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3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
デジタルマイクロスコープ VHX-900
NEW
自動で 斜めから・簡単に
深度合成ができる
高精度電動リニアステージで、深度合成や3D構築などが
誰でも簡単に操作できます。
自動で
「深度合成」が完了
自動合成開始
電動ステージが作動
高倍率でのピント調整がどなたでも素早く正確にできます。画面上で
フォーカスを合わすエリアを指定することができるので、凹凸のある対象物
でも有効に活用できます。
オートフォーカス機能
自動測定モードで設定したウィンドウ間の段差が素早く自動測定できます。
手動測定モード画面で細部のピントの状態を見ながら測定することもできます。
2点間高さ測定
ピント調整の手間を省く
ピンポイントで手軽に高さ測定
ワンクリック

マイクロスコープで3次元形状を測る
MT7-0066
大豆油インキ使用
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
本社・研究所／MECT事業部 
〒533-8555 大阪市東淀川区東中島1-3-14 Tel 06-6379 -1141 Fax 06-6379-1140
0127-1 061-266
www.vhx.jp
フリーダイヤル
0120-739-007顕微鏡
お客様相談窓口
3D生画像
3Dレインボー画像
シボ加工（×200）3D生画像＋3Dレインボー画像
体積計測 面間距離計測断面プロファイル計測 面間角度計測
3D画像上で任意のラインの高さプロファイルデータを求めます。測定
ラインを動かすと瞬時にそのライン上のプロファイルデータを表示します。
3Dプロファイル測定
画面上で任意にプロファイル測定
3D画像上で各種計測が可能。観察しな
がら測定ポイントを探し瞬時に計測できます。
3Dリアルタイム計測
観察しながら瞬時に測定
水平・垂直カーソルを使って高さ・幅などを測定できます。2ライン比較モードで
平行な2ラインのプロファイルを同時に表示し、比較することができます。
3D画像に高さを表すカラーバーが表示され、また、X・Y・Z軸のスケール
も表示できます。
高さカラー/スケール表示
高低差が一目瞭然
ステージ操作・観察・解析を集中制御
オールインワンシステム
3D形状測定ソフト VHX-900/500F コントローラ VH-S30セット
電動ステージ
電動ステージレンズ
専用スタンド
専用スタンド
VH-S5セット
レンズ
拡大観察・ステージ操作・3D解析から画像保存まで
全ての作業がVHX本体で行なえます。
E-mailアドレス：
当社は個人情報保護法に関する法令などを遵守し、お客さまの住所・部署・氏名等の個人情報は、生産や研究開発における効率化や改善提案等の情報のご案内に限って使用させていただいております。
お名前：
ふりがな
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所属・役職：会社名：
●ご希望があればチェックを付けてください。
□ カタログ希望 □ 概算価格希望 □ デモンストレーション希望
□ 詳細説明希望
● 現在、ご使用になられている顕微鏡があればチェックを付けてください。
□ 実体顕微鏡 □ 金属顕微鏡 □ 工具顕微鏡 電子顕微鏡
□ モニタ型マイクロスコープ（メーカー名：                 ）
●どういった対象物を観察なされていますか？
対象物（                ） 倍率（      ）倍
TEL：
所在地：
FAX：
□
FAX 06-6379-1140カタログのご請求や商品に関する
お問い合わせ等、お気軽にお申し込みください。 0-06-6379-1140
0発信の場合は、0をお忘れなく

デジタル顕微鏡ガイドブック
レンズ技術編
顕微鏡の構造を知る
レンズの種類と光の原理を学ぶ
ズームレンズのしくみと性能を理解する
照明の種類と効果を理解する
1
2
3
4
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高解像度・高性能レンズラインナップ
業界最高解像度「RZレンズ」
高級レンズを採用し、色収差を理想値に補正するRZレンズ。
最先端の光学設計と高度な照明技術により収差歪みを極限まで低減させたクラス最高解像度ズームレンズです。
豊富なレンズバリエーション。 RZレンズ3種以外にも、あらゆる観察シーンに対応し、プロの求める高い要求を満たす、充実のレンズラインナップがあります。
K1227T-0076-2 061-201
顕微鏡 お客様相談窓口
www.vhx.jp
マイクロスコープの総合情報サイト
最新機能を動画で確認できます
フリー
ダイヤル
MECT事業部
0120-739-007
■
クラス最高 1800万画素
ハンディカメラ
■
高解像度 RZ LENS
■
業界初 ハレーション除去
鮮 明 な 観 察
■
業界最速 リアルタイム深度合成
■
業界最速 クイック3D表示機能
（ハイブリッドD.F.D.方式）
■
各種3D表示、3D計測
立 体 的 な 観 察
■
ボタン一つで最適な観察
簡 単 操 作
■
業界初 広視野自動2点間計測
■
3次元形状自動測定
より正 確 な 測 定
デジタルマイクロスコープ
VHX-500NEW
高解像度ズームレンズ
VH-Z500
500 5000
ワイドレンジズームレンズ
VH-Z100
100 1000
超小型高性能ズームレンズ
VH-Z20
20 200
NEW
クラス最高の高解像度のズームレンズ。先進
の3D表示を巧みに表現し、観察の常識を覆す
新ズームレンズの登場です。
拡大観察を高解像に、そして深度深く行ないたい。
そんな相反する要望に応える新発想から生まれ
た新標準レンズです。
20∼200倍という最も汎用的に使用される倍
率において、高解像度での観察を実現。また、
従来からの特長である「深い被写界深度」も
更にパワーアップしました。

光学照明テクニック―偏光照明―
光学照明テクニック―透過照明―
透明物内面の観察には、対象物の下側から透過照
明で観察します。
対象物の厚さを考慮して、被写界深度が深いレンズ
が適しています。
透過照明 画像例 フィルム内の気泡
偏光照明アダプタ 画像例 ラミネートコート紙
［偏光フィルタ］
偏光フィルタとは、方向性のある結晶で、一定方向に振動する光のみを透過させる性質があります。
［偏光された光の反射］
偏光された光は、拡散反射すると偏光がくずれ、不
規則な方向の移動になります。
しかし、正反射すると偏光したまま反射します。
この原理を利用して、偏光された光を照射し、90度違
う角度の偏光フィルタを通して受光することで、正反
射した光のみをカットすることができます。
偏光フィルタの図
透 過 照 明
偏 光 照 明アダプタ
側射照明 透過照明
レンズ取り付け高精度スタンド
VH-S1（XYステージ・透過照明付き）
透過照明ユニット OP35421
OP35415
偏光照明未使用時 偏光照明使用時
偏光フィルタ
振
動
方
向
振
動
方
向
光 光
レンズ技術編
結晶方向と異なる方向に
振動する光は透過しない
結晶方向と同じ方向に
振動する光は透過する
http://www.vhx.jp 10

観察から 3D 形 状 測定まで高精度 電 動ステージで 集中制御観察から 3D 形 状 測定まで高精度 電 動ステージで 集中制御
3D 形 状 測定オールインワンシステム3D 形 状 測定オールインワンシステム
高精度リニアステージと新開発形状測定機能で拡大
観察から3Ｄ形状自動測定までを一体化。ステージ
操作・拡大観察・3次元測定と3D解析から画像保存
まで、全ての作業がVHX本体で行なえます。拡大
観察から一歩踏み込んだ解析を実現します。
3Ｄ形 状自動 測定ユニット V H X- S1 5シリーズ
型式
ステージ移動量
モータ
分解能
位置決め精度※
繰り返し精度※
定格
耐環境性
質量
積載荷重
電源電圧
消費電力
使用周囲温度
使用周囲湿度
※電動ステージ単体の代表値
デジタル
インジケータセット
OP-51610
レンズの移動量をダ
イレクトに測定する
デジタルインジケー
タで、キャリブレー
ションが簡単にでき
ます。
VHX-S15シリーズ
15mm
5相ステッピングモータ
0.05μm/パルス
6μm
±0.5μm
AC100∼240V 50/60Hz
70VA
＋5∼40℃
35∼80%RH（結露なきこと）
VHX-S15C：3kg・VHX-S15F：3.2kg・VHX-S15Ｈ：1.3kg
5kg
■ 仕様 ■ オプション
フリーアングル観察システム
VH-S30
耐振・高倍率観察システム
VH-S5
電動ステージ
VHX-S15H
電動ステージ
VHX-S15F
コントローラ
VHX-S15C
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VH-K25
照明の種類と効果を理解する4
全 射 照 明 ／ 片 射 照 明
拡 散 照 明アダプタ
可 変 照 明アダプタ
光学照明テクニック―拡散照明―
［正反射する立体構造物からの反射光］
金属鏡面や半田、表面が滑らかな樹脂など、正反射
する対象物では、一方向からの照明では極端な明
暗が生じます。
［拡散照明］
上記のような対象物で、求めるような鮮明な像が得ら
れないときは、拡散照明が有効です。拡散照明を使
用すると、対象物に対してあらゆる方向から均一な光
をあてることで、安定した反射光が得られます。
［拡散照明アダプタ］
キーエンス製拡散照明アダプタを、レンズの先端に装
着すると拡散照明が簡単に作れます。
すりガラス状の光学フィルタを通して、照明光を拡散
させてドーム形状の拡散照射部から均一に対象物を
照らします。
［凹凸を強調する照明］
凹凸の様子を強調して映すためには、右図のように
斜め一方向から光を照射することが有効です。
凹凸によってCCDに入光する光量が変わり、凹凸の
様子が明るさの違いとしてとらえられるようになります。
［ライトシフト機能］
VHX-200に装備されているライトシフト機能は、レンズ
に内蔵された照明の点灯位置を制御することで、照
明を斜め方向から照射する機能です。簡単に片射
照明の画像を映すことができます。
［可変照明アダプタ］
可変照明アダプタは、レンズの先端に装着するアダプ
タです。アダプタのリングを回転させると、同軸落射か
ら側射まで連続的に照明角度を変えることができます。
光学照明テクニック―可変照明―
正反射する立体構造物からの反射光の図
対象物
レンズ
すりガラス状
光学フィルタ
拡散照明の図
拡散照明アダプタ 画像例
光源
正反射光がレンズに
入光しない部分は
暗くなる
正反射光がレンズに
入光する部分は
明るくハレーションする
レンズ
●BGA
適合レンズ/倍率
VH-Z20
20∼200倍
VH-Z25
25∼175倍
品 名
スーパー拡散照明アダプタ
マルチ拡散アダプタ
（斜めからの観察用）
型 式
OP42305
OP35469
型式と品名
拡散照明未使用時 拡散照明使用時
同軸照明 上方からの照明
全射照明 画像例 金メッキ
標準照明 可変照明
可変照明アダプタ 画像例 紙の表面
ねじ
1/4の照明だけが点灯。
凹凸が強調される。
カメラ先端部の照明が
全て点灯。
片射照明全射照明
デジタル顕微鏡
ガイドブック
http://www.vhx.jp09
拡散照明未使用時 拡散照明使用時
半田

被 写 界 深 度
開 口 数（ N . A . ）
開口数（N.A.）とは、Numerical Apertureといい、
N.A.と略されています。N.A.は、光学系の明るさや解
像力を表す数値です。光軸上の物体が入射するレ
ンズの有効系θとした定義を示します。
（N：物体周囲の媒体の屈折率／空気の場合は1）
N.A.=Nsinθ
光には、波のように拡がる現象があり、回折といいます。
このことにより、収差のない高性能レンズを使用して
いても、像は1点に集めることができず、円盤状に拡
がります。開口数（N.A.）は、収差のない場合の集光
限界を表しているのですが、これは、光が波の性質を
持つことによるとされ、この限界値を回折限界といい
ます。また、この円盤状の波のことをエアリーディスクと
いいます。エアリーディスクの半径（波幅）rは、以下の
数式で表されます。（λ：光の波長／N.A.：開口数／0.61：
定数）
r ＝
この数式によって割り出された値を「分解能」といい
ます。この数式によると、開口数（N.A.）が大きいほど、
エアリーディスクの半径が小さく、つまり、開口数（N.A.）
が大きいほど像はシャープに再現されることになります。
これらは、レンズを評価する上での共通の値となって
います。
レンズでスクリーンに物体の像を映すとき、レンズと物
体の距離を多少変えても像がぼやけない範囲があり
ます。つまり、観察対象物は、レンズの焦点位置にあ
るとき最も鮮明に見えますが、対象物が近づいたり遠
ざかったりした場合でもピントが合って見える許容範
囲であり、これを「被写界深度」といいます。
許容範囲の広いレンズが「被写界深度が深いレンズ」、
許容範囲が狭いレンズは「被写界深度が浅いレンズ」
となります。被写界深度が深いと、凹凸のある対象物
を観察してもピントの合う範囲が広いので観察しやす
く、正確に素早く全体を観察できるというメリットがあり
ます。
開口数（NA）の定義の図
被写界深度の図
0.61λ
N.A.
物体側
N.A.≡Nsinθ
像側
N.A.≡Nsinθ´
θ´
θ
有効径
焦点深度
近
点
距
離
被
写
界
深
度
遠
点
距
離
エアリーディスク
被 写 界 深 度 の 比 較
エアリーディスク
エアリーディスクの半径の大きさ
r＝
距離
光の強度
点像強度
分布図
r
0.61λ
N.A.
光学顕微鏡 マイクロスコープ
顕微鏡で見る像の明るさは、光源の輝度に比
例します。光源の明るさが同じ場合、
              に比例します。
総合倍率が同じ場合は、開口数の大きい対物
レンズを使用するほうが明るくなり、観察しや
すくなります。
像 の 倍 率と明るさ
（    ）
対物レンズの開口数（N.A.）
   総合倍率M
2
レンズ技術編
http://www.vhx.jp 06

照明の種類と効果を理解する
内蔵照明の効用のひとつに手持ち観察があ
ります。レンズと照明の位置関係が固定され
ているので、カメラを手で対象物にあてて観
察することができます。大きな対象物も加工
せずに観察できます。
4
レンズ光源部
顕 微 鏡 の 照 明 方 法 と 種 類
対 象 物 と 観 察 目 的 に 合 わ せ た 照 明
デ ジ タ ル マ イ ク ロ ス コ ー プ の 内 蔵 照 明
顕微鏡の照明方法は、大きく2つの種類に分けられます。
1つは、照明の光を透明な対象物を通して、レンズで屈折させることで拡大する方法で「透過照明」といい、光
を対象物の上から照射し、表面から反射した光がレンズを通し屈折することで拡大する方法を「落射照明」とい
います。
落射照明には、「同軸落射照明」と「側射照明」があります。
同軸落射照明は、レンズの光軸と同じ方向から光をあてる方法で、明視野観察ができます。
側射照明は、レンズの横から斜めに光をあてます。凹凸による陰影ができるので、輪郭をはっきりととらえることが
できます。
デジタルマイクロスコープレンズの照明は、レンズに内蔵されています。
本体の光源から光ファイバを使って光を導いて、レンズ光源から照射する設計になっています。レンズに照明を
内蔵すると、そのレンズの観察距離や視野の大きさに合わせて光の分布を設計できるので、そのレンズに最適
な照明環境を作ることができます。それにより、照明の位置調整をすることなく、簡単に適切な照明が得られると
いうメリットがあります。
デジタルマイクロスコープの内蔵照明は、ほとんどの対象物で適切な照明環境になるよう設計されていますが、
対象物の表面状態や形状、また、観察目的によっては少しの工夫でさらにきれいな画像で観察できるようになり
ます。続いて、いくつかの照明テクニックを紹介します。
手 持ち観 察
レンズ
透過照明
レンズ
同軸落射照明
レンズ
対象物
ハーフミラー
側射照明
光源
光源
対象物
透過基板
対象物
照明内蔵レンズ・カメラ
照明
レンズ
デジタル顕微鏡
ガイドブック
http://www.vhx.jp07

FIBERSCOPE
モニタ
USB
USB（2.0）
LAN（100BASE）
RGB
※1 VHX専用ライトガイド（OP-51480）が必要です。
※2 VHX専用ライトガイドアタッチメント（OP-51482）が必要です。
※3 顕微鏡に適合するCマウントアダプタが必要です。
※4 同軸照明の場合は、OP-72407とOP-72406が必要です。
※5 VH-Z50L（W）/ VH-Z100R（W）/ VH-Z250R（W）/ VH-Z500R（W）/
   VH-Z450のアタッチメントはOP-51647となります。
※6 OP-32348はVH-Z25専用アダプタです。
※7 DOUBLE‘R対応レンズVH-Z00W/Z20W/Z100W/Z100UW/Z250W/
   Z500W/Z50Wには、レンズ・倍率自動認識ユニットが装着されます。
パソコン パソコンパソコン
VHX-1000
カメラレンズ（Cマウント）
※3
※2
顕微鏡
VH-F61
VH-F111
パソコン
USBメモリ等
ハードディスク
大画面モニタ。多人数で同時に
見るには大画面モニタを接続。
倍率がアップしてさらにシビア
なチェックが行なえます。
デジタルカラープリンタでハード
コピー。写真の代わりに観察
データ、資料として幅広く活用
できます。
カメラ部
VHX-1020
VHX-1100
バヨネット式
標準
アタッチメント※5
OP-51478
バヨネット式
Cマウントアタッチメント
OP-51479
VH-F
デジタルカラープリンタ
VH-H1G1
（粒子解析ソフト）
解析ソフト
（3D・HDR表示ソフト）
VHX-H3M
（3D形状測定ソフト）
VHX-H1M1
（XY測定ソフト）
OP-84263
（DOUBLE‘Rユニット）
VHX-H2M
（3D形状測定ソフト）
3D形状自動測定ユニット
VHX-S15シリーズ
フットスイッチ
ファイバスコープ
CD-R/RW
■オプション
VHX-500F
耐振・高倍率観察システム
VH-S5
XY測定システム
VH-M100
透過照明ユニット
OP-84484
表示ユニット
OP-84483
フリーアングル観察システム
VH-S30
フリーアングル観察システム（Z軸自動）
VHX-S50
回転スタンド OP-25539
X Yステージ OP-22124
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