3D計測機能
通常の2次元画像上の計測だけ 断面計測 体積計測
ではなく、3次元空間内で計測が
可能です。視覚的に確認で ま
き、 た、
従来の断面プロフ イ
ァ ル上では計
測できなかった面角度や面間隔も
計測でき よ にな ま
る う り した。
3次元画像上の任意の断面の形状を計測できます。 次元画像上の任意の直方体で囲まれた部分の体積を計測で ます。
き
面角度計測 面間隔計測
ＣＤ
Ｃ レンズ（15.3×11.3μｍ）
3次元画像上の任意の2平面が交差する角度を計測できます。 ３次元画像上の平行な2面の間隔を立体的に計測できます。
3D比較機能 3D動画保存機能
2種類の3次元データを同時に表示し、同期を取りながら回転、 操作した 次元画像の動き
３ を動画保存（AVIフ イ でき
ァ ル） ます。
縮尺変更等の操作がで ます。
き 重ね合わせたときの形状の違いを PowerPointに貼り付けて動画プレゼンを行な こ も可能です。
うと
確認する機能もついています。 ※PowerPointは米国マイクロソフト社の登録商標です。
磁気記録媒体（3.3×2.5μm）の計測結果動画報告書
磁気記録媒体（3.3×2.5μm）の表面構造差観察例
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3D計測機能
通常の2次元画像上の計測だけ 断面計測 体積計測
ではなく、3次元空間内で計測が
可能です。視覚的に確認で ま
き、 た、
従来の断面プロフ イ
ァ ル上では計
測できなかった面角度や面間隔も
計測でき よ にな ま
る う り した。
3次元画像上の任意の断面の形状を計測できます。 次元画像上の任意の直方体で囲まれた部分の体積を計測で ます。
き
面角度計測 面間隔計測
ＣＤ
Ｃ レンズ（15.3×11.3μｍ）
3次元画像上の任意の2平面が交差する角度を計測できます。 ３次元画像上の平行な2面の間隔を立体的に計測できます。
3D比較機能 3D動画保存機能
2種類の3次元データを同時に表示し、同期を取りながら回転、 操作した 次元画像の動き
３ を動画保存（AVIフ イ でき
ァ ル） ます。
縮尺変更等の操作がで ます。
き 重ね合わせたときの形状の違いを PowerPointに貼り付けて動画プレゼンを行な こ も可能です。
うと
確認する機能もついています。 ※PowerPointは米国マイクロソフト社の登録商標です。
磁気記録媒体（3.3×2.5μm）の計測結果動画報告書
磁気記録媒体（3.3×2.5μm）の表面構造差観察例
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多 様 な 計 測 をサポートする便 利 な 機 能
解 析ソフトウエア VK-Analyzer Plus］オプション
［
N EW
凹 凸部計測 位 置補正機能 球 面角度計測
・ 業界初
□ 凹部計測 □ 自動 位置 補 正 □ 球計測
□ 凸部計測 □ 高さ差 分 解 析 □ 面角度計測
事前に標準試料を登録し、別の画像をテン 指 定した領域において、半径を近似円に
指 定した高さしきい値よりも上部（凸部）
プレートで開く時に、登録した資料と同じ より自動抽出できます。目あわせでの任意
または、 （凹部）
下部 の領域を空間毎に分離
位置になるよう自動的に位置補正を行ない 点ではなく、自動抽出のため、測定ばらつき
して、それぞれの領域について計測を行
ます。n数を多く測定する際に有効です。 を抑えることができます。
なうことができます。
凹部計測 球 計測
自動位置補正
傾 いてる画像を 自動的に位置補正
金属部品表面処理後（×3000） ワイヤーボンディング（×1000） マイクロレンズ（×1000）
凸部計測 高さ差分解析機能
粒 子解析機能 オプション
粒子（円）形状が視野範囲内に多数ある
対象物に対して、自動で「円形分離」
「膨張」
「縮退｣処理を行ない、隣接する円形状の
自動分離などの計測前処理後に｢個数」
「粒径」
「長径 短径」
・ の計測を行なえます。
金属粒子
（×1000）
2 つの画像の中での差分を立体的な3次元画像と
して解析します。面での解析が可能なため、微小な
変化を捉えることができます。
バンプ（×2000）
19
■ 仕様
AFM部
型式 VN-8000 / VN-8010 VN-8000M / VN-8010M
XY方向 200nm∼200μm
観察範囲
±10μm
Z方向
垂直分解能 0.3nm
スキャンモード 通常スキ ン
ャ （面スキ ン） ンスキ ン
ャ /ライ ャ
検出方式 自己検知式
観察モード コンタ ト/DFM/SS
ク
サンプリング数 最大4096×4096
B.F.M.構造※1
除振機構
アプローチ補助機構 サイドビューカ ラ
メ
16mm
試料最大高さ
最大試料サイズ
直径100mm全面観察可能
試料最大大きさ
XYステージ ストローク 電動 20mm 手動 20mm
電動Zステージ 20mm
ストローク
θステージ 360度
回転
ステージ耐荷重 1kg
※2
データ処理部 弊社指定専用PC
（OS WindowsXP）
：
PCインターフェース IEEE1394
AC100∼240V±10% 50/60Hz
電源電圧
電源 300VA以下
消費電力
+18∼+28℃
使用周囲温度
耐環境性
20∼70％（結露なきこと）
使用周囲湿度
幅363×高さ350×奥行227mm
測定部
外形寸法
幅160×高さ405×奥行356mm
コントローラ部
23.7kg
測定部
質量 11.2kg
コントローラ部
マイクロスコープ部
光学レンズ 専用設計ズームレンズ（RZレンズ）
17型モニタ上倍率 250×∼1250×
観察範囲 1000
（H）×750
（V）
μm∼200
（H）×150
（V）
μm
撮像素子 CCDイ ージセンサ
メ
フレームレート 15F/S
ホワイトバランス プッシュセ ト/マニュアル
ッ
画像改善 フレアキ ンセル/エ ジ強調/ガンマ補正/オフセ ト/モノ
・ リ
ャ ッ ッ クロ レ ーフ
光学ズーム 電動ズーム ズーム倍率5倍
フォーカス 電動フォーカス
照明 電動照明絞り
光源 100Wハロゲンランプ
深度合成（3D作成）機能 手動任意設定/自動設定（倍率に応じて）
ソフトウエア部
操作モード フローチャートによるeガイダンス方式
スキャン範囲設定方式 マウスによる観察画像（光学像/AFM像と 直接 ッ
も） ドラ グ/座標入力
観察条件保存 保存/読取機能
観察画像 高低像/高低微分像/3D像/リアルカラーAFM像/リアルカラーAFM3D像
表示倍率/階調補正/表示画像/傾き補正/カラーパレ ト設定/ライ
ッ ンプロファイル表示設定/
観察画像設定機能
水平計測線位置設定/計測線色設定
プロファイル/段差/線粗さ/面粗さ/体積/表面積/プロファイル比較/断面R/断面突出量/断面磨耗量/
※3
計測機能
断面角度/各種2次元計測
バーチャル ッ
トラ クボール方式
※4
3D機能
回転/傾斜/縮尺変更/ワイドビュー/照明シ ュ
ミ レーシ ン/3Dプロファイル/3D体積/3D面角度/3D面間隔/3D比較
ョ
保存形式 JPG/TIFF/AVI
（3D像のみ） （専用拡張子）
/TAO /TOD
（専用拡張子） （専用拡張子）
/TOP
データ出力※5 CSVデータ/CADデータ
（STEP ASC）
・ ト機能※6
レポー 任意レイアウト/お薦めレイアウト
画像連結機能※7 AIAシステム※8 最大10×10枚
※1 Base Floating Mechanismの略
※2 WindowsXPは米国マイ クロソフト社の登録商標です。
※3∼7 システム構成によ り変わり ます。
※8 Accurate Image Assemblyの略
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■ 仕様
AFM部
型式 VN-8000 / VN-8010 VN-8000M / VN-8010M
XY方向 200nm∼200μm
観察範囲
±10μm
Z方向
0.3nm※1
垂直分解能
表示垂直分解能 0.0012nm
スキャンモード 通常スキ ン
ャ （面スキ ン） ンスキ ン
ャ /ライ ャ
検出方式 自己検知式
観察モード コンタ ト/DFM/SS
ク
サンプリング数 最大4096×4096
B.F.M.構造※2
除振機構
アプローチ補助機構 サイドビューカ ラ
メ
16mm
試料最大高さ
最大試料サイズ
直径100mm全面観察可能
試料最大大きさ
XYステージ ストローク 電動 20mm 手動 20mm
電動Zステージ 20mm
ストローク
θステージ 360度
回転
ステージ耐荷重 1kg
※3
データ処理部 弊社指定専用PC
（OS WindowsXP）
：
PCインターフェース IEEE1394
AC100∼240V±10% 50/60Hz
電源電圧
電源 300VA以下
消費電力
+18∼+28℃
使用周囲温度
耐環境性
20∼70％（結露なきこと）
使用周囲湿度
幅363×高さ350×奥行227mm
測定部
外形寸法
幅160×高さ405×奥行356mm
コントローラ部
23.7kg
測定部
質量 11.2kg
コントローラ部
マイクロスコープ部
光学レンズ 専用設計ズームレンズ（RZレンズ）
17型モニタ上倍率 250×∼1250×
観察範囲 1000
（H）×750
（V）
μm∼200
（H）×150
（V）
μm
撮像素子 CCDイ ージセンサ
メ
フレームレート 15F/S
ホワイトバランス プッシュセ ト/マニュアル
ッ
画像改善 フレアキ ンセル/エ ジ強調/ガンマ補正/オフセ ト/モノ
・ リ
ャ ッ ッ クロ レ ーフ
光学ズーム 電動ズーム ズーム倍率5倍
フォーカス 電動フォーカス
照明 電動照明絞り
光源 50Wハロゲンランプ
深度合成（3D作成）機能 手動任意設定/自動設定（倍率に応じて）
ソフトウエア部
操作モード フローチャートによるeガイダンス方式
スキャン範囲設定方式 マウスによる観察画像（光学像/AFM像と 直接 ッ
も） ドラ グ/座標入力
観察条件保存 保存/読取機能
観察画像 高低像/高低微分像/3D像/リアルカラーAFM像/リアルカラーAFM3D像
表示倍率/階調補正/表示画像/傾き補正/カラーパレ ト設定/ライ
ッ ンプロファイル表示設定/
観察画像設定機能
水平計測線位置設定/計測線色設定
プロファイル/段差/線粗さ/面粗さ/体積/表面積/プロファイル比較/断面R/断面突出量/断面磨耗量/
※4
計測機能
断面角度/各種2次元計測
バーチャル ッ
トラ クボール方式
※5
3D機能
回転/傾斜/縮尺変更/ワイドビュー/照明シ ュ
ミ レーシ ン/3Dプロファイル/3D体積/3D面角度/3D面間隔/3D比較
ョ
保存形式 JPG/TIFF/AVI
（3D像のみ） （専用拡張子）
/TAO /TOD
（専用拡張子） （専用拡張子）
/TOP
データ出力※6 CSVデータ/CADデータ
（STEP ASC）
・ ト機能※7
レポー 任意レイアウト/お薦めレイアウト
画像連結機能※8 AIAシステム※9 最大10×10枚
※1 判別可能な最小段差を表しています。 ※2 Base Floating Mechanismの略
※3 WindowsXPは米国マイ クロソフ ト社の登録商標です。 ※4∼8 システム構成によ り変わります。
※9 Accurate Image Assemblyの略
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多様な計測をサポー す 便利な機能
トる
解析ソフ ウ ［VK-Analyzer Plus］オプション
ト ェア
NEW
凹凸部計測 位置補正機能 球 面角度計測
・ 業界初
□ 凹 部計測 □ 自動 位置 補 正 □球 計 測
□ 凸 部計測 □ 高さ差 分 解 析 □面 角 度 計 測
事 前に標 準 試 料を登 録し、 の 画 像をテン
別 指 定した領域において、半径を近似円により
指定した高さしきい値よりも上部（凸部）また
プレートで開く時に、登録した資料と同じ位置 自動抽出できます 目あわせでの任意点では
。
は、 （凹部）
下部 の領域を空間ごとに分離して、
になるよう自動的に位置補正を行ないます。 なく、自動抽出のため、測定ばらつきを抑える
それぞれの領域について計測を行なうことが
n数を多く測定する際に有効です。 ことができます。
できます。
凹部計測 球計測
自動位置補正
傾いてる画像を 自動的に位置補正
金属部品表面処理後（×3000） ワイヤボンディ （×1000）
ング マイクロレンズ（×1000）
凸部計測 高さ差分解析機能
粒子解析機能 オプション
粒子（円）形状が視野範囲内に多数ある対象
物 に 対して、 動 で 円 形 分 離 」 膨 張 」
自 「 「
「 縮 退 ｣ 処 理を行ない 、 接 する円 形 状の
隣
自動分離などの計測前処理後に｢個数」
「粒径」
「長径 短径」
・ の計測を行なえます。
金属粒子
2つの画像の中での差分を立体的な3次元画像として （×1000）
解析します。面での解析が可能なため、微小な変化を
捉えることができます。
バンプ（×2000）
24
翻訳キーワード集
