インテル社の登録商標です。
※３ 測定部とＰＣのインターフェースは、ＬＡＮ技術を応用し
た１体１の専用通信方式です。
構内ＬＡＮとの併用はできません。当社別売りのＬＡＮ
カード（ＰＣＭＣＩＡ２.１ ＪＥＩＤＡ４.2ＰＣカードスロット用、
またはＰＣＩバス拡張スロット用）のみ動作保証しています。
※１ ±２σ、φ１０ｍｍ丸棒の直線間測定、測定エリア
φ３２ｍｍ以内、エッジウインドウ長さ１０ｍｍ以上、
Ｚ＝±３ｍｍ
※２ 測定形状、測定指定数、ＰＣ処理能力によります。
位置補正・Ｅｘｃｅｌ９７への記録・
測定条件の保存と呼び出し・校正
公差判定・各種演算・
測定単位変更（μｍ/ｍｍ）
測定ヘッド部に内蔵した「電動光学絞り機能」により、対象物の
大きさに対して最適なサイズの測定スポットに調整できます。対象物
以外の部分から反射してくる外乱光の影響をカットし、より正確な
測定結果が得られます。（特許出願中）
測定スポットサイズを変更できる「電動光学絞り機能」
16ヶ所の同時瞬間測定
１回の測定で最大１６ヶ所まで同時
に測定できます。複数の検査項
目を持つ対象物が一瞬で測定でき
（約１秒）検査時間の大幅な短縮
を実現します。
1. 35.000mm
2. 9.890mm
3. 3.710mm
4. 8.000mm
5. 13.400mm
6. 45.20
7. 30.11
8. 12.371mm
9. 18.500mm
10. 23.201mm
11. 3.071mm
12. 15.22
13. 10.05
14. 0.410mm
15. 0.580mm
16. 0.552mm
従来の
場合は
LA-2000
では
誤差が生じる 調節してピッタリ合わせることができる
LF/LA/VM/VGシリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 23
■ 仕 様■ 仕 様
■ 特長・機能
※外形寸法図はP42、43に掲載してます。
■ 特長・機能
レーザ式外径変位センサ
VGシリーズ
■ 高密度CCDラインセンサ採用
■ 分解能1μm
■ 測定エリア35mm×300mm
■ 2色LED表示採用
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
高精度測定を実現しました。
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
高精度2次元寸法測定器
VMシリーズ
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 角度・内径測定可能
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ Excelへの直接入力可能
今まで測定しにくかった形状や寸法が測定エリアに対象物を置くだけで
簡単・高精度に計測できます。
測れなかった寸法を簡単測定
円ピッチ内径 角度R径
※ Excelは、米国マイクロソフト社の商標です。
測定部
VM-8040
φ４０ｍｍ
±５μｍ※１
１μｍ※１
１μｍ
０．３ｍｍ
２０ｍｍ
約１秒※２
グリーンＬＥＤ透過照明
１３０万画素ＣＣＤ
無電圧入力
（有/無接点）
ＭＥＡＳＵＲＥ
ＤＡＴＡＯＵＴ
ＮＰＮオープンコレクタ
最大１００ｍＡ（４０Ｖ）
残留電圧１Ｖ以下
ＧＯ
ＢＵＳＹ
専用インターフェース
ＤＣ２４Ｖ±１０％
０．８Ａ
（ＡＣアダプタ別売り）
＋１０∼＋３５℃使用周囲温度
２０∼８０％ 結露なきこと使用周囲湿度
３．７ｋｇ
（ベースプレート含む）
型式
測定エリア
測定精度
繰り返し精度
表示分解能
最小検出体
Ｚ軸ステージ移動範囲
測定時間
測定用光源
撮像素子
制御入力
制御出力
ＰＣインターフェース
電源電圧
耐環境性
質量
測定ソフトウェア
VM-H1W型式
直線・円・円弧・中心線・結合エッジ指定
中心線・２点間直線・交点・垂線補助指定
最大１６条件エッジ/補助指定数
直線間（平均/最大/最小）・直線一点間・
２点間・直線−円接線・円接線間・
半径（平均/最大/最小）
直径（平均/最大/最小）・直線角度
測定指定
最大１６条件測定指定数
補助機能
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９５（ＯＳＲ２．０以降）、
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９８
プリインストールモデル
対応ＯＳ
ＰＣ/ＡＴ互換機、
またはＮＥＣＰＣ‐９８００シリーズ
ディスプレイ：ＳＶＧＡ（８００×６００ドット）
２５６色以上
ＣＰＵ：Ｐｅｎｔｉｕｍ１６６ＭＨｚ以上推奨・
メモリ：３２ＭＢ以上
ＨＤＤ：１０ＭＢ以上の空き容量・
ＣＤ‐ＲＯＭドライブ
ＬＡＮカード（１０ＢＡＳＥ‐Ｔ）※３
対応ＰＣ
Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｅｘｃｅｌは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｐｅｎｔｉｕｍは、米国インテル社の登録商標です。
※３ 測定部とＰＣのインターフェースは、ＬＡＮ技術を応用し
た１体１の専用通信方式です。
構内ＬＡＮとの併用はできません。当社別売りのＬＡＮ
カード（ＰＣＭＣＩＡ２.１ ＪＥＩＤＡ４.2ＰＣカードスロット用、
またはＰＣＩバス拡張スロット用）のみ動作保証しています。
※１ ±２σ、φ１０ｍｍ丸棒の直線間測定、測定エリア
φ３２ｍｍ以内、エッジウインドウ長さ１０ｍｍ以上、
Ｚ＝±３ｍｍ
※２ 測定形状、測定指定数、ＰＣ処理能力によります。
位置補正・Ｅｘｃｅｌ９７への記録・
測定条件の保存と呼び出し・校正
公差判定・各種演算・
測定単位変更（μｍ/ｍｍ）
16ヶ所の同時瞬間測定
１回の測定で最大１６ヶ所まで同時
に測定できます。複数の検査項
目を持つ対象物が一瞬で測定でき
（約１秒）検査時間の大幅な短縮
を実現します。
1. 35.000mm
2. 9.890mm
3. 3.710mm
4. 8.000mm
5. 13.400mm
6. 45.20
7. 30.11
8. 12.371mm
9. 18.500mm
10. 23.201mm
11. 3.071mm
12. 15.22
13. 10.05
14. 0.410mm
15. 0.580mm
16. 0.552mm
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
測定モードを選択できます。
ノーマルモード
エッジダークモード
エッジライトモード
セグメントモード
・・・・・・測定位置
※1 投受光間距離100mm、測定対象物を受光
器から50mmに設定したときの代表例です。
※2 投受光間距離を100mmに設定し、受光器
から50mmの位置でナイフエッジを用いて遮
光したときの代表例です。（Ｆ．Ｓ．＝30mmは
測定精度範囲を示しています。）
※3 スタビリティ、セルフタイミング出力の応答時
間です。
（注）米国へ輸出される場合は、ＦＤＡ規格品を用
意しておりますので別途お問い合わせください。
センサヘッド
VG-035型式
可視光半導体レーザ
波長670nm（赤色）
最大出力50μＷ クラス1
光源
35mm検出範囲
0∼300mm設定距離
5000bitＣＣＤ画素数
1.3ms走査時間
φ0.5mm不透明体最小検出物体※1
0.01％ of F.S./℃
（F.S.=30mm）
温度特性※2
白熱灯1000Rｘ以下、
蛍光灯8000Rｘ以下
使用周囲照度※2
0∼＋40℃使用周囲温度
35∼85％ＲＨ
（結露しないこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
IP60保護構造
アルミダイキャスト材質
投光器：360g 受光器：320g
（コード含む）
質量
耐
環
境
性
コントローラ
VG-300 SO (5363)VG-300型式
3μm※55μm※4繰り返し精度※2
±0.1％ of F.S.（F.S.=30mm）直線性※2
1μm5μm最小表示単位
±7Ｖ出力電圧
100Ω
出力
インピーダンス
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
上下限出力（ＨＩ、ＧＯ、ＬＯ）×8ｃｈ設定
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
制御出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
セルフタイミング
出力
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下Ｎ．Ｃ．
スタビリティ出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間※3
RS-232Cデジタル入出力
10キーキー入力
外部公差セレクト入力（ＥＸＴ１、ＥＸＴ２、ＥＸＴ３）
ホールド入力、オートゼロ入力、リセット入力
オートゲイン入力、レーザリモート入力
端子入力
0.005％ of F.S./℃（F.S.=30mm）温度特性※2
ＤＣ24Ｖ±10％ リップル10％（Ｐ−Ｐ）以下電源電圧
３３０ｍＡ以下消費電流
0∼＋50℃使用周囲温度
35∼85％RH（結露しないこと）使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
ポリカーボネート材質
約800g質量
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
耐
環
境
性
制
御
出
力
モ
ニ
タ
出
力
定
格
LF/LA/VM/VGシリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 23
■ 仕 様■ 仕 様
■ 特長・機能
※外形寸法図はP42、43に掲載してます。
■ 特長・機能
レーザ式外径変位センサ
VGシリーズ
■ 高密度CCDラインセンサ採用
■ 分解能1μm
■ 測定エリア35mm×300mm
■ 2色LED表示採用
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
高精度測定を実現しました。
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
高精度2次元寸法測定器
VMシリーズ
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 角度・内径測定可能
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ Excelへの直接入力可能
今まで測定しにくかった形状や寸法が測定エリアに対象物を置くだけで
簡単・高精度に計測できます。
測れなかった寸法を簡単測定
円ピッチ内径 角度R径
※ Excelは、米国マイクロソフト社の商標です。
測定部
VM-8040
φ４０ｍｍ
±５μｍ※１
１μｍ※１
１μｍ
０．３ｍｍ
２０ｍｍ
約１秒※２
グリーンＬＥＤ透過照明
１３０万画素ＣＣＤ
無電圧入力
（有/無接点）
ＭＥＡＳＵＲＥ
ＤＡＴＡＯＵＴ
ＮＰＮオープンコレクタ
最大１００ｍＡ（４０Ｖ）
残留電圧１Ｖ以下
ＧＯ
ＢＵＳＹ
専用インターフェース
ＤＣ２４Ｖ±１０％
０．８Ａ
（ＡＣアダプタ別売り）
＋１０∼＋３５℃使用周囲温度
２０∼８０％ 結露なきこと使用周囲湿度
３．７ｋｇ
（ベースプレート含む）
型式
測定エリア
測定精度
繰り返し精度
表示分解能
最小検出体
Ｚ軸ステージ移動範囲
測定時間
測定用光源
撮像素子
制御入力
制御出力
ＰＣインターフェース
電源電圧
耐環境性
質量
測定ソフトウェア
VM-H1W型式
直線・円・円弧・中心線・結合エッジ指定
中心線・２点間直線・交点・垂線補助指定
最大１６条件エッジ/補助指定数
直線間（平均/最大/最小）・直線一点間・
２点間・直線−円接線・円接線間・
半径（平均/最大/最小）
直径（平均/最大/最小）・直線角度
測定指定
最大１６条件測定指定数
補助機能
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９５（ＯＳＲ２．０以降）、
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９８
プリインストールモデル
対応ＯＳ
ＰＣ/ＡＴ互換機、
またはＮＥＣＰＣ‐９８００シリーズ
ディスプレイ：ＳＶＧＡ（８００×６００ドット）
２５６色以上
ＣＰＵ：Ｐｅｎｔｉｕｍ１６６ＭＨｚ以上推奨・
メモリ：３２ＭＢ以上
ＨＤＤ：１０ＭＢ以上の空き容量・
ＣＤ‐ＲＯＭドライブ
ＬＡＮカード（１０ＢＡＳＥ‐Ｔ）※３
対応ＰＣ
Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｅｘｃｅｌは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｐｅｎｔｉｕｍは、米国インテル社の登録商標です。
※３ 測定部とＰＣのインターフェースは、ＬＡＮ技術を応用し
た１体１の専用通信方式です。
構内ＬＡＮとの併用はできません。当社別売りのＬＡＮ
カード（ＰＣＭＣＩＡ２.１ ＪＥＩＤＡ４.2ＰＣカードスロット用、
またはＰＣＩバス拡張スロット用）のみ動作保証しています。
※１ ±２σ、φ１０ｍｍ丸棒の直線間測定、測定エリア
φ３２ｍｍ以内、エッジウインドウ長さ１０ｍｍ以上、
Ｚ＝±３ｍｍ
※２ 測定形状、測定指定数、ＰＣ処理能力によります。
位置補正・Ｅｘｃｅｌ９７への記録・
測定条件の保存と呼び出し・校正
公差判定・各種演算・
測定単位変更（μｍ/ｍｍ）
16ヶ所の同時瞬間測定
１回の測定で最大１６ヶ所まで同時
に測定できます。複数の検査項
目を持つ対象物が一瞬で測定でき
（約１秒）検査時間の大幅な短縮
を実現します。
1. 35.000mm
2. 9.890mm
3. 3.710mm
4. 8.000mm
5. 13.400mm
6. 45.20
7. 30.11
8. 12.371mm
9. 18.500mm
10. 23.201mm
11. 3.071mm
12. 15.22
13. 10.05
14. 0.410mm
15. 0.580mm
16. 0.552mm
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
測定モードを選択できます。
ノーマルモード
エッジダークモード
エッジライトモード
セグメントモード
・・・・・・測定位置
※1 投受光間距離100mm、測定対象物を受光
器から50mmに設定したときの代表例です。
※2 投受光間距離を100mmに設定し、受光器
から50mmの位置でナイフエッジを用いて遮
光したときの代表例です。（Ｆ．Ｓ．＝30mmは
測定精度範囲を示しています。）
※3 スタビリティ、セルフタイミング出力の応答時
間です。
（注）米国へ輸出される場合は、ＦＤＡ規格品を用
意しておりますので別途お問い合わせください。
センサヘッド
VG-035型式
可視光半導体レーザ
波長670nm（赤色）
最大出力50μＷ クラス1
光源
35mm検出範囲
0∼300mm設定距離
5000bitＣＣＤ画素数
1.3ms走査時間
φ0.5mm不透明体最小検出物体※1
0.01％ of F.S./℃
（F.S.=30mm）
温度特性※2
白熱灯1000Rｘ以下、
蛍光灯8000Rｘ以下
使用周囲照度※2
0∼＋40℃使用周囲温度
35∼85％ＲＨ
（結露しないこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
IP60保護構造
アルミダイキャスト材質
投光器：360g 受光器：320g
（コード含む）
質量
耐
環
境
性
コントローラ
VG-300 SO (5363)VG-300型式
3μm※55μm※4繰り返し精度※2
±0.1％ of F.S.（F.S.=30mm）直線性※2
1μm5μm最小表示単位
±7Ｖ出力電圧
100Ω
出力
インピーダンス
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
上下限出力（ＨＩ、ＧＯ、ＬＯ）×8ｃｈ設定
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
制御出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
セルフタイミング
出力
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下Ｎ．Ｃ．
スタビリティ出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間※3
RS-232Cデジタル入出力
10キーキー入力
外部公差セレクト入力（ＥＸＴ１、ＥＸＴ２、ＥＸＴ３）
ホールド入力、オートゼロ入力、リセット入力
オートゲイン入力、レーザリモート入力
端子入力
0.005％ of F.S./℃（F.S.=30mm）温度特性※2
ＤＣ24Ｖ±10％ リップル10％（Ｐ−Ｐ）以下電源電圧
３３０ｍＡ以下消費電流
0∼＋50℃使用周囲温度
35∼85％RH（結露しないこと）使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
ポリカーボネート材質
約800g質量
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
耐
環
境
性
制
御
出
力
モ
ニ
タ
出
力
定
格
LF/LA/VM/VGシリーズ
レ
ー
ザ
非
接
触
式
www.keyence.co.jp/henni 23
■ 仕 様■ 仕 様
■ 特長・機能
※外形寸法図はP42、43に掲載してます。
■ 特長・機能
レーザ式外径変位センサ
VGシリーズ
■ 高密度CCDラインセンサ採用
■ 分解能1μm
■ 測定エリア35mm×300mm
■ 2色LED表示採用
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
高精度測定を実現しました。
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
高精度2次元寸法測定器
VMシリーズ
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 角度・内径測定可能
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ Excelへの直接入力可能
今まで測定しにくかった形状や寸法が測定エリアに対象物を置くだけで
簡単・高精度に計測できます。
測れなかった寸法を簡単測定
円ピッチ内径 角度R径
※ Excelは、米国マイクロソフト社の商標です。
測定部
VM-8040
φ４０ｍｍ
±５μｍ※１
１μｍ※１
１μｍ
０．３ｍｍ
２０ｍｍ
約１秒※２
グリーンＬＥＤ透過照明
１３０万画素ＣＣＤ
無電圧入力
（有/無接点）
ＭＥＡＳＵＲＥ
ＤＡＴＡＯＵＴ
ＮＰＮオープンコレクタ
最大１００ｍＡ（４０Ｖ）
残留電圧１Ｖ以下
ＧＯ
ＢＵＳＹ
専用インターフェース
ＤＣ２４Ｖ±１０％
０．８Ａ
（ＡＣアダプタ別売り）
＋１０∼＋３５℃使用周囲温度
２０∼８０％ 結露なきこと使用周囲湿度
３．７ｋｇ
（ベースプレート含む）
型式
測定エリア
測定精度
繰り返し精度
表示分解能
最小検出体
Ｚ軸ステージ移動範囲
測定時間
測定用光源
撮像素子
制御入力
制御出力
ＰＣインターフェース
電源電圧
耐環境性
質量
測定ソフトウェア
VM-H1W型式
直線・円・円弧・中心線・結合エッジ指定
中心線・２点間直線・交点・垂線補助指定
最大１６条件エッジ/補助指定数
直線間（平均/最大/最小）・直線一点間・
２点間・直線−円接線・円接線間・
半径（平均/最大/最小）
直径（平均/最大/最小）・直線角度
測定指定
最大１６条件測定指定数
補助機能
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９５（ＯＳＲ２．０以降）、
日本語Ｗｉｎｄｏｗｓ９８
プリインストールモデル
対応ＯＳ
ＰＣ/ＡＴ互換機、
またはＮＥＣＰＣ‐９８００シリーズ
ディスプレイ：ＳＶＧＡ（８００×６００ドット）
２５６色以上
ＣＰＵ：Ｐｅｎｔｉｕｍ１６６ＭＨｚ以上推奨・
メモリ：３２ＭＢ以上
ＨＤＤ：１０ＭＢ以上の空き容量・
ＣＤ‐ＲＯＭドライブ
ＬＡＮカード（１０ＢＡＳＥ‐Ｔ）※３
対応ＰＣ
Ｗｉｎｄｏｗｓは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｅｘｃｅｌは、米国マイクロソフト社の商標です。
Ｐｅｎｔｉｕｍは、米国インテル社の登録商標です。
※３ 測定部とＰＣのインターフェースは、ＬＡＮ技術を応用し
た１体１の専用通信方式です。
構内ＬＡＮとの併用はできません。当社別売りのＬＡＮ
カード（ＰＣＭＣＩＡ２.１ ＪＥＩＤＡ４.2ＰＣカードスロット用、
またはＰＣＩバス拡張スロット用）のみ動作保証しています。
※１ ±２σ、φ１０ｍｍ丸棒の直線間測定、測定エリア
φ３２ｍｍ以内、エッジウインドウ長さ１０ｍｍ以上、
Ｚ＝±３ｍｍ
※２ 測定形状、測定指定数、ＰＣ処理能力によります。
位置補正・Ｅｘｃｅｌ９７への記録・
測定条件の保存と呼び出し・校正
公差判定・各種演算・
測定単位変更（μｍ/ｍｍ）
16ヶ所の同時瞬間測定
１回の測定で最大１６ヶ所まで同時
に測定できます。複数の検査項
目を持つ対象物が一瞬で測定でき
（約１秒）検査時間の大幅な短縮
を実現します。
1. 35.000mm
2. 9.890mm
3. 3.710mm
4. 8.000mm
5. 13.400mm
6. 45.20
7. 30.11
8. 12.371mm
9. 18.500mm
10. 23.201mm
11. 3.071mm
12. 15.22
13. 10.05
14. 0.410mm
15. 0.580mm
16. 0.552mm
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
測定モードを選択できます。
ノーマルモード
エッジダークモード
エッジライトモード
セグメントモード
・・・・・・測定位置
※1 投受光間距離100mm、測定対象物を受光
器から50mmに設定したときの代表例です。
※2 投受光間距離を100mmに設定し、受光器
から50mmの位置でナイフエッジを用いて遮
光したときの代表例です。（Ｆ．Ｓ．＝30mmは
測定精度範囲を示しています。）
※3 スタビリティ、セルフタイミング出力の応答時
間です。
（注）米国へ輸出される場合は、ＦＤＡ規格品を用
意しておりますので別途お問い合わせください。
センサヘッド
VG-035型式
可視光半導体レーザ
波長670nm（赤色）
最大出力50μＷ クラス1
光源
35mm検出範囲
0∼300mm設定距離
5000bitＣＣＤ画素数
1.3ms走査時間
φ0.5mm不透明体最小検出物体※1
0.01％ of F.S./℃
（F.S.=30mm）
温度特性※2
白熱灯1000Rｘ以下、
蛍光灯8000Rｘ以下
使用周囲照度※2
0∼＋40℃使用周囲温度
35∼85％ＲＨ
（結露しないこと）
使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
IP60保護構造
アルミダイキャスト材質
投光器：360g 受光器：320g
（コード含む）
質量
耐
環
境
性
コントローラ
VG-300 SO (5363)VG-300型式
3μm※55μm※4繰り返し精度※2
±0.1％ of F.S.（F.S.=30mm）直線性※2
1μm5μm最小表示単位
±7Ｖ出力電圧
100Ω
出力
インピーダンス
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
上下限出力（ＨＩ、ＧＯ、ＬＯ）×8ｃｈ設定
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
制御出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下
セルフタイミング
出力
ＮＰＮオープンコレクタ
最大100ｍＡ 40Ｖ以下Ｎ．Ｃ．
スタビリティ出力
3.9ms（平均回数1回時）応答時間※3
RS-232Cデジタル入出力
10キーキー入力
外部公差セレクト入力（ＥＸＴ１、ＥＸＴ２、ＥＸＴ３）
ホールド入力、オートゼロ入力、リセット入力
オートゲイン入力、レーザリモート入力
端子入力
0.005％ of F.S./℃（F.S.=30mm）温度特性※2
ＤＣ24Ｖ±10％ リップル10％（Ｐ−Ｐ）以下電源電圧
３３０ｍＡ以下消費電流
0∼＋50℃使用周囲温度
35∼85％RH（結露しないこと）使用周囲湿度
10∼55Hz複振幅1.5mm
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向各2時間
耐振動
ポリカーボネート材質
約800g質量
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
耐
環
境
性
制
御
出
力
モ
ニ
タ
出
力
定
格
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