何もないから詰まらない
メンテナンス費用削 減
配管内のごみやサビな どで流量センサが ラブルになったこ
ト とはないで ょ か
しう？
このよ な ラブル対策には完全貫通構造を実現した電磁＋静電容量式FD-Mシ
うト リーズが
最適です。
〈 完全貫通構造FD-M シリーズ〉
・柱がない
・羽根もない
・電極もない
① 詰まりにくいので、清掃回数激減 完全貫通構造
一般的な浮き子式や羽根車式と異な 通水部に可動部や障害物が全く “完全貫通構造”
り、 ない です。
ゴ やサビな
ミ どが機構部に詰ま ト
る ラブルがな メ
く、 ンテナンスが大幅に削減できます。
② 可 動部がないので、機械的な破損なし 完全貫通構造
可動部がないので軸やせなどの機械的な消耗があ ません。
り “完全貫通構造” り大幅な長寿命化を
によ
実現しました。
『ちなみに、一般的な流量センサでは？』
羽根車式
浮き子式
分解してメンテナンス
冷却水に含まれるサビで 軸やせやゴミ詰ま で
り
全く見えません。 スムーズに動かな な ます。
くり
Model Variation
Flow Sensor & Meter General Catalog
豊 富な 機 種 バ リエーション
〈 流 量センサバリエーション 〉
電極非接液型 電磁式流量センサ
FD-Mシリーズ 〈 電磁 + 静電容量式 〉
F D- M s e r i e s
0.15∼1000ℓ/min
検出範囲
P.6
10A 20A 25A 50A
口径
導電率 ：5μS/cm 以上
接液部材質：SCS13、
PPS、FKM
〔2MPa〕 ※
耐圧力
※ 使用圧力範囲は1MPa 以下。
コリオリ式 デジタル流量センサ
FD-Sシリーズ 〈 コリオリ式 〉
F D- S s e r i e s
0∼40ℓ/min
検出範囲
P.10
8A 10A
口径
油レベル ※1
動粘度 ：
FKM ※2
接液部材質：SCS14、SUS316L、
PPS、
〔10MPa〕 ※3
耐圧力
※1 高粘度流体は圧力損失が大きくなります。P12 参照）
（
※2 別材質FFKM はお問い合わせください。
※3 使用圧力範囲は5MPa 以下。
アンプ分離型デジタル流量センサ
FD-V70シリーズ 〈 渦 + 超音波式 〉
F D- V 7 0 s e r i e s
PPS: PFA:
検出範囲 0.5∼100ℓ/min 0.4∼50ℓ/min
P.14
10A 15A 20A 25A
口径
φ3/8inch、φ1/2inch、φ3/4inch
水レベル※
動粘度 ：
接液部材質：PPS / PFA
〔PPS :1MPa 以下〕 PFA:0.7MPa 以下〕
〔
耐圧力
※ 高粘度流体は測定できなくなります。P15 参照）
（
アンプ分離型 気体用流量センサ
気体用
FD-V40シリーズ 〈 熱式 〉 空気/ちっ素/
アルゴン
F D -V 4 0 s e r i e s
0.03∼600ℓ/min
検出範囲
P.18
8A 15A
口径
使用可能流体 空気 / ちっ素 / アルゴン
：
材質 ：SUS303、SUS304、
PEI、FKM、
シリコン、 アルミダイカスト
〔1MPa 以下〕
耐圧力 ※
※ 使用圧力範囲は−0.07∼0.7MPa 以下。
〈 流 量計バリエーション 〉
電極非接液型 2線式電磁流量計
FD-Uシリーズ 〈 電磁 + 静電容量式 〉
F D-U s e r i e s
防爆 サニタリ 校正
3.18∼4712ℓ/min
検出範囲
P.22
15A 25A 40A 50A 80A 100A
口径
導電率 ：5μS/cm 以上
FKM ※
接液部材質：アルミナセラミック、SUS316L、
〔1MPa〕 2MPa〕
〔
耐圧力
※ サニタリタイプはアルミナセラミック、SUS304、EPDM。
接液部材質の異なるオプションもご用意しております。別途お問い合わせください。
3
FD-U s e r i e s
Flow Sensor & Meter General Catalog Flow Meter
頑 丈・完 全 貫 通 構 造
詰 まりにくい 流 量 計
検出範囲 3.18∼4712ℓ/min
：5μS/cm 以上
口径 導電率
15A 25A 40A
電極非接液型 2 線式電磁流量計 標準 防爆
・ 標準・防爆 ：アルミナセラミック、
接液部
タイプ
50A 80A 100A
FD-U
SUS316L、
FKM
タイプ
材質 ※
サニタリ ：アルミナセラミック、
10A 1S 1.5S
サニタリ タイプ
防爆 サニタリ 校正 SUS304、
EPDM
シリーズ タイプ
2S 3S 4S
耐圧力 〔1MPa〕 2MPa〕
〔
電磁式+静電容量式
使用可能流体 ：
・ 水 非腐食性液体 検出原理
※ 接液部材質の異なるオプションもご用意しております。
別途お問い合わせください。
電 極非接液タイプであることのメリット
詰まりにくい 浮き子式や羽根車式では？
電磁式+静電容量式は浮き子式や 浮き子式
羽根車式と異なり、通水部に可動
部や障害物が全くありません。
冷却水などに含まれるサビで全く見えません。
絶縁性付着物に強い
羽根車式
通水部の外側に電極を配置（電極 軸やせや
ゴミ詰まりで
非接液）しているFD-Uシリーズで スムーズに
動かなく
は、絶縁性被膜による影響が大幅
なります。
に改善しています。
可動部破損なし 低圧力損失
・ 別原理流量センサ
圧
力
損
通 水 部 に可 動 部が 無 い ので、軸 失
FD-U シリーズ
やせなどの機械的な消耗がなく、
0 流量
（ℓ/min）
圧力損失はパイプ並みです。
2線式タイプであることのメリット
省配線
一般的な流量計でアナログ伝送する場合は3本か4本の配線が必要です。
FD-Uは2線式なので、ケーブル及び配線工数が削減できます。特に長距離
大型の電磁流量計も即納 伝送される場合は、大幅に削減できます。
必要な時に、必要な量だけ。
低消費電流 4−20mA
在庫不在でトータルコストを
2線 式のFD -Uは最小4mAで動作しますので、 般的な流量計に比べて
一
削減します。他機種同様、即納です。
大幅に消費電力が削減できます。
22
Model Variation
Flow Sensor & Meter General Catalog
豊 富な 機 種 バ リエーション
〈 流 量センサバリエーション 〉
電極非接液型 電磁式流量センサ
FD-Mシリーズ 〈 電磁 + 静電容量式 〉
F D- M s e r i e s
0.15∼1000ℓ/min
検出範囲
P.6
10A 20A 25A 50A
口径
導電率 ：5μS/cm 以上
接液部材質：SCS13、
PPS、FKM
〔2MPa〕 ※
耐圧力
※ 使用圧力範囲は1MPa 以下。
コリオリ式 デジタル流量センサ
FD-Sシリーズ 〈 コリオリ式 〉
F D- S s e r i e s
0∼40ℓ/min
検出範囲
P.10
8A 10A
口径
油レベル ※1
動粘度 ：
FKM ※2
接液部材質：SCS14、SUS316L、
PPS、
〔10MPa〕 ※3
耐圧力
※1 高粘度流体は圧力損失が大きくなります。P12 参照）
（
※2 別材質FFKM はお問い合わせください。
※3 使用圧力範囲は5MPa 以下。
アンプ分離型デジタル流量センサ
FD-V70シリーズ 〈 渦 + 超音波式 〉
F D- V 7 0 s e r i e s
PPS: PFA:
検出範囲 0.5∼100ℓ/min 0.4∼50ℓ/min
P.14
10A 15A 20A 25A
口径
φ3/8inch、φ1/2inch、φ3/4inch
水レベル※
動粘度 ：
接液部材質：PPS / PFA
〔PPS :1MPa 以下〕 PFA:0.7MPa 以下〕
〔
耐圧力
※ 高粘度流体は測定できなくなります。P15 参照）
（
アンプ分離型 気体用流量センサ
気体用
FD-V40シリーズ 〈 熱式 〉 空気/ちっ素/
アルゴン
F D -V 4 0 s e r i e s
0.03∼600ℓ/min
検出範囲
P.18
8A 15A
口径
使用可能流体 空気 / ちっ素 / アルゴン
：
材質 ：SUS303、SUS304、
PEI、FKM、
シリコン、 アルミダイカスト
〔1MPa 以下〕
耐圧力 ※
※ 使用圧力範囲は−0.07∼0.7MPa 以下。
〈 流 量計バリエーション 〉
電極非接液型 2線式電磁流量計
FD-Uシリーズ 〈 電磁 + 静電容量式 〉
F D-U s e r i e s
防爆 サニタリ 校正
3.18∼4712ℓ/min
検出範囲
P.22
15A 25A 40A 50A 80A 100A
口径
導電率 ：5μS/cm 以上
FKM ※
接液部材質：アルミナセラミック、SUS316L、
〔1MPa〕 2MPa〕
〔
耐圧力
※ サニタリタイプはアルミナセラミック、SUS304、EPDM。
接液部材質の異なるオプションもご用意しております。別途お問い合わせください。
3
FD-U s e r i e s
Flow Sensor & Meter General Catalog Flow Meter
頑 丈・完 全 貫 通 構 造
詰 まりにくい 流 量 計
検出範囲 3.18∼4712ℓ/min
：5μS/cm 以上
口径 導電率
15A 25A 40A
電極非接液型 2 線式電磁流量計 標準 防爆
・ 標準・防爆 ：アルミナセラミック、
接液部
タイプ
50A 80A 100A
FD-U
SUS316L、
FKM
タイプ
材質 ※
サニタリ ：アルミナセラミック、
10A 1S 1.5S
サニタリ タイプ
防爆 サニタリ 校正 SUS304、
EPDM
シリーズ タイプ
2S 3S 4S
耐圧力 〔1MPa〕 2MPa〕
〔
電磁式+静電容量式
使用可能流体 ：
・ 水 非腐食性液体 検出原理
※ 接液部材質の異なるオプションもご用意しております。
別途お問い合わせください。
電 極非接液タイプであることのメリット
詰まりにくい 浮き子式や羽根車式では？
電磁式+静電容量式は浮き子式や 浮き子式
羽根車式と異なり、通水部に可動
部や障害物が全くありません。
冷却水などに含まれるサビで全く見えません。
絶縁性付着物に強い
羽根車式
通水部の外側に電極を配置（電極 軸やせや
ゴミ詰まりで
非接液）しているFD-Uシリーズで スムーズに
動かなく
は、絶縁性被膜による影響が大幅
なります。
に改善しています。
可動部破損なし 低圧力損失
・ 別原理流量センサ
圧
力
損
通 水 部 に可 動 部が 無 い ので、軸 失
FD-U シリーズ
やせなどの機械的な消耗がなく、
0 流量
（ℓ/min）
圧力損失はパイプ並みです。
2線式タイプであることのメリット
省配線
一般的な流量計でアナログ伝送する場合は3本か4本の配線が必要です。
FD-Uは2線式なので、ケーブル及び配線工数が削減できます。特に長距離
大型の電磁流量計も即納 伝送される場合は、大幅に削減できます。
必要な時に、必要な量だけ。
低消費電流 4−20mA
在庫不在でトータルコストを
2線 式のFD -Uは最小4mAで動作しますので、 般的な流量計に比べて
一
削減します。他機種同様、即納です。
大幅に消費電力が削減できます。
22
Detection Technology
Flow Sensor & Meter General Catalog
キーエンス ならで は の 検 出 技 術
FD-M FD-U FD-V70
電磁 + 静電容量式 渦 + 超音波式
静電容量を介し検出するから完全貫通構造を実現 超音波式なので継ぎ目のない構造を実現
コイル
外部電極
通水部
外部電極
起電力
流速 磁界
コイル
ファラデーの法則による検出 “ 渦＋超音波 ”のハイブリッド検出
一般的な電磁式は通水部に接液した電極で起電力を検出 検出方式は、
“渦+超音波方式”を採用。振動の影響を
しますが、FD - M / FD - Uシリーズは通 水 部の 外側から 受けやすい“圧電素子”ではなく“超音 波”で渦を検出
静電容量を介して検出します。 するため、安定した高精度な流量検出が可能です。
受信素子
渦発生体
ファラデーの法則
液体の流れにより、
磁 場中に導電性 流体が一定 方向
流れ 渦 発 生 体 から発 生
に流れると、「管内径×磁束密度
起電力:E 超音波
流速:V した 渦 を 超 音 波 で
×平 均 流 速 」に 比例して 電 圧 が
検出します。
発生します。この電圧を測定する
ことにより、流量を測定します。
ハウジング
磁界:B 発信素子
FD-S FD-V40
コリオリ式 熱式
MEMS技術により高速応答を実現
あらゆる液体流量の検出が可能
※MEMS（Micro Electro Mechanical Systemの略）
M 3フローセンサチップ
〈実物大〉 3mm×6mm×0.4mm
ヒータ部拡大図 0.5
mm
1mm
コリオリの力 上流側ヒータ 下流側ヒータ
移動速度に比例した大きさで
ダイヤフラム
発生する慣性力の一種 ヒータ部断面拡大図 Si
コリオリ式による検出 M3 フローセンサチップによる検出
流 量に応じてフローパイプの入口と出口で、コリオリの M 3 フロー セン サチップ は M E M S 技 術 に より小 型 化
力が 発 生してパ イプ 振 動に抵 抗し、ねじれ角θが 発 生 を 実 現しました 。ま た、超 小 型・薄 型 の1μm ダイヤ
します。これを電気信号で読みとり流量換算しています。 フラム構 造により熱 伝導 率が向上し、高速 応答が 可能
になりました。
無風時 流量検知時
共振
流れ 流れ
流れていないとき 流れているとき 位相差信号
A B A'
出
θ
力
電
B'
圧 流量が多くなるとヒーターが熱を奪われて、ヒーター内の温度分布
A'の検出信号
が変化します。この温度分布の変化によって流量を検知します。
B'の検出信号
4
Detection Technology
Flow Sensor & Meter General Catalog
キーエンス ならで は の 検 出 技 術
FD-M FD-U FD-V70
電磁 + 静電容量式 渦 + 超音波式
静電容量を介し検出するから完全貫通構造を実現 超音波式なので継ぎ目のない構造を実現
コイル
外部電極
通水部
外部電極
起電力
流速 磁界
コイル
ファラデーの法則による検出 “ 渦＋超音波 ”のハイブリッド検出
一般的な電磁式は通水部に接液した電極で起電力を検出 検出方式は、
“渦+超音波方式”を採用。振動の影響を
しますが、FD - M / FD - Uシリーズは通 水 部の 外側から 受けやすい“圧電素子”ではなく“超音 波”で渦を検出
静電容量を介して検出します。 するため、安定した高精度な流量検出が可能です。
受信素子
渦発生体
ファラデーの法則
液体の流れにより、
磁 場中に導電性 流体が一定 方向
流れ 渦 発 生 体 から発 生
に流れると、「管内径×磁束密度
起電力:E 超音波
流速:V した 渦 を 超 音 波 で
×平 均 流 速 」に 比例して 電 圧 が
検出します。
発生します。この電圧を測定する
ことにより、流量を測定します。
ハウジング
磁界:B 発信素子
FD-S FD-V40
コリオリ式 熱式
MEMS技術により高速応答を実現
あらゆる液体流量の検出が可能
※MEMS（Micro Electro Mechanical Systemの略）
M 3フローセンサチップ
〈実物大〉 3mm×6mm×0.4mm
ヒータ部拡大図 0.5
mm
1mm
コリオリの力 上流側ヒータ 下流側ヒータ
移動速度に比例した大きさで
ダイヤフラム
発生する慣性力の一種 ヒータ部断面拡大図 Si
コリオリ式による検出 M3 フローセンサチップによる検出
流 量に応じてフローパイプの入口と出口で、コリオリの M 3 フロー セン サチップ は M E M S 技 術 に より小 型 化
力が 発 生してパ イプ 振 動に抵 抗し、ねじれ角θが 発 生 を 実 現しました 。ま た、超 小 型・薄 型 の1μm ダイヤ
します。これを電気信号で読みとり流量換算しています。 フラム構 造により熱 伝導 率が向上し、高速 応答が 可能
になりました。
無風時 流量検知時
共振
流れ 流れ
流れていないとき 流れているとき 位相差信号
A B A'
出
θ
力
電
B'
圧 流量が多くなるとヒーターが熱を奪われて、ヒーター内の温度分布
A'の検出信号
が変化します。この温度分布の変化によって流量を検知します。
B'の検出信号
4
FD-M s e r i e s
Flow Sensor & Meter General Catalog Flow Sensor
完全貫通構 造で
詰 まりにくい 流 量 センサ
検出範囲 0.15∼1000ℓ/min
口径 10A 20A 25A 50A
電極非接液型 電磁式流量センサ 使用可能流体：
・ 水 非腐食性液体
FD-M
導電率 ：5μS/cm 以上
接液部材質 ：SCS13、PPS、FKM
シリーズ
〔2MPa〕※
耐圧力
電磁式 + 静電容量式
検出原理
※ 使用圧力範囲は1MPa 以下。
■ 完全貫通構造 バリエーション
柱がない アンプ一体/電磁式（汎用）
羽もない 型式 検出範囲（ℓ/min）※1 配管方向 出力形態 価格（￥）
口径
電極もない FD-M5AT NPN
縦
定格範囲 0.25∼5
FD-M5ATP PNP
Rc3/8
98,000
（10A）
FD-M5AY NPN
横
表示範囲 0.15∼10
FD-M5AYP PNP
FD-M10AT NPN
縦
定格範囲 0.5∼10
FD-M10ATP PNP
Rc3/8 90,000
（10A）
FD-M10AY NPN
横
0.5∼30
表示範囲
FD-M10AYP PNP
FD-Mシリーズのメリット FD-M50AT NPN
縦
2.5∼50
定格範囲
Rc3/4
FD-M50ATP PNP
96,000
（20A）
メンテナンス低減 詰まり激減 FD-M50AY NPN
横
2.5∼100
表示範囲
FD-M50AYP PNP
一 般的な浮き子式や羽根車式と異なり、通 水部に可動部や障害物が全く FD-M100AT NPN
縦
5∼100
定格範囲
ない 完全貫通構造”
“ です。ゴミやサビなどが機構部に詰まるトラブルが FD-M100ATP PNP
Rc1 98,000
（25A）
FD-M100AY NPN
なく、メンテナンスが大幅に削減できます。 横
5∼200
表示範囲
FD-M100AYP PNP
※1 定格範囲の2倍まで表示可能です。
長寿命 可 動部の破損なし
可 動 部がないので 軸 やせなどの機 械 的な 消 耗がありません。 完 全貫通
“ アンプ分離/電磁式（汎用）
ヘッド アンプ
構造”により大幅な長寿命化を実現しました。
配管方向 価格
型式 （￥） 型式 タイプ 価格（￥）
検出範囲 ℓ/min）
（ ※1 口径
定格範囲
省エネルギー 0.5∼10 Rc3/8 FD-MA1A
圧 力損失激減 75,000
FD-MH10A
0.5∼30 （10A）
表示範囲 FD-MA2A DIN
35,000
“ 完全貫通構造”なので圧力損 失がほとんどありません。ポンプに大きな 取付
定格範囲 2.5∼50 Rc3/4 FD-MA1AP
81,000
FD-MH50A
2.5∼100 （20A）
表示範囲 FD-MA2AP
負担をかけないので、省エネルギーにつながります。 縦/横
定格範囲 5∼100 ※ 末尾1は親機、末尾2は子機
Rc1
90,000
FD-MH100A
5∼200 （25A）
表示範囲
絶縁性付着物に強い 通 水部に電極なし
型式 タイプ 価格（￥）
定格範囲
※2
25∼500 Rc2
211,000
FD-MH500A
従 来 の電 極 式は、 極 が 絶 縁 性付 着 物に 覆 われると検 出できませんで
電 FD-MA5A
表示範囲 25∼1000 （50A） パネル
35,000
FD-MA5AP 取付
※1 定格範囲の2倍まで表示可能です。
したが、
“完全貫通構造”のFD-Mシリーズは元々電気を通さない通水部の
※ パネルタイプにはパネル取付具が
※2 FD-MH500Aの500∼1000ℓ/min時は導電率20μS/cm以上です。
外から検出しているので、絶縁物が付着しても検出可能です。 付属しています。
6
FD-M s e r i e s
Flow Sensor & Meter General Catalog Flow Sensor
完全貫通構 造で
詰 まりにくい 流 量 センサ
検出範囲 0.15∼1000ℓ/min
口径 10A 20A 25A 50A
電極非接液型 電磁式流量センサ 使用可能流体：
・ 水 非腐食性液体
FD-M
導電率 ：5μS/cm 以上
接液部材質 ：SCS13、PPS、FKM
シリーズ
〔2MPa〕※
耐圧力
電磁式 + 静電容量式
検出原理
※ 使用圧力範囲は1MPa 以下。
■ 完全貫通構造 バリエーション
柱がない アンプ一体/電磁式（汎用）
羽もない 型式 検出範囲（ℓ/min）※1 配管方向 出力形態 価格（￥）
口径
電極もない FD-M5AT NPN
縦
定格範囲 0.25∼5
FD-M5ATP PNP
Rc3/8
98,000
（10A）
FD-M5AY NPN
横
表示範囲 0.15∼10
FD-M5AYP PNP
FD-M10AT NPN
縦
定格範囲 0.5∼10
FD-M10ATP PNP
Rc3/8 90,000
（10A）
FD-M10AY NPN
横
0.5∼30
表示範囲
FD-M10AYP PNP
FD-Mシリーズのメリット FD-M50AT NPN
縦
2.5∼50
定格範囲
Rc3/4
FD-M50ATP PNP
96,000
（20A）
メンテナンス低減 詰まり激減 FD-M50AY NPN
横
2.5∼100
表示範囲
FD-M50AYP PNP
一 般的な浮き子式や羽根車式と異なり、通 水部に可動部や障害物が全く FD-M100AT NPN
縦
5∼100
定格範囲
ない 完全貫通構造”
“ です。ゴミやサビなどが機構部に詰まるトラブルが FD-M100ATP PNP
Rc1 98,000
（25A）
FD-M100AY NPN
なく、メンテナンスが大幅に削減できます。 横
5∼200
表示範囲
FD-M100AYP PNP
※1 定格範囲の2倍まで表示可能です。
長寿命 可 動部の破損なし
可 動 部がないので 軸 やせなどの機 械 的な 消 耗がありません。 完 全貫通
“ アンプ分離/電磁式（汎用）
ヘッド アンプ
構造”により大幅な長寿命化を実現しました。
配管方向 価格
型式 （￥） 型式 タイプ 価格（￥）
検出範囲 ℓ/min）
（ ※1 口径
定格範囲
省エネルギー 0.5∼10 Rc3/8 FD-MA1A
圧 力損失激減 75,000
FD-MH10A
0.5∼30 （10A）
表示範囲 FD-MA2A DIN
35,000
“ 完全貫通構造”なので圧力損 失がほとんどありません。ポンプに大きな 取付
定格範囲 2.5∼50 Rc3/4 FD-MA1AP
81,000
FD -MH50A
2.5∼100 （20A）
表示範囲 FD-MA2AP
負担をかけないので、省エネルギーにつながります。 縦/横
定格範囲 5∼100 ※ 末尾1は親機、末尾2は子機
Rc1
90,000
FD-MH100A
5∼200 （25A）
表示範囲
絶縁性付着物に強い 通 水部に電極なし
型式 タイプ 価格（￥）
定格範囲
※2
25∼500 Rc2
211,000
FD-MH500A
従 来 の電 極 式は、 極 が 絶 縁 性付 着 物に 覆 われると検 出できませんで
電 FD-MA5A
表示範囲 25∼1000 （50A） パネル
35,000
FD-MA5AP 取付
※1 定格範囲の2倍まで表示可能です。
したが、
“完全貫通構造”のFD-Mシリーズは元々電気を通さない通水部の
※ パネルタイプにはパネル取付具が
※2 FD-MH500Aの500∼1000ℓ/min時は導電率20μS/cm以上です。
外から検出しているので、絶縁物が付着しても検出可能です。 付属しています。
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