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測 定 器・変 位 セ ン サ

改善事例集



Ｐ Ｐ ブ高さ
Ｄリ
・ 高精度ＸＹステージの 液晶パネル偏光板の
1 2 3
形状測定
停止精度確認 傷の形状 深さ測定

・ 液晶パネルの偏光板の傷の形状
露 光機などの高精度加工ステージ
● プラズマディスプレイ基板表面のリ
●
●
や深さを測定します。
の停止精度の測定を行います。 ブ（隔壁）の高さ 形状を測定します。

・
● モニタ出力機能により、表面形状デ
●± ０
４ ｍｍのワイドレンジと ． ｍの
０５μ
● 分解能 .0１ ｍで測定する とが可
０μ こ
ータをテレビモニタ上に形状波形と
高分解能により、大型基板用のス 能です。
して出力する とがで 画面上で深
こ き、
テージの停止精度測定にも対応し
高精度ダブルスキャン方式により、

● さや形状を確認する と
こ が可能です。
ます。
色の影響を受けず小さ リ （隔壁）
なブ
の形状も正確に捉え こ がで ま
る と き す。




Ｃ レーザ変位計 ＬＫ-Ｇ リーズ Ｌ シリーズ
Ｔ Ｌ シリーズ
Ｔ
高速 高精度Ｃ Ｄ
・ ダブルスキ ン
ャ レーザ測定器 ダブルスキ ン
ャ レーザ測定器
シ




カラーフィルタ 液晶基板検査機の タッチパネルの
4 5 6
Ｒ Ｂ画素の高さ測定
Ｇ オー フ
ト ォーカス ギャップ量測定
液晶基板のカラーフ ルタの表面形
ィ 液晶基板表面検査装置の高倍率
● タッチパネルの張り合わせギャップ
●
●
状やRGB画素の各色の高さの違い 対物レンズの高さ制御を行います。 量を測定します。
を測定 ます。
し
● ワーク表面をセンシングするＡ Ｌ
ＢＥ
● 高精度ダブルスキャン方式により、
分解能 .0１ ｍで測定する とが可
０μ こ 機能によ パターン面の影響を受
り、 透明体の厚み、 ャ プ量の測定を
ギッ
●
能です。 けずに ． μ
００ ｍの高分解能で安定
１ 正確に行な こ
う とがで ます。
き
制御が可能です。
高精度ダブルスキャ ン方式により対
●
象物の色の違いによ る影響を受けず、
また2μmの極小スポットで測定する
ことができるため、小さな画素の高さ
を捉える とがで ます。
こ き




Ｃ レーザ変位計 ＬＫ-Ｇ リーズ
Ｌ シリーズ
Ｔ Ｌ シリーズ
Ｔ
高速 高精度Ｃ Ｄ

・ シ
ダブルスキ ン
ャ レーザ測定器 ダブルスキ ン
ャ レーザ測定器




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