ダブルスキャン高精度レーザ測定器
NEW
LT-9000シリーズ総合
高精度ダブルスキャン方式
世界初
従来比10倍、
高分解能0.01μm
高精度ダブルスキャ ン方式により
あらゆるワークの測定が可能に
音叉ユニッ と揺動ユニッ を組み合わせた
ト ト
高精度ダブルスキャン方式で
材質、 傾きに影響を受けない
色、
変位 形状測定器が誕生しま
・ した。
BGAの形状測定
LT-9000
ダブルスキャン
シリーズ
高精度レーザ測定器
半導体レーザ
ピンホール
受光素子
照明用LED
CCDカメラ
Ｚ軸スキャン
縦 コリメ ト
ー レンズ
音叉ユニ ト る共焦点方式で
ッ によ 対物レンズ
音叉 揺動ユニッ
・ ト
高精度測定を実現
Ｘ軸スキャン
横
揺動ユニ ト る ドスキャ
ッ によ ワイ ン方式で
用途と安定性を追求
2
LT-9000
ダブルスキャン
シリーズ
高精度レーザ測定器
用途を広げる多彩な測定モード
形状測定 揺動ユニ ト り、
ッ によ 光軸上の形状を正確に レース
ト
NEW
基板上のクリームはんだの形状測定
測定 PRG0
OUT1:A1
+40.00 GO 形状モード
表示上限
+40.00
表示下限
-40.00
ポジション
ダブルスキャン方式によ レーザ光軸
り A1:DIFF
A2:AVE
上の形状を忠実に レース。
ト ２点間の
鉛フ ーはんだの形状を測定し ッ ブリ ジ、
リ クラ ク、 ッ はんだ不足などの異常を検査します。
段差測定が可能です。
透明体測定 共焦点原理によ 透明体の表面 膜厚 厚みを安定して測定
り、
・・
光ディスクの厚み測定
測定 PRG0
OUT1: +100.00
OUT2: +40.00 変位モード
[+1P ∼+2P]
OUT1
透明体厚
N
E
A
R
第1面
第2面
第3面
光量:100
透明体の表面 膜厚 厚みを測定 ます。
・・ し 光量:105
設定 80
:
らに傾き補正機能を使用するこ
さ とで
光ディ クの中間層の厚みを測定します。
ス
確実な計測が可能にな ます。
り
複数面測定機能 NEW
1面
測定部１台で最大4箇所の各光量
2面
ピーク値を確実に検出。選択した測 3面
定面を高精度に測定します。
4面
角度測定 断面積測定
NEW NEW
ＣＤ
Ｃ とカバーガラスの平行度測定 液晶シール材の断面積測定
スポッ トをスキャンして得られ スポ ト
ッ をスキャ して得られ
ン
た複数ポイ トの測定値から
ン た断面形状から断面積を
相対角度測定機能
新開発の によ ガラス裏
り ガラス基板の貼り合せ用に塗布されたシー
0.01度単位で角度を測定します。 面を基準と 測定します。
したCCD表面の傾きが正確に ル材の形状、断面積を測定します。
測定できます。
5
0.01μmの高分解能であらゆる対象物を測定
従来比 ０
１倍
Ｚ軸スキャン 共焦点と音叉を利用した高精度測定方式
レーザ光は音叉により高速に上下する対物レンズを通り、
対象物上で
焦点を結びます。その時の反射光はピンホールの位置で一点に集光
され受光素子に入光します。入光した瞬間の対物レンズの位置をセン
サで測定する とで、
こ 対象物までの距離を材質 色 傾きの影響を受け
・・縦 ず正確に測定します。
対象物上でピントが合わない時 対象物上でピントが合った時
半導体レーザ 半導体レーザ
受光素子 受光素子
ピンホール ピンホール
受光量小 受光量大
音叉 音叉
同軸方式ならではの高性能測定を実現
高い角度特性 膜厚測定
センサ センサ
受光した光がピンホールを 受光した光がピンホールを
ほとんど通過していません。 通過しています。
用途と安定性を追求する ドスキャ
ワイ ン方式
世界初
Ｘ軸スキャン 揺動ユニットによる高精度スキャニング
高精度な揺動機構によって2μmの
スポットを最大1100μm水平移動
できます。このスキャン方式を採用
することで形状 角度 面積の測定
・ ・ が可能にな ま
り した。
スキャン幅は目的に応じて自由に可変
横 安定性重視
高速応答重視
用途と対象物の表面状態に合わせ
てレーザのス ャ
キ ン幅を可変で ます。
き
またスキャンデータを演算する とで
こ
ワイドスキャンによって様々な測定が可能に 2μm
安定性の高い変位測定を可能に
形状測定 角度測定 2μm
しました。 MAX1100μm
3
現場での使いやすさを追求
優れた操作性で立上げをバ ク ッ
ッアプ
鮮明マイクロスコープ機能 高速オー フ
ト ォーカスで鮮明画像
測定部に超小型ＣＣＤカメラを内蔵。モニタ
上で対象物を約85倍 ※に拡大できます。専用
光学設計により鮮明な画像を得ることができ、
微細ワークに対しての設定が簡単にな ま
り した。
（※専用モニタCA-MN80、
LT-9010M使用時）
ICチップ 10円硬貨鳳凰図
測定値 波形モニタ
・ リアルタイムで測定値と波形を表示
測定 PRG0
OUT1: 測定 PRG0
測定値および波形をリアルタイムに表示する OUT1:
+20.00 GO +30.00 GO
形状モード 形状モード
機能を搭載。
・ 変位 形状データの観測が容易
表示上限 表示上限
に行えます。 +70.00 +100.00
表示下限 表示下限
-70.00 -100.00
ポジション ポジション
A1:DIFF A1:DIFF
A2:AVE A2:AVE
リードはんだ部 刻印部
海外対応の簡単設定メニュー 専用コンソールで簡単操作
専 用コンソールとわかりやすく簡 単な設 定
メニューによって高い操作性を実現します。
また海外での使用も考慮した英文切り換え
機能も搭載 。
日本語 英語
オプシ ンいらずのマルチI/O
ョ 制御の自由度が向上
NEW
従来比１/２ ンパク
のコ トボディにアナログ出力 判定出力2ch バイナリ出力
・
2 ｈ RS-232C出力、
ｃ、 判定出力2ch、 ナ
バイ リ出力
など必要とされるインターフェイスを全て標準
で搭載。
アナログ出力 RS-232C出力
バイナリ出力 判定出力
RS-232C アナログ出力2ch
6
■ 構成機器一覧
コントローラ ＬＴ-9500 コンソール(付属品) 2ｍ延長コー Ｌ
ド Ｔ-Ｃ2 10ｍ延長コー Ｌ
ド Ｔ-Ｃ10
3mコー ド付I/Oコネクタ 取付スタン ド
測定部 ＬＴ-9010Ｍ 測定部 ＬＴ-9030Ｍ
OP-42341 OP-51543
※XYステージは
付属していません。
液晶カラーモニタ CA-MN80 モニタ専用スタン OP-42278
ド RS-232C通信コード 通信コード変換コネクタ
OP-96368
25ピン用OP-96369
9ピン用OP-26401
■ 外形寸法図 コン トローラ部 測定部 65
LT-9500、LT9500SO
（5650） LT-9010M
56
φ6.3 コード長500
60 67
4.5
22
49 137
177
52.5
210 （100）
220 94
3-
φ4.5 37
（取付け穴）
コンソール 28.8
15
2.1 6±0.5
（基準距離）
17.1
47
46
5.5
延長コー ド 33 φ15
LT-C2、LT-C10
17.1 11.2
78 43 43
φ20
112.7
14.7 14
LT-9030M
65
φ6.3 コー （2m、
ド長 10m）
56
φ6.3 コード長500
4 φ4.5
4.5
コード長3m
φ11
22
液晶モニタ パネルカット寸法 52.5
CA-MN80 241.2 255
（取付金具外形） パネル厚
1.0~4.0mm 135
230 3-
φ4.5
151 取付金具
（取付け穴）
78
取付ビス
205
（取付金具外形） +1
169.5
180 128.2
191.2 106 0
30±2
（基準距離）
15
（有効表示部）
46
+1
33
219.5 0
φ26.4
156
6 34
170.9
（有効表示部）
単位（mm）
www.keyence.co.jp/cad
CADデータダウンロードサービス
7
豊富な機能で調整から設定までサポート NEW
測定部 コン
・ トローラ互換 校正機能 20ｍケーブル延長
測定部に Ｃ Ｕ
も Ｐ を内蔵し校正デー な
タど 基準ワークを使用して測定値を校正す コト
ン ローラ、測定部間の通信にデジタ
の測定部情報をコ ト
ン ローラにデジタル る とができ
こ ます。数値による理論校正 ル方式を採用する と り20ｍまで延
こ によ
転送することで測定部互換に対応しま が行えるため、測定内容や対象ワーク 長可能にな ま
り した。取り付け時の自由
した。交換時の面倒な調整は不要です。 に合わせて最適な調整ができます。 度が大きく広がります。
豊富な計測モード 2ch同時測定
ピークホール ボ
ド、 トムホール ピークtoピークホール
ド、 ドなど9 2箇所同時に測定可能。ガラスの表面位置と厚みの測定など
種類の測定モードを搭載。アナログコ ト
ン ローラやPLCを使用 同時に測定し表示する とが可能です。
こ
せず、
用途に合わせたモード設定が可能です。
ガラスの表面位置と厚み測定
基板のそり測定
1ch: ガラス表面位置
2ch: ガラス厚み
測定 PRG0
OUT1: +500.00
OUT2: +150.00 変位モード
[M1 ∼ M2 ]
ピーク値（最大値）
OUT1
変位
N
E
A
ピークtoピーク値 R
ガラス表面
（ばらつき幅）
ボトム値（最小値）
ガラス裏面
測定範囲 光量:190
光量:190
ＯＮ
:130
設定
タイ ング入力
ミ
ＯＦ
Ｆ
ガラス厚み
業界別アプリケーシ ン
ョ
■ 自動車業界
■ 金属業界
■ 印刷業界
■ 樹脂業界
ブレーキディスクの表面形状測定 ダイヤモンドカッターの変位測定 印刷ロールのセル深さ測定 コンタク レンズの厚み測定
ト
8
高精度＆多彩な測定を実現
対象物を選ばず高精度に変位測定
微細ワーク 同軸方式の小スポ ト
ッ レーザによ 微細ポイ ト
り、 ン を測定可能
ワイヤの高さ測定 プル ップの残厚測定
ト
狭ピッチボンディングの 溝の深さや形 状を安 定
ワイヤの高さが確実に測 して測定できます。
定できます。
粗面ワーク レーザスキャン方式がもたらす光量積算機能によ 高い安定性を実現
り、
ウェハのそり測定
測定 PRG0 光量積算OFFの場合
OUT1:
+1.00 GO 変位モード 表面パターンの影響を
うけています。
OUT1
変位
表示上限
+10.00
表示下限
-10.00
パターンがあるウェハの 表面の影響を け
う
ポジション
測定値が乱れています
そ を安定測定できます。
り
測定 PRG0 光量積算ONの場合
OUT1:
+0.10 GO 変位モード パターンの影響を除去し
正確に測定で ていま
き す。
OUT1
変位
表示上限
+10.00
表示下限
-10.00
ポジション 測定値が安定し
そり形状が測定できました
光量積算機能 高安定性を実現 世界初 Ｘ軸（ 揺動
スキャン）
Z
軸
①揺動ユニ ト り2μ
ッ によ mのスポ ト
ッ をX軸方向に振ります。 ︵
受光量
信頼性が高い 変
光量大
位
データ
②Ｘ軸方向の各スポットのデータは変位位置データ 20
光量
位 150 光量
置
（Ｚ軸）
と受光量データの2つのデータに分かれます。 20
デ 150
不安定な 150
光量小
安定した
150 1
ー 50 1
データ 50
③表面が粗い面では受光量が高く安定したデータと タ 150
150
測定値
光量
︶
を
1200
受光量が低く不安定なデータが生じます。光量積算
出力
機能では、
Ｚ軸方向で光量を積算することで光量差 光量
20
20
をさらに大き し、
く 受光量が少ない不安定なデータ
Z軸方
の影 響をほとんど受けることなく安 定した変 位 位 向
光量を で
積算
置を出力します。 測定ワーク
4
■ ロングレンジ プ
タイ
LT-9030M
取付けの自由度を大きく広げる ング ンジタ プ
ロレ イ
必要な時に、必要な量だけ
在庫不要でトータルコス を削減
ト
センシング・計測の
最新ソリューションを探せる
www.keyence.co.jp
安全に関する注意
商品を安全にお使いいただく ため、
ご使用の
前に必ず「取扱説明書」をよくお読みく ださい。
3 0mmのロングレンジに対応
● ロングレンジ 高精度
タイプ タイプ
測 定範囲 −1mm∼＋1ｍｍ
● LT9030M LT9010M
技 術相談、お問合わせ
極 小スポッ 7μm
ト
● お 客 様 の身近な 技術営業が 30mm
分 解能 0.1μm 6mm
● ±1mm
ダイレクトにサポート ±0.3mm
基準距離
APSULT事業部
盛岡 静岡
019-603-0911 054-203-7100
仙台 浜松
■ WEB情報提供サービス
022-224-0911 053-454-0911
郡山 豊田
024-933-0911 0565-25-3211
www.keyence.co.jp/henni
宇都宮 刈谷
測定器の総合サイト
028-627-1911 0566-63-5911
高崎 名古屋
027-328-1911 052-971-3911
■ 測定器選定NAVI
熊谷 一宮
048-527-0311 0586-24-0911 目的別に機器選定が簡単にできます
川越 津
■ 改善事例ライ リ
ブラ
049-240-3211 059-224-0911
浦和 金沢 測定 判別に関する導入事例をご紹介します。
・ 048-832-1711 076-262-0911
■ 測定器技術情報
水戸 滋賀
029-302-0811 077-526-8122
基本的な知識からシステムア プのご提案まで
ッ
柏 京都
04-7165-7011 075-352-0911
幕張 大阪北
043-296-7511 06-6338-1471
上野 大阪中央
03-5806-1911 06-6943-6111
東京 堺
03-5232-0911 072-224-4911
立川 神戸
042-529-4911 078-322-0911
八王子 岡山
0426-48-1101 086-224-1911
川崎 高松
044-220-3011 087-834-8911
横浜中央 広島
045-263-1311 082-261-0911
藤沢 北九州
のお役立ちサイ www.keyence.co.jp/apsult
ト www.keyence.co.jp/apsult
「改善提案」「課題解決」
と
0466-29-0711 093-511-3911
厚木 福岡
インテリジェントセンサ 改善機器による
・ 046-224-0911 092-741-0911
松本 熊本
Application & Consulting〈アプリケーション＆コンサルティング〉
0263-36-3911 0965-43-7911
0120 - 66 - 3000
フリー
ダイヤル
本社 研究所／APSULT事業部
・ 〒533- 8555 大阪市東淀川区東中島 1- 3-14
Tel 06-6379-1131 Fax 06-6379-1130
海外事業部
〒533- 8555 大阪市東淀川区東中島 1- 3-14
Tel 06-6379-2211 Fax 06-6379-2131
仕様は改良のため予告なく変更することがあります。
大豆油インキ使用 本製品は、外国為替および外国貿易管理法の規定によ 戦略物資等輸出規制品に該当しますので、
り、
日本国外に持ち出す際には日本国政府への輸出許可申請等必要な手続きをお取り ださい。
く
0024-1 104-031
非該当品も用意しております。別途お問合せ ださい。
く
■ 仕様
コントローラ
LT-9500 LT-9500SO
（5650）
型式
LT-9010M LT-9030M
対応測定部
あり
測定部互換性
0． ｍ、 ｍ2、 01°
01μ 1μ 0． 0． ｍ
01μ
最小表示単位
99μ ±999999μ 2、
±9999． ｍ、 ｍ ±9999．
99° ±9999． ｍ
99μ
表示範囲
表示
あり
マイクロスコープ機能
表示周期 ※1 10回／秒
±10Ｖ ×2出力、出力インピーダンス100Ω
アナログ出力
タイ ング入力
ミ
無電圧入力
端子台 リセット入力
オートゼロ入力
モニタ専用電源 ※2 24Ｖ Ｃ
Ｄ
判定モー ※3 3段階判定出力 Ｏ Ｔ1、 Ｕ
Ｕ Ｏ Ｔ2用 Ｎ Ｎ
Ｐ オープンコレクタ出力
ド
バイナリ出力 測定データ出力 ｂ ） Ｕ
（21 ｉ Ｏ Ｔ1／Ｏ Ｔ2／形状選択可 Ｎ Ｎ
ｔ Ｕ Ｐ オープンコレクタ出力
ストローブ出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ出力
※3
バイナリモード
バイナリ選択出力 ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ出力
コン トロール
Ｉ/Ｏ バイナリ選択入力 無電圧入力
ＮＮ
Ｐ オープンコレクタ出力
スタビリティ出力
無電圧入力
レーザリモート入力
無電圧入力 ×3入力
プログラム切換入力
測定データ出力および制御入出力（ボー ト115200 ｉ /sまで選択可）
レー ｂｔ
RS-232Cインターフェース
ＮＳ
Ｔ Ｃ準拠 Ｉ コネ
（ＰＮ クタ）
ビデオ出力
変位測定機能、 透明体厚測定機能、角度測定機能、
変位測定機能、透明体厚測定機能、
相対角度測定機能、 測定対象選択機能、
変位モー ※4 測定対象選択機能、ダークアウト機能、 ク機能、
マス
ド
ダークアウト機能、 ク機能、レン
マス ト ドグラフ表示機能、
ト ドグラフ表示機能、 ャ
レン スキ ン幅／間隔変更機能
スキ ン幅／間隔変更機能
ャ
エリア選択（平均、最大、最小、最大−最小、面積）機能、
おもな機能
エリア演算機能、 ャ
スキ ン幅／間隔変更機能、
形状モー ※4
ド
ダークアウト機能、
スムージング機能、アベレージング機能、
形状データ出力機能
光量積算機能、 クロスコープ機能、
マイ 公差判定機能、8プログラムメ リ機能、
モ
共通
校正機能、平均機能、計測機能、 トゼロ機能、
オー 表示言語変更機能
ＡＣ100−240Ｖ±10％ 50/60Ｈｚ
電源電圧
110VA以下
消費電力
定格
Ⅱ
過電圧カテゴリ
2
汚染度
0∼＋35℃
使用周囲温度
耐環境性
35∼85％ Ｈ
Ｒ （結露しないこと）
使用周囲湿度
約2． ｇ
4ｋ
質量
※1 設定によ ます。
り
※2 当社指定モニタ用の専用電源です。
※3 判定モードまたはバイナリモー ら一方を選択。
ドか
※4 変位モードまたは形状モー ら一方を選択。 Ｔ-9500Ｓ （5650）
ドか （Ｌ Ｏ は変位モードのみ）
ＮＮＰ オープンコレクタの定格は、最大30ｍ （30Ｖ以下） 残留電圧0．
Ａ 、 5Ｖ。
無電圧入力の定格は、 Ｎ電圧1Ｖ以下、 Ｆ 電流0． Ａ以下。
Ｏ ＯＦ 6ｍ
測定部 測定部 −コントローラ間コー （延長コー
ド ド）
高精度タイプ ロングレンジタイプ 型式 LT-C2 LT-C10
型式
LT-9010M LT-9030M コード長 2m 10m
測定範囲 質量 約200g 約700g
±0．
3mm ±1mm
基準距離 6mm 30mm ※ 合計 ０
２ ｍ以下で３本まで接続できます。
赤色半導体レーザ
波長 670nm
光源 出力 最大170μＷ
クラス クラス1
スポット径 約φ2μm 約φ7μm
0∼1100μ （6段階）
ｍ / 0∼560μ （6段階）
ｍ /
スキャン幅/間隔
1∼10μ （4段階）
ｍ 1∼8μ （4段階）
ｍ
分解能 ＊1 0．
01μm 0．
1μm
直線性 ＊1 ±0． ｏ ＦＳ．
5％ ｆ ． ±0． ｏ ＦＳ．
3％ ｆ ．
640μ ∼356ｍ（14段階） 2
＊ 640μ ∼187ｍ（14段階） 3
＊
サンプリング周期 ｓ ｓ ｓ ｓ
温度特性 ±0． ｏ ＦＳ．
5％ ｆ ． ±0． ｏ ＦＳ．
25％ ｆ ．
あり
マイクロ
視野 1．
3ｍｍ×1．
05ｍｍ 2．
5ｍｍ×2．
0ｍｍ
スコープ機能
照明光源 赤外 Ｅ （波長870nm）
ＬＤ
使用周囲照度 白熱ランプ/蛍光灯 10000 ｘ
： 以下
耐環境性 使用周囲温度 0∼＋35℃
使用周囲湿度 35∼85％ Ｈ
Ｒ （結露しないこと）
質量 約400ｇ 約500ｇ
＊1 測定対象が鏡面体で変位モー スキ ン幅/間隔120μ
ド、 ャ ｍ/2μ 8回平均に設定して測定した場合の値。
ｍ、
＊2 サンプリング周期には個体差があ ます。Ｉ Ｅ ドＯ Ｆ
り ＦＮ モー Ｆ の場合。
＊3 サンプリング周期には個体差があ ます。
り
9
翻訳キーワード集
