NEW
カラー3Dレーザ顕微鏡
VK-9700 / 9710
ステージに載 せるだけ
前処理不要
対象物に対して、
・・ 蒸着 切断 加工などの前処
理は一切不要。そのままの状態で観察 測定
・ が行なえます。
2
NEW
カラー3Dレーザ顕微鏡
VK-9700 / 9710
ステージに載 せるだけ
前処理不要
対象物に対して、
・・ 蒸着 切断 加工などの前処
理は一切不要。そのままの状態で観察 測定
・ が行なえます。
2
高 N.A.のApo アポクロマー レンズを採用
（ ト）
対物レンズのＮ.Ａ.が高いほど焦点深度が浅く、 ッ
スポ
トサイズの小さなビームスポットができるため、高精度
測 定と高 解 像 度 観 察が可 能になります。また、 り
よ
急峻な傾斜部からの反射光を検出するこ もできる
と
ため、角度追従特性も高くなります。ＶＫ- 9700では
光学レンズとしては最高級のＮ.Ａ. 0.95のＡ ｏ
ｐ レンズ
を採用しています。
Ａｏ
ｐ レンズ（50倍／150倍）
1 4bitフォトマルチプライヤを採 用
受 光素子にフォトマルチプライヤを採用することで、
レーザ顕微鏡最高のダイ ッ レンジを実現。
ナミ ク 従来
のレーザ顕微鏡では測定できなかった、反射率の
差が激しい対象物や急峻な形状部などの反射光が
微弱になる対象物でも正確な測定が可能です。
HDD部品（×1000）
従来機種 VK-9700
水 平面接地構造による高い耐 振 動 性 能
顕微鏡本体は、対物レンズなどの観察 測定機構を
・内蔵したヘッド部と、
ステージなどが含まれる台座部
軽量化した
に分けられます。VK-9700では設置環境を選ばずに
ヘッド部
高精度測定を行なえる う、 ド部の軽量化とヘッ
よ ヘッ ド
部を台座部が面で支える水平面設置構造を採用。
また、顕微鏡の“足”には、VK-9700専用に設計され ヘッド部を
面で支える
た耐震ゲルを採用しました。
水平面設置構造
MDディ クピ ト
ス ッ （×12000）
耐震ゲル
耐振構造なし 耐振構造あり
（VK-9700）
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高 N.A.のApo アポクロマー レンズを採用
（ ト）
対物レンズのＮ.Ａ.が高いほど焦点深度が浅く、 ッ
スポ
トサイズの小さなビームスポットができるため、高精度
測 定と高 解 像 度 観 察が可 能になります。また、 り
よ
急峻な傾斜部からの反射光を検出するこ もできる
と
ため、角度追従特性も高くなります。ＶＫ- 9700では
光学レンズとしては最高級のＮ.Ａ. 0.95のＡ ｏ
ｐ レンズ
を採用しています。
Ａｏ
ｐ レンズ（50倍／150倍）
1 4bitフォトマルチプライヤを採 用
受 光素子にフォトマルチプライヤを採用することで、
レーザ顕微鏡最高のダイ ッ レンジを実現。
ナミ ク 従来
のレーザ顕微鏡では測定できなかった、反射率の
差が激しい対象物や急峻な形状部などの反射光が
微弱になる対象物でも正確な測定が可能です。
HDD部品（×1000）
従来機種 VK-9700
水 平面接地構造による高い耐 振 動 性 能
顕微鏡本体は、対物レンズなどの観察 測定機構を
・内蔵したヘッド部と、
ステージなどが含まれる台座部
軽量化した
に分けられます。VK-9700では設置環境を選ばずに
ヘッド部
高精度測定を行なえる う、 ド部の軽量化とヘッ
よ ヘッ ド
部を台座部が面で支える水平面設置構造を採用。
また、顕微鏡の“足”には、VK-9700専用に設計され ヘッド部を
面で支える
た耐震ゲルを採用しました。
水平面設置構造
MDディ クピ ト
ス ッ （×12000）
耐震ゲル
耐振構造なし 耐振構造あり
（VK-9700）
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微 弱 な 反 射 光 にも対 応 できる実 力
14bitフォトマルチプライヤ
業界最高
受光素子にフォトマルチプライヤを採用することで、
レー ザ 顕 微 鏡 史 上 、 高 のダイナミックレンジを
最
実 現しました。 来のレーザ 顕 微 鏡では測 定でき
従
なかった、反射率の差が激しい対象物や急峻な形状
部などの、反射光が微弱になる対象物でも正確な
測定が可能です。
従来機種 VK-9700 光ファイバガラス（×400）
■ 従 来レーザ顕微鏡との性能比較 受光感度
VK-9700 フォトマルチプライヤ 5 10 50 100
従来品（VK-8500） トダイオー
フォ ド
CCD
開 口 数 の 高 いレンズが 、 精 度 の 絶 対 条 件
高
高 N.A.の Ap oレンズ
光学レンズでは最高級のＮ.Ａ. 0.95のＡ ｏ
ｐ レンズを
採用。対物レンズのＮ.Ａ.が高いほど測定できる限界
従来機種 VK-9700
角度に差がでます。従来機種と比べると、側面まで
データ取得していることがわかります。
ピンゲージ（×1000）
■ 水 平面接地構造 MDディスクピッ （×12000）
ト
高い耐振動性能
軽量化した
ヘッド部
ヘッド部を
顕 微鏡本体は、対物レンズなどの観察 測定機構を
・ 耐振構造なし
面で支える
水平面設置構造
内蔵したヘッド部と、ステージなどが含まれる台座部
に分離可能。設置環境を選ばずに高精度測定を行 耐 震ゲル
なえるよう、 ド部の軽量化とヘッ
ヘッ ド部を台座部が
面で支える水平面設置構造を採用。顕微鏡の足には、
VK-9700専用に設計された耐震ゲルを採用しました。 耐 振構造あり（VK-9700）
11
分解能
“ 分 解 能 ” 違 い が でる
で
測 定機器として最も重要な「どこまで正確に
測定できるか」を決定づける性能が“分解能”
。
VK-9700は従来比10倍の超高精度 1nmを
・ 誇り、従来に比べ圧倒的な高精度測定ができます。
1 nm［ VK-9700 ］
10nm［ 従来］
0.053μm基準段差サンプル測定結果 P.10
“ 観 察 能 力” 違 いがでる
で
従来、対象物の形状が微細すぎると鮮明な観察
画像が得られないことがありました。
VK-9700
では、新機能“OTC” “C-レーザDIC表示”
や に
より、その微細形状まで鮮明に観察できます。
ウエハ裏面（×1000） P.14
分解能1nｍの高精度 S EM並の鮮明さ この解像度でリアルカラー
非接触 3 次元測定 高 解像度・超深度 H Dリアルカラー観察
3D画像＋断面プロファイル 光学シー （×1000）
ト レーザ光量超深度画像 HEPAフィルタ
（×1000） HDリアルカラー超深度画像 紙やすり
（×400）
3 次元データをレーザで取得する非接触なので 最高18000倍の高解像度と、観察視野全てに 短波長レーザと白色光源を併用し、高解像度と
多くの対象物に対応でき、多種多様な測定が可能。 焦点が合った超深度画像で観察が可能。 色情報を両立させた観察画像が得られます。
3
形状解析機器として、もっと正確に、
もっと使いやすく。VK-9700は
“レーザ顕微鏡にとって本当に大切
なものは何か？”を追求して作り上
げられました。
“あらゆる対象物を
高精度に、誰でも操作できる”それ
がキーエンスのレーザ顕微鏡です。
観察性能 操作性
微 細 形 状まで 専 門 知 識 がなくても
03 04
鮮 明 に 観 察 できること 操 作 できるこ と
OTC機能 A A G 機能＆フローチャート方式
高解像度 超深度画像をリアルカラーで観察できることは
・ 設定が難しかった、レーザ感度調整の自動化を実現すると
もちろん、微細な形状まで鮮明に観察できるOTC機能を新開発。 ともに、操作手順を示してくれるフローチャート方式を採用。
今まで観えなかった対象物まで観察できるようになりました。 初めて使う方でも正 確な測 定 結 果を得ることができます。
従来機種
VK-9700
9
分 解 能 1nm
先 進 解 析 を 実 現 する
カラ ー 3 D レ ー ザ 顕 微 鏡
光 学 顕 微 鏡 の 手 軽 さで 、
［ S E M ］ 粗 さ計 ］ 解 析 がこ れ 一 台
［ の
＋ ＋
光学顕微鏡 SEM 粗さ計
手軽さ 高解像度 超深度
・ 形状測定
レーザ顕微鏡は、SEM並の鮮明な画像を
カラーで観察でき、非接触で高精度3次元
前処理
測定が可能。しかも手間や時間をかけず
不要
NEW カラー3Dレーザ顕微鏡
に手軽に作業できます。対象物に対して、
VK-9700 / 9710
蒸着 切断 加工など前処理は一切不要です。
・・ G enerationⅡ
2
3-2 共焦 点 式 カ ラ ー レ ー ザ 顕 微 鏡 の 特 徴
光 学顕微鏡の手軽さで、 E M 、
S 表面粗さ計 、
特徴
光 学顕微鏡 、光干渉計の解析がこれ１台に集約
比べてみてください。 きること。
で
レーザ顕微鏡
光学顕微鏡 SEM 表面粗さ計 光干渉計
VK-9700
前処理不要
高解像度
全焦点観察
カラー観察
3次元測定
※一般的な光学顕微鏡、 M、
SE 表面粗さ計、光干渉計との比較です。
優れた角度特性
高 N.A. の Apo
（アポクロマート）レンズを採用によ
り、急峻な傾斜部からの反射光を検出することも
できるため、角度追従特性も高くなります。
CCD素子の数100倍の光感度を持つフォ
受光素子に、
トマルチプライヤを採用することで、レーザ顕微
鏡最高のダイナミックレンジを実現。対象物の反
射率の高低に関わらず、安定した測定を実現します。
Apoレンズ（50倍／150倍）
従来機種 VK-9700 HDD部品（×100）
10
外 形寸法図
単位（mm）
270.5
測定部 VK-9710 コントローラ部 VK-9700
94 77.5
90 159.5
7.3
415.4
171.3
14.3
295.4 22
150 53.5 405
398.4
249.9
155
360.5
270.5 4—Ｍ6 深さ10
165.5 12.5 130 29
20.5 119.2 52 285
ヘッド部
356 6
160
168 190 172
13
7
（40） 70.2
90
165.5
φ
2— ６ ヘリ ト１ 2— 6.6貫通
Ｍ サー .5D
20.5
（深さ8）
77.5
80
95.5 63.5
測定部 VK-8710 コントローラ部 VK-8700
353
7 83 159
416.4
171.3
13.3
295.4 22
52.2
150 405
397.1
249.9
155
353
166.5
4—Ｍ6 深さ10
112
66.5
23.5
119.2 52 285
ヘッド部
356 6
160
182 190 183
6
7 80
（40） 56.5
83
145
φ
2— 6.6貫通
2— ヘリ ト 1.5D
Ｍ6 サー
20.5
（深さ8）
63.5
80
翻訳キーワード集
