レ
ー
ザ
非
接
SE L E C T I ON GU I D E 触
式
P8
レーザ非接触式
P8
高速 高精度CCDレーザ変位計
・ LK-G
NEW [ 繰返し精度 0.01μm∼、
: 測定範囲 7.2∼1000mm ]
:
渦
P12
ブルーレーザフ ーカス変位計
ォ LT-9500V [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 0.9∼1.1mm ]
:
NEW
電
流
P14
ダブルスキャン高精度レーザ測定器 [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 5.7∼31mm ]
:
LT-9000
非
P16
高精度 形状測定システム [ 分解能 0.1μm、
: 測定範囲 0∼100mm ]
:
KS-1100 接
触
P18
高速 高精度デジタル寸法測定器
・ [ 繰返し精度 ±0.06μm∼、
: 測定範囲 0∼65mm]
:
LS-7000
NEW
式
P24
P20
CCDレーザ変位センサ LK [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 6.1∼750mm ]
:
P21
レーザ変位センサ LB [ 分解能 2μm∼、
: 測定範囲 30∼400mm ]
:
P22
長距離レーザ変位測定器 LF [ 分解能 0.1mm、
: 測定範囲 0.5∼25m ]
:
差
動
P22
高精度レーザ角度測定器 LA [ 分解能 1/720°測定範囲 −1.5∼1.5°
: 、 : ]
ト
ラ
P23
高精度2次元寸法測定器 VM [ 分解能 1μm、
: 測定範囲 φ40mm ]
:
ン
ス
P23
レーザ式 外径変位センサ VG [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0.5∼35mm ]
: 接
触
式
渦電流 非接触式 P28
P24
高速 高精度デジタル変位センサ
・ EX-V [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
P26
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500 [ 分解能 0.3μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
超
音
P27
高速 高精度 渦電流式 変位センサ
・ EX-200 [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
波
P27
渦電流式 変位センサ AS [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
非
接
触
差動トランス接触式 式
P32
P28
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±15mm ]
:
P30
高精度 接触式 変位センサ AT2 [ 分解能 0.16μm∼、
: 測定範囲 ±0.4∼±1.5mm ]
:
P31
接触式 変位センサ AT [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±5mm ]
:
専
用
機
超音波 非接触式
・ 表
P32
超音波式 変位センサ UD-300 [ 分解能 1mm∼、
: 測定範囲 6∼1000cm ]
:
示
器
P33
高精度 超音波式 変位センサ UD-500 [ 分解能 0.1mm∼、
: 測定範囲 80∼300mm ]
:
P34
専用機 表示器
・ ロードセルインジケータ P34
JC
P34
高精度 振動センサ GA
P35
高精度 位置決めセンサ EG
P35
光学式 位置決めセンサ PT
P36
超小型 小スポッ
・ ト赤外放射温度計 IT2-50
P36
金属板2枚送り検出センサ DD
P37
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転 速度計
・ P37
RX
P38
グラフィ ク アナログコン
ッ トローラ RJ
P38
アナログコントローラ RD
P39
多機能デジタルメ リ
ータ レー RV3
P39
小型デジタルメ リ
ータ レー RV10
外径寸法図 P40 テクニカルガイ P48
ド
www.keyence.co.jp/henni 3
レ
ー
ザ
非
接
SE L E C T I ON GU I D E 触
式
P8
レーザ非接触式
P8
高速 高精度CCDレーザ変位計
・ LK-G
NEW [ 繰返し精度 0.01μm∼、
: 測定範囲 7.2∼1000mm ]
:
渦
P12
ブルーレーザフ ーカス変位計
ォ LT-9500V [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 0.9∼1.1mm ]
:
NEW
電
流
P14
ダブルスキャン高精度レーザ測定器 [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 5.7∼31mm ]
:
LT-9000
非
P16
高精度 形状測定システム [ 分解能 0.1μm、
: 測定範囲 0∼100mm ]
:
KS-1100 接
触
P18
高速 高精度デジタル寸法測定器
・ [ 繰返し精度 ±0.06μm∼、
: 測定範囲 0∼65mm]
:
LS-7000
NEW
式
P24
P20
CCDレーザ変位センサ LK [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 6.1∼750mm ]
:
P21
レーザ変位センサ LB [ 分解能 2μm∼、
: 測定範囲 30∼400mm ]
:
P22
長距離レーザ変位測定器 LF [ 分解能 0.1mm、
: 測定範囲 0.5∼25m ]
:
差
動
P22
高精度レーザ角度測定器 LA [ 分解能 1/720°測定範囲 −1.5∼1.5°
: 、 : ]
ト
ラ
P23
高精度2次元寸法測定器 VM [ 分解能 1μm、
: 測定範囲 φ40mm ]
:
ン
ス
P23
レーザ式 外径変位センサ VG [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0.5∼35mm ]
: 接
触
式
渦電流 非接触式 P28
P24
高速 高精度デジタル変位センサ
・ EX-V [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
P26
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500 [ 分解能 0.3μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
超
音
P27
高速 高精度 渦電流式 変位センサ
・ EX-200 [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
波
P27
渦電流式 変位センサ AS [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
非
接
触
差動トランス接触式 式
P32
P28
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±15mm ]
:
P30
高精度 接触式 変位センサ AT2 [ 分解能 0.16μm∼、
: 測定範囲 ±0.4∼±1.5mm ]
:
P31
接触式 変位センサ AT [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±5mm ]
:
専
用
機
超音波 非接触式
・ 表
P32
超音波式 変位センサ UD-300 [ 分解能 1mm∼、
: 測定範囲 6∼1000cm ]
:
示
器
P33
高精度 超音波式 変位センサ UD-500 [ 分解能 0.1mm∼、
: 測定範囲 80∼300mm ]
:
P34
専用機 表示器
・ ロードセルインジケータ P34
JC
P34
高精度 振動センサ GA
P35
高精度 位置決めセンサ EG
P35
光学式 位置決めセンサ PT
P36
超小型 小スポッ
・ ト赤外放射温度計 IT2-50
P36
金属板2枚送り検出センサ DD
P37
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転 速度計
・ P37
RX
P38
グラフィ ク アナログコン
ッ トローラ RJ
P38
アナログコントローラ RD
P39
多機能デジタルメ リ
ータ レー RV3
P39
小型デジタルメ リ
ータ レー RV10
外径寸法図 P40 テクニカルガイ P48
ド
www.keyence.co.jp/henni 3
レ
ー
ザ
非
接
SE L E C T I ON GU I D E 触
式
P8
レーザ非接触式
P8
高速 高精度CCDレーザ変位計
・ LK-G
NEW [ 繰返し精度 0.01μm∼、
: 測定範囲 7.2∼1000mm ]
:
渦
P12
ブルーレーザフ ーカス変位計
ォ LT-9500V [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 0.9∼1.1mm ]
:
NEW
電
流
P14
ダブルスキャン高精度レーザ測定器 [ 分解能 0.01μm、
: 測定範囲 5.7∼31mm ]
:
LT-9000
非
P16
高精度 形状測定システム [ 分解能 0.1μm、
: 測定範囲 0∼100mm ]
:
KS-1100 接
触
P18
高速 高精度デジタル寸法測定器
・ [ 繰返し精度 ±0.06μm∼、
: 測定範囲 0∼65mm]
:
LS-7000
NEW
式
P24
P20
CCDレーザ変位センサ LK [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 6.1∼750mm ]
:
P21
レーザ変位センサ LB [ 分解能 2μm∼、
: 測定範囲 30∼400mm ]
:
P22
長距離レーザ変位測定器 LF [ 分解能 0.1mm、
: 測定範囲 0.5∼25m ]
:
差
動
P22
高精度レーザ角度測定器 LA [ 分解能 1/720°測定範囲 −1.5∼1.5°
: 、 : ]
ト
ラ
P23
高精度2次元寸法測定器 VM [ 分解能 1μm、
: 測定範囲 φ40mm ]
:
ン
ス
P23
レーザ式 外径変位センサ VG [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0.5∼35mm ]
: 接
触
式
渦電流 非接触式 P28
P24
高速 高精度デジタル変位センサ
・ EX-V [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
P26
オールメタル式 渦電流式 変位センサ EX-500 [ 分解能 0.3μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
超
音
P27
高速 高精度 渦電流式 変位センサ
・ EX-200 [ 分解能 0.4μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
波
P27
渦電流式 変位センサ AS [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 0∼10mm ]
:
非
接
触
差動トランス接触式 式
P32
P28
高精度 接触式デジタル変位センサ AT-V [ 分解能 0.1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±15mm ]
:
P30
高精度 接触式 変位センサ AT2 [ 分解能 0.16μm∼、
: 測定範囲 ±0.4∼±1.5mm ]
:
P31
接触式 変位センサ AT [ 分解能 1μm∼、
: 測定範囲 ±0.5∼±5mm ]
:
専
用
機
超音波 非接触式
・ 表
P32
超音波式 変位センサ UD-300 [ 分解能 1mm∼、
: 測定範囲 6∼1000cm ]
:
示
器
P33
高精度 超音波式 変位センサ UD-500 [ 分解能 0.1mm∼、
: 測定範囲 80∼300mm ]
:
P34
専用機 表示器
・ ロードセルインジケータ P34
JC
P34
高精度 振動センサ GA
P35
高精度 位置決めセンサ EG
P35
光学式 位置決めセンサ PT
P36
超小型 小スポッ
・ ト赤外放射温度計 IT2-50
P36
金属板2枚送り検出センサ DD
P37
下死点 検出センサ PL
マルチタイプ回転 速度計
・ P37
RX
P38
グラフィ ク アナログコン
ッ トローラ RJ
P38
アナログコントローラ RD
P39
多機能デジタルメ リ
ータ レー RV3
P39
小型デジタルメ リ
ータ レー RV10
外径寸法図 P40 テクニカルガイ P48
ド
www.keyence.co.jp/henni 3
LJ / LF / LA / VM シリーズ
高精度レーザ角度測定器 高精度2次元寸法測定器
LAシリ VMシリ
ーズ ーズ
■ 高分解能 5 秒
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 測定スポッ 任意可変
ト (φ2∼ 9mm)
■ 角度 内径測定可能
・■ 角度(傾き) 振れ測定可能
、
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ Excelへの直接入力可能
※ Excelは、米国マ クロソフ
イ ト社の商標です。
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
「角度 平行度 反り」
・
・ を1台で測定 測れなかった寸法を簡単測定
ディ ク、
ス テープなどの回転 走行ワークか 基板やマス
・ ら、 クなどの平面 今まで測定しに かった形状や寸法が測定エ
く リアに対象物を置くだけで
ワークまで、対象物にレーザーを当てるだけで簡単に測定可能です。 簡単 高精度に計測できます。
・
測定スポ ト ズを変更でき 「電動光学絞り機能」
ッ サイ る
測 定ヘッド部に内 蔵した「電 動 光 学 絞り機 能」により、 象 物の
対
内径 円ピ チ
ッ R径 角度
大きさに対して最適なサイズの測定スポッ トに調整できます。 対象物
以外の部分から反射してくる外乱光の影響をカッ トし、より正確な
16ヶ所の同時瞬間測定
測定結果が得られます。 (特許出願中)
1回の測定で最大1 ヶ所まで同時
6 1. 35.000mm 9. 18.500mm
従来の LA-2000 2. 9.890mm 10. 23.201mm
場合は では に測 定できます。 数の検 査 項
複 3. 3.710mm 11. 3.071mm
4. 8.000mm 12. 15.22
目を持つ対象物が一瞬で測定でき 5. 13.400mm 13. 10.05
6. 45.20 14. 0.410mm
(約1秒)検査時間の大幅な短縮 7. 30.11 15. 0.580mm
8. 12.371mm 16. 0.552mm
を実現します。
誤差が生じる 調節してピ タ
ッ リ合わせることができる
■ 仕 様
■ 仕 様
測定部 測定ソフ ェア
トウ
型式 型式
VM-8040 VM-H1W
コ トローラ
ン LA-2000
型式 測定部 LA-2010 測定エリア φ0
4 mm エ ジ指定
ッ 直線 円 円弧 中心線 結合
・・・
・ ±1.5°
測定範囲 測定精度 ± μ ※1
5m 補助指定 中心線 2
・ 点間直線 交点 垂線
・・ 5″1/720°
( )
分解能※1 1 m※1
μ
繰り返し精度 最大1 条件
6
エ ジ/補助指定数
ッ
直線性※2 ±0.5% of F.S. 1m
μ
表示分解能 直線間(平均/最大/最小) 直線一点間
・
・ ング速度※3 300ms以下
サンプリ 2点間 直線−円接線 円接線間
・
・
・ 03
.mm
最小検出体 測定指定
測定可能距離※4 下図グラフ参照 半径(平均/最大/最小)
2 mm
0
Z軸ステージ移動範囲
レーザスポ ト径
ッ 直径(平均/最大/最小) 直線角度
・ φφ2∼ 9mm(1mmステ プ可変)
ッ
測定時間 約1 ※2
秒
測定軸 X、 D
Y、 最大1 条件
6
測定指定数
測定用光源 グ ーン E
リ L D透過照明
波長 670nm
位置補正 E cl7
・ x e9 への記録・
撮像素子 10
3 万画素C D
C
光源 最大0.3mW
出力 測定条件の保存と呼び出し 校正
・ 補助機能
クラス クラス2 M A UE
ESR 無電圧入力 公差判定 各種演算
・
・ 制御入力
(有/無接点) 測定単位変更 m/m
(μ m)
2チャンネル出力 ±10V 0.5∼10mV (5段階換) 出力イ ンピーダンス100Ω
アナログ出力 DT OT
AA U
BCD5桁 NPNオープンコ レクタ20点 最大50mA (30V以下)
BCD出力 GO NN
P オープンコ レクタ 日本語W n o s 5 S 20
id w 9(O R .以降)、
出力 制御出力 公差判定 (HIGH、 GO、LOW、 OK、 NG、 、
)アラーム、 STABILITY 制御出力 対応OS
最大1 0 A 0
0 m (4 V) 日本語W n o s 8
id w 9
BS
UY
プリ ンス
イ トールモデル
ビデオ出力 NTSC方式準拠 残留電圧1 V以下
Pイ
C ンターフェース
タミ
イ ング入力 10ms以上 専用イ ンターフェース P T互換機、
C/A
または E P ‐ 8 0 リ
N C C 9 0 シ ーズ
入力 8プログラム切り換え (無電圧入力) D 2 V± 0
C4 1 %
プログラム切換入力
ディスプレイ S G ( 0 × 0 ド ト)
: V A 80 60 ッ
08
.A
電源電圧
制御入力 ゼロセ ト、 リ ッ タ ミ
ッ ゼロ セ ト、 イ ング、 ホール リ ッ
ド セト
26
5 色以上
(A アダプタ別売り)
C
RS-232Cインターフ ース
ェ 数値出力、 制御入力 (ボー ト9600、
レー 19200、38400bit/secまで可変) 対応 C
P C UP n u 1 6 z
P : e t m 6 MH 以上推奨
i
・ 使用周囲温度 +1 ∼+ 5
0 3℃
測定モー ド 重心、 最外点、 任意点、 表面モニタ、 振れモー ド メ リ3 M
モ : 2 B以上
耐環境性
使用周囲湿度 2 ∼ 0 結露なきこ
0 8% と H D1 M
D : 0 B以上の空き容量
・ DC24V±10% (DC電源使用時) 、
電源 C ‐ OM
D R ドライ ブ
37 g
.k
100-240V±10% 50/60Hz AC電源スタ ド使用時)
( ン
質量 L N ド 0 A E T) 3
A カー (1 B S ‐ ※
(ベースプレー ト含む)
消費電流 1.2A
消費電力 90VA以下 (AC電源スタ ド使用時)
ン ※1 ± σ φ 0
2 、1 mm丸棒の直線間測定、 測定エ リア Wn o s 米国マイ
id w は、 クロソフト社の商標です。
φ2
3 mm以内、 ッ
エ ジウイ ドウ長さ 0
ン 1 mm以上、
温度特性 ±0.02% of F.S./℃ E cl 米国マイ
x eは、 クロソフト社の商標です。
Z3
=± mm Pnu
e t mは、
i 米国インテル社の登録商標です。
0∼40℃
使用周囲温度
※ 測定形状、
2 測定指定数、C処理能力によ ます。
P り ※3 測定部と Cのイ
P ンターフェースは、A L N技術を応用し
使用周囲湿度 35∼85%RH (結露なきこ と)
た 体1
1 の専用通信方式です。
約1.0kg
測定部
質量 構内 A との併用はできません。
LN 当社別売りの A
LN
約1.2kg
コ トローラ
ン
カー (P
ド CMCA . JI A .2 C ドスロ ト用、
I 21 ED 4 P カー ッ
※1、 分解能 直線性は、
2
・ 対象物までの距離が10∼60mmまでのときの値とな ます。
り または C バス拡張スロ ト用)
PI ッ のみ動作保証しています。
また、測定対象物は弊社標準サンプルにて、 重心モード時のデータです。
※3 重心モー
・ド 平均回数1回のとき ※4 特性図参照
■ 特性図 測定範囲 秒 距離角度における直線性
±5400
ドの時の ±5000
※弊社標準サンプルにて重心モー 理論特性範囲
(±1.5% of F.S.)
データ り
とな ます。 ±4000
保証特性範囲
※理論特性範囲とは保証値ではな 、
く φ2
(± . % of F.S.)
05
±3000 φ5
光学特性上の理論値とな ます。
り 理論特性範囲
φ9
(± . % of F.S.)
10
±2000
理論特性範囲
(± . % of F.S.)
05
±1000
スポ ト径
ッ
0
0 50 100 150 200 250 300
ワーキングディ ンス mm
スタ
www.keyence.co.jp/henni 23
※外形寸法図はP36に掲載してます。
レ
ー
高精度2次元寸法測定器 レーザ式 外径変位センサ ザ
非
VMシリ VGシリ
ーズ ーズ 接
触
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 高密度CCDラインセンサ採用 式
■ 角度 内径測定可能
・
■ 分 解能1μm
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ 測 定エリア35mm×300mm
LF / LA / VM / VG シリーズ
■ E xcelへの直接入力可能
■ 2色LED表示採用
※ Excelは、米国マ クロソフ
イ ト社の商標です。
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
測れなかった寸法を簡単測定
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
今まで測定しに かった形状や寸法が測定エ
く リアに対象物を置くだけで
高精度測定を実現しま した。
簡単 高精度に計測できます。
・
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
内径 円ピ チ
ッ R径 角度
測定モー を選択できます。
ド
エッジライトモード
ノーマルモード
16ヶ所の同時瞬間測定
1回の測定で最大1 ヶ所まで同時
6 1. 35.000mm 9. 18.500mm
2. 9.890mm 10. 23.201mm
に測 定できます。 数の検 査 項
複 3. 3.710mm 11. 3.071mm
セグメ トモー
ン ド
エッジダークモード
4. 8.000mm 12. 15.22
目を持つ対象物が一瞬で測定でき 5. 13.400mm 13. 10.05
6. 45.20 14. 0.410mm
(約1秒)検査時間の大幅な短縮 7. 30.11 15. 0.580mm
8. 12.371mm 16. 0.552mm
を実現します。
・・・ 測定位置
・・・
■ 仕 様
■ 仕 様
測定部 測定ソフ ェア
トウ センサヘッド コントローラ
VG-300 SO (5363)
型式 型式
VG-035 VG-300
型式 型式
VM-8040 VM-H1W
繰り返し精度※2 5μm※4 3μm※5
測定エ ア
リ φ0 m
4m エ ジ指定
ッ 直線 円 円弧 中心線 結合
・・・
・ 可視光半導体レーザ
光源 波長670nm
(赤色) 直線性※2 ±0.1% of F.S.
(F.S.=30mm)
測定精度 ± μ ※1
5m 補助指定 中心線 2
・ 点間直線 交点 垂線
・・ 最大出力50μW クラス1
最小表示単位 5μm 1μm
1 m※1
μ
繰り返し精度 最大1 条件
6
エ ジ/補助指定数
ッ
検出範囲 35mm
1m
μ モ 出力電圧 ±7V
表示分解能 直線間(平均/最大/最小) 直線一点間
・
・ 設定距離 0∼300mm ニ 出力
2点間 直線−円接線 円接線間
・
・
・ 03 m
.m
最小検出体 測定指定 タ 100Ω
半径(平均/最大/最小) C D画素数
C 5000bit 出イ ンピーダンス
2m
0m
Z軸ステージ移動範囲
直径(平均/最大/最小) 直線角度
・ 力
走査時間 1.3ms 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
測定時間 約 秒※2
1
最大1 条件
6
測定指定数 最小検出物体※1 φ0.5mm不透明体 設定 上下限出力 IG L ×8 h
(H 、 O、O) c
測定用光源 グ ーン E
リ L D透過照明
制
位置補正 E cl7
・ x e9 への記録・ 0.01% of F.S./℃ NN
P オープンコ レクタ
撮像素子 10
3 万画素C D
C 御 制御出力
温度特性※2
測定条件の保存と呼び出し 校正
・ (F.S.=30mm) 出
補助機能 最大100mA 40V以下
M A UE
ESR 無電圧入力 公差判定 各種演算
・
・ 力
制御入力 白熱灯1000R 以下、
x 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
(有/無接点) 測定単位変更 m/mm)
(μ
DT OT
AA U 使用周囲照度※2
蛍光灯8000R 以下
x
セルフタイ ング
ミ NN
P オープンコ レクタ
GO NN
P オープンコ レクタ 日本語W n o s 5 S 20
id w 9(O R .以降)、
使用周囲温度 0∼+40℃ 出力 最大100mA 40V以下
制御出力 対応OS
最大1 0 A 0
0 m (4 V) 日本語W n o s 8
id w 9 耐
BS
UY
プリ ンス
イ トールモデル
残留電圧1 V以下 35∼85% H
R
環 使用周囲湿度 NN
P オープンコ レクタ
スタ リティ
ビ 出力
境 (結露しないこ と)
PイC ンターフ ース
ェ 専用イ ンターフェース P T互換機、
C/A 最大100mA 40V以下N.C.
性
または E P ‐ 8 0 リ
N C C 9 0 シ ーズ
D 2 V± 0
C4 1 %
応答時間※3
10∼55Hz複振幅1.5mm 3.9ms 平均回数1回時)
(
ディ スプレイ S G (8 0 6 0 ッ
: V A 0 × 0 ド ト) 耐振動
08
.A
電源電圧
X、 Z方向各2時間
Y、 デジタル入出力 RS-232C
26
5 色以上
(A アダプタ別売り)
C
対応 C
P C UP n u 1 6 z
P : e t m 6 MH 以上推奨
i
・ 保護構造 IP60 キー入力 10キー
使用周囲温度 +0
1 ∼+ 5
3℃
メ リ3 M
モ : 2 B以上
耐環境性 材質 アルミ キ ス
ダイ ャ ト
2 ∼ 0 結露なきこ
0 8% と
使用周囲湿度 H D1 M
D : 0 B以上の空き容量
・ 外部公差セレク ト入力 E T 、X 2 E T
( X 1 E T 、X 3)
投光器 360g 受光器 320g
: :
C ‐ OM
D R ドライ ブ
37 g
.k 端子入力 ホールド入力、 トゼロ入力、 セ ト入力
オー リッ
質量
質量 (コード含む)
L N ド 0 A E T) 3
A カー (1 B S ‐ ※
(ベースプレー ト含む) オートゲイン入力、レーザ モー
リ ト入力
※1 投受光間距離100mm、 測定対象物を受光
※1 ± σ φ 0
2 、1 mm丸棒の直線間測定、 測定エ リア W n o s 米国マイ
id w は、 クロソフト社の商標です。 温度特性※2 0.005% of F.S./℃
(F.S.=30mm)
ら50mmに設定したと
器か きの代表例です。
φ2
3 mm以内、 ッ
エ ジウイ ドウ長さ 0
ン 1 mm以上、 E cl 米国マイ
x eは、 クロソフト社の商標です。
定 電源電圧 DC24V±10% リ プル10% P P)
ッ ( − 以下
※2 投受光間距離を100mmに設定し、 受光器
Z3
=± mm Pnu
e t mは、
i 米国インテル社の登録商標です。 格 消費電流 3 0 A以下
3m
ら50mmの位置でナイ ッ
か フエ ジを用いて遮
※ 測定形状、
2 測定指定数、C処理能力によ ます。
P り ※3 測定部と Cのイ
P ンターフェースは、A L N技術を応用し
光したと きの代表例です。 . =30mmは
(FS. 使用周囲温度 0∼+50℃
た 体1
1 の専用通信方式です。
耐
測定精度範囲を示しています。 )
構内 A との併用はできません。
LN 当社別売りの A
LN 環 使用周囲湿度 35∼85%RH
(結露しないこと)
※3 スタビ リティ セルフタイ ング出力の応答時
、 ミ
カー (P
ド CMCA . JI A .2 C ドスロ ト用、
I 21 ED 4 P カー ッ 境 10∼55Hz複振幅1.5mm
性 耐振動
間です。
または C バス拡張スロ ト用)
PI ッ のみ動作保証しています。 X、 Z方向各2時間
Y、
(注)米国へ輸出される場合は、 D F A規格品を用
材質 ポ カーボネー
リ ト
意しており ますので別途お問い合わせ ださい。
く
質量 約800g
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
43に掲載してます。 www.keyence.co.jp/henni 23
※外形寸法図はP42、
レ
ー
高精度2次元寸法測定器 レーザ式 外径変位センサ ザ
非
VMシリ VGシリ
ーズ ーズ 接
触
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 高密度CCDラインセンサ採用 式
■ 角度 内径測定可能
・
■ 分 解能1μm
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ 測 定エリア35mm×300mm
LF / LA / VM / VG シリーズ
■ E xcelへの直接入力可能
■ 2色LED表示採用
※ Excelは、米国マ クロソフ
イ ト社の商標です。
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
測れなかった寸法を簡単測定
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
今まで測定しに かった形状や寸法が測定エ
く リアに対象物を置くだけで
高精度測定を実現しま した。
簡単 高精度に計測できます。
・
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
内径 円ピ チ
ッ R径 角度
測定モー を選択できます。
ド
エッジライトモード
ノーマルモード
16ヶ所の同時瞬間測定
1回の測定で最大1 ヶ所まで同時
6 1. 35.000mm 9. 18.500mm
2. 9.890mm 10. 23.201mm
に測 定できます。 数の検 査 項
複 3. 3.710mm 11. 3.071mm
セグメ トモー
ン ド
エッジダークモード
4. 8.000mm 12. 15.22
目を持つ対象物が一瞬で測定でき 5. 13.400mm 13. 10.05
6. 45.20 14. 0.410mm
(約1秒)検査時間の大幅な短縮 7. 30.11 15. 0.580mm
8. 12.371mm 16. 0.552mm
を実現します。
・・・ 測定位置
・・・
■ 仕 様
■ 仕 様
測定部 測定ソフ ェア
トウ センサヘッド コントローラ
VG-300 SO (5363)
型式 型式
VG-035 VG-300
型式 型式
VM-8040 VM-H1W
繰り返し精度※2 5μm※4 3μm※5
測定エ ア
リ φ0 m
4m エ ジ指定
ッ 直線 円 円弧 中心線 結合
・・・
・ 可視光半導体レーザ
光源 波長670nm
(赤色) 直線性※2 ±0.1% of F.S.
(F.S.=30mm)
測定精度 ± μ ※1
5m 補助指定 中心線 2
・ 点間直線 交点 垂線
・・ 最大出力50μW クラス1
最小表示単位 5μm 1μm
1 m※1
μ
繰り返し精度 最大1 条件
6
エ ジ/補助指定数
ッ
検出範囲 35mm
1m
μ モ 出力電圧 ±7V
表示分解能 直線間(平均/最大/最小) 直線一点間
・
・ 設定距離 0∼300mm ニ 出力
2点間 直線−円接線 円接線間
・
・
・ 03 m
.m
最小検出体 測定指定 タ 100Ω
半径(平均/最大/最小) C D画素数
C 5000bit 出イ ンピーダンス
2m
0m
Z軸ステージ移動範囲
直径(平均/最大/最小) 直線角度
・ 力
走査時間 1.3ms 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
測定時間 約 秒※2
1
最大1 条件
6
測定指定数 最小検出物体※1 φ0.5mm不透明体 設定 上下限出力 IG L ×8 h
(H 、 O、O) c
測定用光源 グ ーン E
リ L D透過照明
制
位置補正 E cl7
・ x e9 への記録・ 0.01% of F.S./℃ NN
P オープンコ レクタ
撮像素子 10
3 万画素C D
C 御 制御出力
温度特性※2
測定条件の保存と呼び出し 校正
・ (F.S.=30mm) 出
補助機能 最大100mA 40V以下
M A UE
ESR 無電圧入力 公差判定 各種演算
・
・ 力
制御入力 白熱灯1000R 以下、
x 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
(有/無接点) 測定単位変更 m/mm)
(μ
DT OT
AA U 使用周囲照度※2
蛍光灯8000R 以下
x
セルフタイ ング
ミ NN
P オープンコ レクタ
GO NN
P オープンコ レクタ 日本語W n o s 5 S 20
id w 9(O R .以降)、
使用周囲温度 0∼+40℃ 出力 最大100mA 40V以下
制御出力 対応OS
最大1 0 A 0
0 m (4 V) 日本語W n o s 8
id w 9 耐
BS
UY
プリ ンス
イ トールモデル
残留電圧1 V以下 35∼85% H
R
環 使用周囲湿度 NN
P オープンコ レクタ
スタ リティ
ビ 出力
境 (結露しないこ と)
PイC ンターフ ース
ェ 専用イ ンターフェース P T互換機、
C/A 最大100mA 40V以下N.C.
性
または E P ‐ 8 0 リ
N C C 9 0 シ ーズ
D 2 V± 0
C4 1 %
応答時間※3
10∼55Hz複振幅1.5mm 3.9ms 平均回数1回時)
(
ディ スプレイ S G (8 0 6 0 ッ
: V A 0 × 0 ド ト) 耐振動
08
.A
電源電圧
X、 Z方向各2時間
Y、 デジタル入出力 RS-232C
26
5 色以上
(A アダプタ別売り)
C
対応 C
P C UP n u 1 6 z
P : e t m 6 MH 以上推奨
i
・ 保護構造 IP60 キー入力 10キー
使用周囲温度 +0
1 ∼+ 5
3℃
メ リ3 M
モ : 2 B以上
耐環境性 材質 アルミ キ ス
ダイ ャ ト
2 ∼ 0 結露なきこ
0 8% と
使用周囲湿度 H D1 M
D : 0 B以上の空き容量
・ 外部公差セレク ト入力 E T 、X 2 E T
( X 1 E T 、X 3)
投光器 360g 受光器 320g
: :
C ‐ OM
D R ドライ ブ
37 g
.k 端子入力 ホールド入力、 トゼロ入力、 セ ト入力
オー リッ
質量
質量 (コード含む)
L N ド 0 A E T) 3
A カー (1 B S ‐ ※
(ベースプレー ト含む) オートゲイン入力、レーザ モー
リ ト入力
※1 投受光間距離100mm、 測定対象物を受光
※1 ± σ φ 0
2 、1 mm丸棒の直線間測定、 測定エ リア W n o s 米国マイ
id w は、 クロソフト社の商標です。 温度特性※2 0.005% of F.S./℃
(F.S.=30mm)
ら50mmに設定したと
器か きの代表例です。
φ2
3 mm以内、 ッ
エ ジウイ ドウ長さ 0
ン 1 mm以上、 E cl 米国マイ
x eは、 クロソフト社の商標です。
定 電源電圧 DC24V±10% リ プル10% P P)
ッ ( − 以下
※2 投受光間距離を100mmに設定し、 受光器
Z3
=± mm Pnu
e t mは、
i 米国インテル社の登録商標です。 格 消費電流 3 0 A以下
3m
ら50mmの位置でナイ ッ
か フエ ジを用いて遮
※ 測定形状、
2 測定指定数、C処理能力によ ます。
P り ※3 測定部と Cのイ
P ンターフェースは、A L N技術を応用し
光したと きの代表例です。 . =30mmは
(FS. 使用周囲温度 0∼+50℃
た 体1
1 の専用通信方式です。
耐
測定精度範囲を示しています。 )
構内 A との併用はできません。
LN 当社別売りの A
LN 環 使用周囲湿度 35∼85%RH
(結露しないこと)
※3 スタビ リティ セルフタイ ング出力の応答時
、 ミ
カー (P
ド CMCA . JI A .2 C ドスロ ト用、
I 21 ED 4 P カー ッ 境 10∼55Hz複振幅1.5mm
性 耐振動
間です。
または C バス拡張スロ ト用)
PI ッ のみ動作保証しています。 X、 Z方向各2時間
Y、
(注)米国へ輸出される場合は、 D F A規格品を用
材質 ポ カーボネー
リ ト
意しており ますので別途お問い合わせ ださい。
く
質量 約800g
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
43に掲載してます。 www.keyence.co.jp/henni 23
※外形寸法図はP42、
レ
ー
高精度2次元寸法測定器 レーザ式 外径変位センサ ザ
非
VMシリ VGシリ
ーズ ーズ 接
触
■ 2次元形状を高精度に測定
■ 高密度CCDラインセンサ採用 式
■ 角度 内径測定可能
・
■ 分 解能1μm
■ 16ヶ所同時瞬間測定
■ 測 定エリア35mm×300mm
LF / LA / VM / VG シリーズ
■ E xcelへの直接入力可能
■ 2色LED表示採用
※ Excelは、米国マ クロソフ
イ ト社の商標です。
■ 特長 機能
・
■ 特長 機能
・
分解能1μmサンプリング速度780回/秒
測れなかった寸法を簡単測定
5000bitのCCDラインセンサの搭載により、オンラインでの高速、
今まで測定しに かった形状や寸法が測定エ
く リアに対象物を置くだけで
高精度測定を実現しま した。
簡単 高精度に計測できます。
・
測定モード選択機能であらゆる用途に対応
ワークの位置情報を確認できるCCDの特長を生かして、用途に応じた
内径 円ピ チ
ッ R径 角度
測定モー を選択できます。
ド
エッジライトモード
ノーマルモード
16ヶ所の同時瞬間測定
1回の測定で最大1 ヶ所まで同時
6 1. 35.000mm 9. 18.500mm
2. 9.890mm 10. 23.201mm
に測 定できます。 数の検 査 項
複 3. 3.710mm 11. 3.071mm
セグメ トモー
ン ド
エッジダークモード
4. 8.000mm 12. 15.22
目を持つ対象物が一瞬で測定でき 5. 13.400mm 13. 10.05
6. 45.20 14. 0.410mm
(約1秒)検査時間の大幅な短縮 7. 30.11 15. 0.580mm
8. 12.371mm 16. 0.552mm
を実現します。
・・・ 測定位置
・・・
■ 仕 様
■ 仕 様
測定部 測定ソフ ェア
トウ センサヘッド コントローラ
VG-300 SO (5363)
型式 型式
VG-035 VG-300
型式 型式
VM-8040 VM-H1W
繰り返し精度※2 5μm※4 3μm※5
測定エ ア
リ φ0 m
4m エ ジ指定
ッ 直線 円 円弧 中心線 結合
・・・
・ 可視光半導体レーザ
光源 波長670nm
(赤色) 直線性※2 ±0.1% of F.S.
(F.S.=30mm)
測定精度 ± μ ※1
5m 補助指定 中心線 2
・ 点間直線 交点 垂線
・・ 最大出力50μW クラス1
最小表示単位 5μm 1μm
1 m※1
μ
繰り返し精度 最大1 条件
6
エ ジ/補助指定数
ッ
検出範囲 35mm
1m
μ モ 出力電圧 ±7V
表示分解能 直線間(平均/最大/最小) 直線一点間
・
・ 設定距離 0∼300mm ニ 出力
2点間 直線−円接線 円接線間
・
・
・ 03 m
.m
最小検出体 測定指定 タ 100Ω
半径(平均/最大/最小) C D画素数
C 5000bit 出イ ンピーダンス
2m
0m
Z軸ステージ移動範囲
直径(平均/最大/最小) 直線角度
・ 力
走査時間 1.3ms 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
測定時間 約 秒※2
1
最大1 条件
6
測定指定数 最小検出物体※1 φ0.5mm不透明体 設定 上下限出力 IG L ×8 h
(H 、 O、O) c
測定用光源 グ ーン E
リ L D透過照明
制
位置補正 E cl7
・ x e9 への記録・ 0.01% of F.S./℃ NN
P オープンコ レクタ
撮像素子 10
3 万画素C D
C 御 制御出力
温度特性※2
測定条件の保存と呼び出し 校正
・ (F.S.=30mm) 出
補助機能 最大100mA 40V以下
M A UE
ESR 無電圧入力 公差判定 各種演算
・
・ 力
制御入力 白熱灯1000R 以下、
x 応答時間 3.9ms 平均回数1回時)
(
(有/無接点) 測定単位変更 m/mm)
(μ
DT OT
AA U 使用周囲照度※2
蛍光灯8000R 以下
x
セルフタイ ング
ミ NN
P オープンコ レクタ
GO NN
P オープンコ レクタ 日本語W n o s 5 S 20
id w 9(O R .以降)、
使用周囲温度 0∼+40℃ 出力 最大100mA 40V以下
制御出力 対応OS
最大1 0 A 0
0 m (4 V) 日本語W n o s 8
id w 9 耐
BS
UY
プリ ンス
イ トールモデル
残留電圧1 V以下 35∼85% H
R
環 使用周囲湿度 NN
P オープンコ レクタ
スタ リティ
ビ 出力
境 (結露しないこ と)
PイC ンターフ ース
ェ 専用イ ンターフェース P T互換機、
C/A 最大100mA 40V以下N.C.
性
または E P ‐ 8 0 リ
N C C 9 0 シ ーズ
D 2 V± 0
C4 1 %
応答時間※3
10∼55Hz複振幅1.5mm 3.9ms 平均回数1回時)
(
ディ スプレイ S G (8 0 6 0 ッ
: V A 0 × 0 ド ト) 耐振動
08
.A
電源電圧
X、 Z方向各2時間
Y、 デジタル入出力 RS-232C
26
5 色以上
(A アダプタ別売り)
C
対応 C
P C UP n u 1 6 z
P : e t m 6 MH 以上推奨
i
・ 保護構造 IP60 キー入力 10キー
使用周囲温度 +0
1 ∼+ 5
3℃
メ リ3 M
モ : 2 B以上
耐環境性 材質 アルミ キ ス
ダイ ャ ト
2 ∼ 0 結露なきこ
0 8% と
使用周囲湿度 H D1 M
D : 0 B以上の空き容量
・ 外部公差セレク ト入力 E T 、X 2 E T
( X 1 E T 、X 3)
投光器 360g 受光器 320g
: :
C ‐ OM
D R ドライ ブ
37 g
.k 端子入力 ホールド入力、 トゼロ入力、 セ ト入力
オー リッ
質量
質量 (コード含む)
L N ド 0 A E T) 3
A カー (1 B S ‐ ※
(ベースプレー ト含む) オートゲイン入力、レーザ モー
リ ト入力
※1 投受光間距離100mm、 測定対象物を受光
※1 ± σ φ 0
2 、1 mm丸棒の直線間測定、 測定エ リア W n o s 米国マイ
id w は、 クロソフト社の商標です。 温度特性※2 0.005% of F.S./℃
(F.S.=30mm)
ら50mmに設定したと
器か きの代表例です。
φ2
3 mm以内、 ッ
エ ジウイ ドウ長さ 0
ン 1 mm以上、 E cl 米国マイ
x eは、 クロソフト社の商標です。
定 電源電圧 DC24V±10% リ プル10% P P)
ッ ( − 以下
※2 投受光間距離を100mmに設定し、 受光器
Z3
=± mm Pnu
e t mは、
i 米国インテル社の登録商標です。 格 消費電流 3 0 A以下
3m
ら50mmの位置でナイ ッ
か フエ ジを用いて遮
※ 測定形状、
2 測定指定数、C処理能力によ ます。
P り ※3 測定部と Cのイ
P ンターフェースは、A L N技術を応用し
光したと きの代表例です。 . =30mmは
(FS. 使用周囲温度 0∼+50℃
た 体1
1 の専用通信方式です。
耐
測定精度範囲を示しています。 )
構内 A との併用はできません。
LN 当社別売りの A
LN 環 使用周囲湿度 35∼85%RH
(結露しないこと)
※3 スタビ リティ セルフタイ ング出力の応答時
、 ミ
カー (P
ド CMCA . JI A .2 C ドスロ ト用、
I 21 ED 4 P カー ッ 境 10∼55Hz複振幅1.5mm
性 耐振動
間です。
または C バス拡張スロ ト用)
PI ッ のみ動作保証しています。 X、 Z方向各2時間
Y、
(注)米国へ輸出される場合は、 D F A規格品を用
材質 ポ カーボネー
リ ト
意しており ますので別途お問い合わせ ださい。
く
質量 約800g
※4 平均回数 16回時
※5 平均回数 64回時
43に掲載してます。 www.keyence.co.jp/henni 23
※外形寸法図はP42、