NEW 形状測定レーザマイクロスコープ
VK-8700/9700 Generation
1
3 “形状測定”
レーザマイ ロ コープ
クス
“測る” 突き詰めた、 ク ス プ新登場
を マイ ロ コー
光学顕微鏡
SEM
粗さ計
1台のマイ ロ コープ
クス
にな ま た。
りし
NEW
形状測定レーザマイクロスコープ
VK-8700/9700 GenerationⅡ
31
レーザマイ ロ コープな
クス ら
カラー、解像度、形状測定、 レーザマイクロスコープ画像 対象物の色 かたち
・ を忠実に再現
す べて
すべてを簡単に求めるなら、
解決
レーザマイクロスコープ
比べてください。できること
レーザ
光学顕微鏡 SEM 粗さ計
マイクロスコープ
○ × ○ ○
前処理不要
高解像度
× ○ × ○
超深度観察
○ × × ○
カラー観察
× × ○
△
3次元測定
※一般的な光学顕微鏡、SEM、粗さ計との比較です。
3
光 学 顕 微 鏡 の 手 軽 さ で 、 S E M ］ 粗 さ 計 ］の 解 析 が こ れ 一 台
［ ［
比 べ てください 。できること
＋ ＋
レーザ顕 微 鏡
光学顕微鏡 SEM 粗さ計
VK-9700
○ × ○ ○
前処理不要 光学顕微鏡 SEM 粗さ計
手軽さ 高解像度 超深度
・ 形状測定
高解像度
× ○ × ○
超深度観察
○ × × ○
カラー観 察
× × ○
3次元測定
カラー3Dレーザ顕微鏡
※一般的な光学顕微鏡、SEM、粗さ計との比較です。
ここまで できる の はレ ー ザ 顕 微 鏡 だ け
S E M 並 の 鮮 明さ この 解 像 度でリアルカラー 分 解 能 0 . 0 0 1μｍの 高 精 度
高 解 像 度・超 深 度 リアルカラー観 察 非接触3次元測定
HEPAフ ルタ
ィ （×1000） HDリアルカラー超深度画像 カラー印刷表面（×1000） 3D画像＋断面プロファイル 光学シー （×1000）
ト
レーザ光量超深度画像
短波長バイ レ ト
オ ッ レーザを採用し、
最高18000 短波長レーザと白色光源を併用することで、 観察視野全域の3次元データ レーザで取得。
を
倍の高解像度を実現する と
と もに、観察視野 高解像度と色情報を両立したHDリアルカラー 非接触なので様々な対象物に対応する え、
う
全てに焦点が合った超深度画像で観察可能。 超深度画像での観察を実現しました。 高精度で多彩な3次元解析が行なえます。
3
光 学 顕 微 鏡 の 手 軽 さ で 、 S E M ］ 粗 さ 計 ］の 解 析 が こ れ 一 台
［ ［
比 べ てください 。できること
＋ ＋
レーザ顕 微 鏡
光学顕微鏡 SEM 粗さ計
VK-9700
○ × ○ ○
前処理不要 光学顕微鏡 SEM 粗さ計
手軽さ 高解像度 超深度
・ 形状測定
高解像度
× ○ × ○
超深度観察
○ × × ○
カラー観 察
× × ○
3次元測定
カラー3Dレーザ顕微鏡
※一般的な光学顕微鏡、SEM、粗さ計との比較です。
ここまで できる の はレ ー ザ 顕 微 鏡 だ け
S E M 並 の 鮮 明さ この 解 像 度でリアルカラー 分 解 能 0 . 0 0 1μｍの 高 精 度
高 解 像 度・超 深 度 リアルカラー観 察 非接触3次元測定
HEPAフ ルタ
ィ （×1000） HDリアルカラー超深度画像 カラー印刷表面（×1000） 3D画像＋断面プロファイル 光学シー （×1000）
ト
レーザ光量超深度画像
短波長バイ レ ト
オ ッ レーザを採用し、
最高18000 短波長レーザと白色光源を併用することで、 観察視野全域の3次元データ レーザで取得。
を
倍の高解像度を実現する と
と もに、観察視野 高解像度と色情報を両立したHDリアルカラー 非接触なので様々な対象物に対応する え、
う
全てに焦点が合った超深度画像で観察可能。 超深度画像での観察を実現しました。 高精度で多彩な3次元解析が行なえます。
3
分 解 能 1nm
先 進 解 析 を 実 現 する
カラ ー 3 D レ ー ザ 顕 微 鏡
光 学 顕 微 鏡 の 手 軽 さで 、
［ S E M ］ 粗 さ計 ］ 解 析 がこ れ 一 台
［ の
＋ ＋
光学顕微鏡 SEM 粗さ計
手軽さ 高解像度 超深度
・ 形状測定
レーザ顕微鏡は、SEM並の鮮明な画像を
カラーで観察でき、非接触で高精度3次元
前処理
測定が可能。しかも手間や時間をかけず
不要
NEW カラー3Dレーザ顕微鏡
に手軽に作業できます。対象物に対して、
VK-9700 / 9710
蒸着 切断 加工など前処理は一切不要です。
・・ G enerationⅡ
2
「光学顕微鏡」・
「SEM」 さ計」
・ 「粗
の問題点をレーザで解決し ら、
た
光学顕微鏡
◎解像度、観察倍率に限界がある
問題点 ◎凹凸があるとピントが合わない
◎トレーサビリティがとれた形状測定ができない
カラーコピー（×1000） 光学顕微鏡画像
SEM
◎観察画像が白黒で、色の判断ができない
問題点 ◎前処理や観察に時間がかかる
◎サンプルサイズに制限がある
白黒の高解像度画像
粗 さ計
◎接触式なのでサンプルに傷が付く
◎測りたい場所をうまく狙えない
問題点
◎触針の先端径（R:2μm）が分解能の限界
高さプロファイル
2
ナノメートルの世界を
ブルーレイディ ク
ス （1.8×1.35μm）
キーエンスが提案する新しいAFM
ナノ領域の解析が、誰でも簡単に行なえたら
・
・・ というコンセプトで生まれた顕微鏡がＶＮ-8000です。
デジタルマイクロスコープVHXシリーズで培った卓越した光学技術と
AFMを融合することで、
従来に無い全く新しい顕微鏡を作り出すことができ した。
ま
光学 原子間力
HYBRID
ニオブ蒸着膜（0.8×0.6μm）
形状測定例 3次元解析例
AFM
（Atomic Force Microscope 原子間力顕微鏡） SEM
： は （電子顕微鏡）
を超える高倍率領域を 次元で解析可能です。
３ SEMでは断面カ トする必要が
ッ
あったZ方向の高さ をナノ オーダで測定でき ます。
2
ナノメートルの世界を
ブルーレイディ ク
ス （1.8×1.35μm）
キーエンスが提案する新しいAFM
ナノ領域の解析が、誰でも簡単に行なえたら
・
・・ というコンセプトで生まれた顕微鏡がＶＮ-8000です。
デジタルマイクロスコープVHXシリーズで培った卓越した光学技術と
AFMを融合することで、
従来に無い全く新しい顕微鏡を作り出すことができ した。
ま
光学 原子間力
HYBRID
ニオブ蒸着膜（0.8×0.6μm）
形状測定例 3次元解析例
AFM
（Atomic Force Microscope 原子間力顕微鏡） SEM
： は （電子顕微鏡）
を超える高倍率領域を 次元で解析可能です。
３ SEMでは断面カ トする必要が
ッ
あったZ方向の高さ をナノ オーダで測定でき ます。
2
今回ご紹介の機種について、
そ れ ぞ れ 単 品 カ タ ロ グ も ご 用 意 し て お りま す 。
デジタルマイクロスコープ（光学顕微鏡） 動き解析マイクロスコープ（高速度カメラ） 画像寸 法 測 定器（投 影 機・測 定 顕 微 鏡）
3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡（SEM）
カラー3Dレーザ顕微鏡（レーザ顕微鏡）
顕微鏡 機能別一覧表
マルチアングル 2次元 3次元 ハイスピード 粗さ 元素
機 種
観察 計測 表示 計測
・ 撮影 計測 分析
＿ ＿ ＿
デジタルマイクロスコープ
◎ ◎ ◎
VHX-1000
＿ ＿
動き解析マイクロスコープ
◎ ◎ ○ ◎
VW-6000 （表示のみ）
＿ ＿ ＿
カラー3Dレーザ顕微鏡
◎ ◎
◎
VK-9700 GenerationⅡ
＿ ＿
3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡
◎ ◎ ◎
◎
VE-9800
∼ 光 学 技 術とデジタル 技 術 究 極 の 融 合 ∼
キー エンスが お 届 け する
顕 微鏡 測定器のご案内
・ 最新
磨き抜かれた光学技術と先進のデジタル技術を融合し、
従来の機器では出来なかった観察／解析を実現する数々の先進技術を搭載 。
お客様のアプリケーシ ンを熟知したキーエンスが、
ョ 研究開発、製造、品質管理、
全ての業務におけるQUALITY COST DELIVERY の
・
・ 品質 コ スト 納期
改善に役立つ機器をご提案します 。
■ 顕微鏡 倍率別・機能別・セレクション
倍率や機能からお選びいただけます。
機能 ［レーザ顕微鏡］
3次元計測・粗さ測定
（VK）
VK Series
3D表示・計測 ［光学顕微鏡］
カラーレーザ顕微鏡
（VHX・VE・VK）
2次元計測
VHX Series
（VHX・VE・VK）
デジタルマイクロスコープ
マルチアングル観察
（VHX・VE） ［SEM］
VE Series
元素分析（VE） 3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡
倍 率 モニタ倍率 ×1 ×10 ×100 ×1000 ×10000 ×100000
視 野 視野 30mm 3mm 0.3mm 0.03mm 3m
μ
∞ 300mm
実体顕微鏡
金属顕微鏡
SEM（走査型電子顕微鏡）
2
翻訳キーワード集
