R計測機能 平面計測機能
カラー超深度画像上の任意の部分に引いた直線のプロファイル上 カラー超深度画像上で各種平面計測ができます。任意の2点間の
の「R形状」
を計測できます。端面やシャフト状の対象物の評価が 距離や円心間距離、角度などの計測ができます。
簡単に行なえます。
センサパターンの各種平面計測（×1000）
マイクロレンズ形状のR計測（×1000）
膜厚計測機能
共 焦 点 光 学 系により透 明 体の表 面・裏 面を正 確に捉えることが
できるため、非破壊で厚みを計測できます。また、画面上で指定した
ライン上での表面・裏面の形状を同時に取得できるため、膜厚の
変化、ムラの管理に最適です。
透明ガラスの厚み計測（×400）
透 明ガラス断面計測画面
透 明ガラス断面光量画面
VK- 9500 GII 15
化学業界
酸化チタン膜の表面解析
酸化チタン膜
観察対象
観察対象
60960倍 （5μｍ×3.75μｍ）
観察倍率
観察倍率
防汚性に影響ある酸化チタンの表面観察と膜厚管理。
観察内容
観察内容
酸化チタン表面（高低像）
酸化チタン膜の膜厚計測
従来方法・問題点を解決する の魅力
従来方法と問題点 チャームポイント
Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 観察はデジタルマイクロスコープ画像から
観察はデジタルマイクロスコープ画像から
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
範囲が決定できます。
範囲が決定できます。
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 チレバーを採用。カンチレバー交換時
チレバーを採用。カンチレバー交換時
の面倒な手間を省きました。また、除
の面倒な手間を省きました。また、除
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で です。難解なパラメータ設定もガイダン
です。難解なパラメータ設定もガイダン
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
鉄鋼
鋼板の厚み測定
測定器を２台使用しての厚み測定方法
セ ンサヘッドそ
れぞれ独立して
ワークまでの 距
離を測定します。
測定値の和を 取
付ピッチから引
くことで厚みを
求めます。
演算して厚みを測定することで、ワークの位置がずれても安
定した測定が可能になります。
その他の関連アプリケーション
厚み測定の精度アップ
・従来方法
鋼板の厚み測定をガンマ線や赤外線、超音波式で実施してい
旧型のレーザ変位計を使用していました。
る際、鋼板の傾きや距離変動によって測定値に大きな誤差が
・従来の問題点
発生します。
測定レンジが狭くワークの厚みが変化するたびに冶具
１度セッティングをおこなっても段取り変えの際に取り付
の変更が必要でした。またワークの表面状態が変化す
けがズレることも多くあります。
ると測定値が大きく変わってしまうことがありました。
レーザ変位計をこれらの測定器の両端に取り付け位置管理
・測定のメリット
をおこなうことで、[傾き] [距離]を一定に制御し常に安定
高精度にロングレンジでの測定が可能です。また、最
した厚み測定をおこなうことが可能になります。
新のレーザ制御方式により表面状態による測定値の変
化がなくなり、安定して測定できるようになりました。
ラミネート鋼板のフィルム厚管理
その他の関連アプリケーション
鋼板塗装前の傷測定
自動車用鋼板の肉眼では確認できない塗装前の傷の状態を
測定します。塗装前に見えない傷でも塗装後には見えるよう
になるケースもあるため、数値管理し状況を把握することが
必要です。
・従来方法
高周波膜厚計を使用していました。
・従来の問題点
スポットで測定ができないため、スピードが変化し
た等、細かな変化を測定できませんでした。
・測定のメリット 高精度形状測定システムを使用することで３次元形
２μｍの小スポットで測定が可能ですので微少な変 状を簡単に求めることができます。上図の例は塗装し
た時の異物測定をおこなった例です。
化も測定することが可能になり詳細な設備の調整を
おこなうことで品質が向上しました。
キーエンス APSULT 事業部
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化学業界
酸化チタン膜の表面解析
酸化チタン膜
観察対象
観察対象
60960倍 （5μｍ×3.75μｍ）
観察倍率
観察倍率
防汚性に影響ある酸化チタンの表面観察と膜厚管理。
観察内容
観察内容
酸化チタン表面（高低像）
酸化チタン膜の膜厚計測
従来方法・問題点を解決する の魅力
従来方法と問題点 チャームポイント
Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 観察はデジタルマイクロスコープ画像から
観察はデジタルマイクロスコープ画像から
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
範囲が決定できます。
範囲が決定できます。
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 チレバーを採用。カンチレバー交換時
チレバーを採用。カンチレバー交換時
の面倒な手間を省きました。また、除
の面倒な手間を省きました。また、除
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で です。難解なパラメータ設定もガイダン
です。難解なパラメータ設定もガイダン
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
化学業界
酸化チタン膜の表面解析
酸化チタン膜
観察対象
観察対象
60960倍 （5μｍ×3.75μｍ）
観察倍率
観察倍率
防汚性に影響ある酸化チタンの表面観察と膜厚管理。
観察内容
観察内容
酸化チタン表面（高低像）
酸化チタン膜の膜厚計測
従来方法・問題点を解決する の魅力
従来方法と問題点 チャームポイント
Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 Point1 光学顕微鏡画像からナノ領域へ
光学顕微鏡 観察はデジタルマイクロスコープ画像から
観察はデジタルマイクロスコープ画像から
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
原子間力顕微鏡（AFM）による解析 スタート。普段見慣れた光学顕微鏡像上で
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
マウスをドラッグするだけでＡＦＭのスキャン
範囲が決定できます。
範囲が決定できます。
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
①光学顕微鏡では高倍率観察に限界がある。 光学顕微鏡の観察からＡＦＭでの観察まで
シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 シームレスに操作できますので不慣れな方
光学顕微鏡では、表面のひび割れなど表面 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、 でもストレス無くご使用いただけます。
状態を鮮明に簡便に観察できる。しかし、
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
高倍率観察においては解像度不足であり Point2 光軸調整不要・除振機構内蔵のAFM
光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 光軸調整不要のホルダー一体型カン
酸化チタンの粒径まで観察はできなかった。 チレバーを採用。カンチレバー交換時
チレバーを採用。カンチレバー交換時
の面倒な手間を省きました。また、除
の面倒な手間を省きました。また、除
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
②既存のAFMでは、手間がかかる。 振機構内蔵のAFMユニットは、直径
100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 100㎜のものまで対応できますので、
従来のAFMでは、試料の加工、固定、機器の 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で 試料台に固定するなどの作業は不要
準備、操作などが煩雑で、経験がない担当で です。難解なパラメータ設定もガイダン
です。難解なパラメータ設定もガイダン
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
は、なかなか使いこなせない。 スに従うだけで簡単操作です。
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