仕様
■ 基 本仕様
VE-9800
型式
15∼100000 倍※1
倍率
（ ×1 μ
9 H） （V）
（ ×7 mm∼1.3 H） （V） ｍ
観察範囲
8nm
分解能
2次電子像 反射電子像※2
・ 観察像
※3
高真空 低真空
・ （3∼260Pa）
観察モード
640 H） 480 V）
（×（
観察時
表示分解能
1280 H） 960 V）
（×（
撮影時
4.5F/S
（観察時）
フレームレート
TIFF・JPG
2D像
画像保存形式
TIFF・JPG・EXE
（再生機能付き） （動画）
・AVI
3D像
0.5∼20kV
加速電圧
タングステンヘアピン アジ ト ン フ ーカー リ ジ式
・ ャス メ ト リ トッ
電子銃
φ64mm
最大試料サイズ
5軸
・・・ （X Y Z 回転 傾斜）
・ ユーセン リ ク式
・・ ト ッ （X Y 傾斜軸電動）
試料ステージ
X：32mm・Y：32mm・Z：8∼30mm・回転：360°
・傾斜：−10∼＋90°
カラーカ ラ
メ
試料室内確認機能
：Windows XP Professional SP2 ※4
専用ワークステーシ ン OS
ョ
制御部
AC100V±10% 50 / 60Hz
電源電圧
電源
1500VA以下
消費電力
＋15∼＋30℃
使用周囲温度
耐環境性
70％以下
（結露なきこと）
使用周囲湿度
幅 395×高さ975×奥行 670mm
本体
外形寸法
幅 500×高さ365×奥行 170mm
外部ポンプ
約 125kg
本体
質量
約 27kg
外部ポンプ
※1 最小 最大観察倍率は、
・ 観察モー
・ ド 対象物により変わります。
※2 ロビンソン検出器による反射電子像観察機能はオプシ ン設定です。
ョ
※3 低真空観察モー ドはオプシ ン設定です。
ョ
※4 Windows XP は米国マイクロソフト社の登録商標です。
■ ソフトウェア部
操作モード オー （フローチャー
ト トによるガイダンス）マニュアル
・
観察条件設定補助機能 観察条件の異なる画像を4枚連続自動取得（取得条件変更可）
ナビゲーシ ン機能
ョ 視野40mmの試料全景図（カラー）による
マルチウインドウ機能 観察位置表示 広域画像表示 比較画像表示
・
・
観察時自動調整機能 光軸 フォ
・ ーカス 非点収差 コン
・
・ トラスト／ 明る
・ さ フルオート
描画平均回数設定 1回∼128回
高速描画機能 自動
リアルタイム画像補正機能 シャープネス ハイ ト除去 ガンマ補正
・ ライ
・
帯電除去機能 自動
分割表示機能 2分割（水平 垂直）
・ ・4分割
コメ ト機能
ン 文字 記号の観察像内追記
・
メモ機能 全角256文字まで画像ファイル内に保存
保存画像改善機能 明る
・ トラス
・ イ
さ コン ト ノ ズ除去
自動レポート作成機能 表計算ソフトへの観察像 観察条件自動出力
・
観察条件登録機能 自動
計測機能※5 2点間・半径・直径・円中心間距離・角度・垂線距離・平行線間距離 カウン
・XY同時計測・面積・
・ ト 自動計測
3D観察機能 回転・傾斜・ズーム・ ドビュー
ワイ （2D広視野表示）
・照明シ ュ
ミ レーシ ン
ョ
3D構築補助機能 ナビゲーシ ンによる観察視野指示
ョ
3D計測機能※6 試料任意区間プロファイル計測・高さカラー表示・2画面比較
元素分析機能※7 定性・定量・ ッ
マ ピング
メンテナンス時自動調整機能 エッョ
ミ シ ン電流設定・光軸補正メ リ
モ
・非点収差補正メ リ
モ
操作ガイド表示 試料交換・観察テクニッ
・加速電圧調整 非点収差調整・ ッ
ク
・ スポ ト径調整・ ンテナンス
メ
※5 計測機能はオプシ ン設定です。
ョ
※6 3D計測機能はオプシ ン設定です。
ョ
※7 元素分析機能はオプシ ン設定です。
ョ
23
仕様
■ 基 本仕様
VE-9800 VE-8800
型式
15∼100000倍※1 15∼100000倍※1
倍率
9（H） （V）
×7 mm∼1.3（H） （V）
×1 μｍ 9（H） （V）
×7 mm∼1.3
（H） （V）
×1 μｍ
観察範囲
8nm 30nm
分解能
2次電子像・反射電子像※2 2次電子像・反射電子像※2
観察像
※3 ※3
高真空・低真空（3∼260Pa） 高真空・低真空（3∼260Pa）
観察モード
640（H）×480（V） 640（H）×480（V）
観察時
表示分解能
1280（H）×960（V） 1280（H）×960（V）
撮影時
4.5F/S（観察時） 4.5F/S（観察時）
フレームレート
TIFF・JPG TIFF・JPG
2D像
画像保存形式
TIFF・JPG・EXE（再生機能付き）・AVI 動画）
（ TIFF・JPG・EXE（再生機能付き）・AVI 動画）
（
3D像
0.5∼20kV 0.5∼20kV
加速電圧
タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式 タングステンヘアピン・アジャストメントフリーカートリッジ式
電子銃
φ64mm φ64mm
最大試料サイズ
5軸（X・ Z
Y・
・回転・傾斜）ユーセントリック式（X・Y・傾斜軸電動） 5軸
・ Z
（X Y・
・回転・傾斜）ユーセントリック式（XY軸電動）
試料ステージ
X：32mm・Y：32mm・Z：8∼30mm・回転：360°
・傾斜：−10∼＋90° X：32mm・Y：32mm・Z：8∼30mm・回転：360°
・傾斜：−10∼＋90°
カラーカメラ※4
カラーカメラ ビューポート・
試料室内確認機能
専用ワークステーション OS：Windows XP Professional SP2※5 専用ワークステーション OS：Windows XP Professional SP2※5
制御部
AC100V±10% 50/60Hz AC100V±10% 50/60Hz
電源電圧
電源
1500VA以下 1500VA以下
消費電力
＋15∼＋30℃ ＋15∼＋30℃
使用周囲温度
耐環境性
70％以下（結露なきこと） 70％以下（結露なきこと）
使用周囲湿度
幅395×高さ975×奥行670mm 幅395×高さ975×奥行650mm
本体
外形寸法
幅500×高さ365×奥行170mm 幅500×高さ365×奥行170mm
外部ポンプ
約125kg 約120kg
本体
質量
約27kg 約27kg
外部ポンプ
※1 最小・最大観察倍率は、観察モード・対象物により変わります。 ※3 低真空観察モードはオプション設定です。 ※5 Windows XPは米国マイクロソフト社の登録商標です。
※2 ロビンソン検出器による反射電子像観察機能はオプション設定です。 VE-8800のカラーカメラはオプション設定です。
※4
■ 各種機能
操作モード オート（フローチャートによるガイダンス） マニュアル
・ 観察条件設定補助機能 観察条件の異なる画像を4枚連続自動取得（取得条件変更可）
ナビゲーション機能※6 視野40mmの試料全景図（カラー）による
マルチウインドウ機能 観察位置表示・広域画像表示・比較画像表示
観察時自動調整機能 光軸・フォーカス・非点収差・コントラスト／明るさ フルオート
・ 描画平均回数設定 1回∼128回
高速描画機能 自動
リアルタイム画像補正機能 シャープネス ハイライ
・ ト除去・ガンマ補正
帯電除去機能 自動
分割表示機能 2分割（水平・垂直）・4分割
コメント機能 文字・記号の観察像内追記
メモ機能 全角256文字まで画像ファイル内に保存
保存画像改善機能 明るさ コントラスト・
・ ノイズ除去
自動レポート作成機能 表計算ソフトへの観察像・観察条件自動出力
観察条件登録機能 自動
計測機能※7 2点間・半径・直径・円中心間距離・角度・垂線距離・平行線間距離・カウント・XY同時計測・面積・自動計測
回転・傾斜・ズーム・ワイドビュー（2D広視野表示）・照明シミュレーション
3 D観察機能
ナビゲーションによる観察視野指示
3D構築補助機能
3D計測機能※8 試料任意区間プロファイル計測・高さカラー表示・2画面比較
元素分析機能※9 定性・定量・マッピング
エミッション電流設定・光軸補正メモリ・非点収差補正メモリ
メンテナンス時自動調整機能
試料交換・観察テクニック 加速電圧調整・非点収差調整・
・ スポット径調整・メンテナンス
操作ガイド表示
※6 VE-8800にはオプションのカラーカメラが必要です。 ※7 計測機能はオプション設定です。 ※8 3D計測機能はオプション設定です。 ※9 元素分析機能はオプション設定です。
■ ソ フト部（詳 細モジュール）
スキャン回転機能 ステージを回さずに画像を回転する機能
ガイダンス画面表示機能 各種操作の補足説明画面を表示する機能
計測結果をMicrosoft Excelファイル形式のレポートとして出力する機能※10
レポート機能
オート機能 フォーカス、明るさ・コントラスト、非点、光軸の自動調整機能
除電機能 試料の帯電を取り除く機能
観察倍率の高倍率設定機能 観察倍率の上限設定を10万倍にする機能
加速電圧の高加速電圧設定機能 加速電圧の上限設定を20kVにする機能
※10 Excelは米国マイクロソフト社の登録商標です。
23
翻訳キーワード集
