デジタルファイバセンサ
FS-V30シリーズ
クラス 最 高 1 6 b i t 演 算 チップ
M E GA FA LC ON 搭 載
本 質 を 極 め た 究 極 の ファイバ セ ン サ
ファイバ セン サ で 大 切 なこと ─ そ の1
フレキシブルに使える 近距離／長距離を簡単設定 〉
〈
パワースイ チ＆
ッ
16bit演算
FS-V30シリーズの開発に当たり、問題となったのはメガパワーの弊害でした。
単純にハイパワーにしてしまうと、近距離検出で飽和の問題が 発生してしまう
・
・・ FS-V30シリーズでは、ハイパワーを自在に操る機能を搭載し弊害をクリアしました。
2
ファイバ セン サ で 大 切 なこと ─ そ の 3
信 頼 性 が 高 い〈 実 績を積み重ねたシンプル構 造 〉
省配線対応＆
放熱板装備
FS-V30シリーズでは お客様 が 選定しやすいこと」 「設置が 楽であること」
「 、 、
「信頼性が 高いこと」 徹底的に追求することにより、
を
シンプルで信頼性が 高いシステムを実現しています。
6
FU-88K
+200℃
M4
FU-87K
+200℃
FU-86H
M4
FU-85H +150℃
+150℃
FU-84C
+300℃
FU-88
+180℃
FU-86Z
+100℃
写真はイ ージです。
メ
■ センサヘッド
■ アンプユニ ト
ッ
種類 価格（￥）
使用耐熱温度 型 式
形状 検出距離
・ （¥）
※
サイズ
φ2.1 400
＋350℃ 56,700
FU-81C
M4
M4 420
＋300℃ 34,500
FU-82C
M4 420
＋300℃ 28,900
FU-83C
M4
＋200℃ 28,000
420 NEW FU-87K
反
M6
射 ＋180℃ 21,800
FU-87
570
型
M6
＋150℃ −
FU-85H
開発中
M6
＋100℃ 11,900
FU-85Z
460
耐 熱
FS-V30 シリーズ
19×37
＋250℃ 88,000
FU-38K
2.5∼65
詳細は、裏表紙をご覧ください。
19×28.6
＋180℃ 55,000
FU-38H
2.5∼65
950
M4
＋300℃ 33,400
FU-84C
950
M4
＋200℃ 29,800
NEW FU-88K
透 1300
M4
＋180℃ 21,800
FU-88
過
型
M4
＋150℃ −
FU-86H
開発中
1400
＋100℃ M4 11,900
FU-86Z
※FS-V30シ ーズ
リ （MEGA）使用時【赤色光源】
■ レンズアタッチメ ト
ン
検出距離
※1
レンズ 検出距離（mm）
適合ファイバ
種類 型式 MEGA ULTRA SUPER TURBO FINE HSP
ＦＵ-86Ｚ 3600
（3600） 3600
（3600） 3600
（3600） 3600
（3600） 2000
（1600） 1300
（650）
トップビュウ Ｆ-2
ＦＵ-88Ｋ、84Ｃ 3600
（3600） 3600
（3600） 3600
（3600） 3600
（3600） 1900
（1500） 1400
（900）
ＦＵ-86Ｚ 1900
（1500） 1500
（1200） 950
（750） 750
（600） 400
（300） 250
（130）
※2
サイドビュウ Ｆ-1
ＦＵ-88Ｋ、84Ｃ 1400
（1100） 1100
（900） 700
（550） 550
（450） 300
（250） 200
（140）
トップビュウ F-2 サイドビュウ F-1 ※1 FS-V30
： 【赤色光源】 リ
シ ーズ使用時の検出距離 （ ） Ｐ
はＡ Ｃ ＯＮ時
※2 耐熱仕様のF-1を
： ご指定く ださい。 耐熱仕様のF-1は一定温度にてご使用く
又、 ださい。
3
「 パワースイッチ」 「16bit演算」
と で
ハイパワーを自在に操る
クラス初、パワースイッチで近距離と長距離を簡単選択
パ ワーが強くなりすぎると近 距離で使用できなくなったり、高精度な検出ができなくなって
しまいます。FS -V30シリーズはスイッチでパワーを簡単に切り換えることができるので、
近 距離・長距離どちらの使用状 況でも安心です（特許出願中）
近距離 FINE ］
［ 長距離 ME GA ］
［
［ パワーが 強 すぎる場 合の問 題 点 ］
ワークなし ワークあり
単 純 に ハ イパ ワ ー 化 をしてしまうと、
左図のように近距離特性が飽和によって
悪くなり検 出 が で き なくなってしまい
ます。FS -V30シリーズではスイッチで
簡単に選択できるように設 計しました。
クラス最高、16bit演算によ 表示範囲も拡大
り
パワーが大きくなると表示範囲も拡 大しなければ簡単に飽和してしまいます。
従 来は12bitの分解能だったので4095までしか表示できませんでしたが、 -V30シリーズ
FS
では表示範囲も拡 大し、9999まで表示可能。MEGAモードは16bit 演算を行なっています。
MEGAモード
9999 拡張機能表示を使用すると、
光
最大64512まで表示できます。
［16bit 演算 ］
量
従来モード
4095
［12bit演算 ］
3
Fiber
ファイバ
FS -V3 0
series
ク ラス 最 高 16 bi t 演 算チップ
「M E G A FA L C O N」 載
搭 世界 初 DSC 機能
受光量
設定値補正タイプ（DSC機能）
現在値
設定値固定
設定値
（従来タイプ）
DSC機能
フ ァイバ / 光 電
リアルタイムに追従 設定値
時間
1μm をとらえる超高精度
安全
省配線 対応
接触
ファイバセンサアンプ
FS-V30 シリーズ
超音波/近接
クラス初、パワースイッチで近距離と長距離を簡単選択 バリエーション
パワーが強くなりすぎると近距離 近距離［FINE］ 長距離［MEGA］
ケーブルバラ線タイプ（ケーブル長2m）
で使 用できなくなったり、高精度
型式 ON/OFF アナログ
形状 種類 外部入力 価格（¥）
圧力
NPN出力 PNP出力 出力点数 出力
な 検 出 が で き なくな ってしま い
親機 FS-V31 FS-V31P 16,800
親機
ます。FS-V30 シリーズはスイッチ １ ０
標準
子機 FS-V32 FS-V32P 15,800
０
でパワーを簡単に切り換えること 親機 FS-V33 FS-V33P 18,800
２ １
２出力
ができるので、近距離 長距離どち
・ 子機 FS-V34 FS-V34P 17,800
子機
アナログ 親機 FS-V31M − １ 19,800
１ ０
らの使用状況でも安心です。
※ゼロライン方式に対応したゼロライン子機 FS-V30
［標準価格 15,800 円］
： もご用意しています。
流量/温度
クラス最高、16bit演算により表示範囲も拡大 コネクタ タイプ
（M8）
型式 ON/OFF アナログ
形状 種類 外部入力 価格（¥）
パワーが大きくなると表示範囲も拡大しなければ簡単に飽和してしまいます。 NPN出力 PNP出力 出力点数 出力
FS-V31C FS-V31CP
親機 17,300
従来は12bit の分解能だったので4095 までしか表示できませんでしたが、 親機
１ １
標準
FS-V32C FS-V32CP
子機 16,300
FS-V30 シリーズ で は 表 示 範 囲 も 拡 大し、9999 まで 表 示 可 能。MEGA ０
FS-V33C FS-V33CP
親機 19,300
２ 0
２出力
モードは16bit 演算を行なっています。 子機 FS-V34C FS-V34CP
子機 18,300
MEGAモード
9999 ※コネクタタイプを使用される場合は、
別売りのソケットケーブル（OP-73864または OP-73865が必要です。）
光
［16bit 演算］
量
オプション（別売）
従 来モード 種類 形状 型式 価格（¥）
4095
拡 張 機 能 表 示を使 用すると、
［12bit 演 算］ アンプ固定具
（親機用） OP-73880 120
最 大 6 4 512 まで 表 示できます。
OP-26751 340
エンドユニット（増設時）
表示光量を統一できるスケーリング機能
Ｍ８ソケットケーブル（２Ｍ） OP-73864 2,200
受光量の表示値を自由に設定できる機能です。デジタル数値のバラツキが
Ｍ８ソケットケーブル（10Ｍ） OP-73865 3,600
気になる場合にご使用ください。
5
水のかかる環境でも安定検出
限定反射型
SUSタイプも
FU-97S
あります。 SUS316L固定具
タイプ
PFA
FU-97P PVC
PVC固定具
タイプ
9.6mm 薄型
PTFE
ハの字で液だま を回避
り
投光、受光が分かれているハの字タ イプなら従来の反射型の
よ な液だま による誤検出を低減でき 。
う り ます また、先端が曲面に
なっているため、水滴が検出面にたま に い構造になっ
りく ています。
球面形状
従来の円柱タイプ FU-97P
洗浄後のウエハ有無検出
■ アンプ
最新デジタルファイバアンプ
FU-96T、FU-97シリー FU-98はレンズを内蔵することでハイパワーを実現しています。
ズ、
FS-V30シリーズ
さらに、 FS-V30シリーズのMEGAモードと組み合わせれば、 ミストや塵が舞う環境でも、
■ クラス最高 16bit演算
より安定した検出が可能です。
■ 専用並列演算チップ搭載
■ リアルタイム感度追従機能
■ パワー切換 一気に64倍
標準 2出力 アナログ
種類
親機 子機 親機 子機 親機
FS-V31M※1
NPN出力 FS-V31 FS-V32 FS-V33 FS-V34
型式
PNP出力 FS-V31P FS-V32P FS-V33P FS-V34P −
1 2 1
ON/OFF出力点数
0 1 0
外部入力
0 1
アナログ出力
価格（￥） 16,800 15,800 18,800 17,800 19,800
※ M8コネクタタイプもご用意しています。
※1 HIGH SPEED / FINE / TURBOの受光量0-4095に対して1-5V
関連商品のご紹介
着座、有無検出に最適
小型常温タイプ 耐熱180 ℃タイプ 耐熱250 ℃タイプ
FU-38V FU-38H FU-38K
180°
C 250°
C
12mm
19mm 19mm
27mm 27mm
19mm
厚み4.3mm 厚み5mm 厚み5mm
FU-38Vは密着(0mm)から検出が 耐熱ファイバケーブルにガラス レンズと金属ケース を組み合わせていますので、
できる小型タイプです。 厚みも薄く 常温タイプでは対応不可能な高温環境下でご使用いただけます。 また、必要な
取り付け場所を選びません。 温度に応じ FU-38HとFU-38Kを使い分けていただけます。
て、
段差判別に最適
薄型タイプ 側面取付タイプ
FU-38 FU-37
12mm 14.4mm
19mm 19mm
厚み4mm 厚み5mm
FU-38は正面から取り付ける薄型 FU-37は側面から取り付けるタイプ
タイプです。 取り付けスペースに応じて です。 取り付けスペースに応 て
じ ご選択
ご選択く さ
だい くさ
だ い。
■ ライ ッ
ンナ プ
※1
種類 サイズ 形状 検出距離
・ （mm） 型式 価格（￥）
標準検出体
液晶用ガラス基板 FU-40S
15∼70
17×19 17,800
反射型 トップビュウ
（150×150×t=0.7mm）R面
液晶用ガラス基板
14×20 FU-38L
8∼38 16,900
（t=0.7mm）平面
液晶用ガラス基板
20.5×29 FU-38S
0∼25
（t=0.7mm）平面
16,400
22×29 FU-38R
フラ ト
ッ ビュウ 白紙
0∼14
※2
12×19 6±2 FU-38
白紙
15,400
限定
反射型 12×19 0∼4 FU-38V
白紙
3±1 白紙
14.4×19 FU-37 13,000
サイドビュウ
液晶用ガラス基板
17.1×29.7 8∼37 FU-38LK 53,800
（t=0.7mm）平面
耐熱 2.5∼65 白紙
19×27 FU-38K 88,000
フラ ト
ッ ビュウ
2.5∼65 白紙
19×27 FU-38H 55,000
※1 FS-V30シ ーズ
リ （MEGA） 使用時［赤色光源］の標準検出体での検出距離
※2 FS-V30シ ーズ
リ （FINE）使用時［赤色光源］
新型デジタルファイバアンプ
FS-V30シ ーズ
リ
■ 世界最高ハイパワー “MEGAモード”
■ 世界最速スピード33 s
μ
■ 世界初、リアルタイム感度追従機能
■ パワー切換SW 一気に64倍
0057-1 009-133
頑丈センサ
■ 頑丈フ イ
ァ バセンサ Gタイプ
フレックススパイラルで 保護網線で
シ ウゲキに強い
ョ ヒッパリに強い
0°
90°
ケーブルも頑丈な
ナット型Ｇタイプ
■ 頑丈ケーブルナット型ラインナップ
種類 サイズ 形状 検出距離※1
・ 型 式 価格（¥）
※2
140０
透過 FU-77TG
M4 12, ０
００
FU-67TG
5０
０ 1 ,０
００ ０
M6
反射
※3
FU-35TG 11, ０
００
18０
※1 FS-V30シ ーズ
リ （MEGA）使用時 ※2 透過型レンズアタ チメ ト
ッ ン を取り付け可能です。
※3 反射型レンズアタ チメ ト
ッ ン を取り付け可能です。
ご使用にはアンプユニッ（FSシ ーズ）
ト リ が必要です。
標準フ イ も頑丈
ァバ
従来品は根元部分が弱く、 ケーブルも飛び出して う
しま ので、
破損や断線
して う とがあ ま
しま こ り した。
ケーブル根元をナット型で
がっちりガード
0°
■ 標準ナット型ラインナップ
種類 サイズ ※1
形状 検出距離
・ （¥） 型 式 価格（¥）
※2
14 ０
０
透過 M4 FU-77TZ 7,8 ０
０
※3
7, ０
００
M3 FU-35TZ
18０
90°
8,8 ０
０
反射 M4 FU-66TZ
35０
M6 FU-67TZ 7,8 ０
０
5０
０
※1 FS-V30シ ーズ
リ （MEGA）使用時 ※2 透過型レンズアタ チメ ト
ッ ン を取り付け可能です。
※3 反射型レンズアタ チメ ト
ッ ン を取り付け可能です。
ご使用にはアンプユニッ（FSシ ーズ）
ト リ が必要です。
6
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