高速 高精度デジ
・ タル変位センサ
EX-Vシリーズ
■ 分 解能0.02％ of F.S.
■ 超 高速25μsサンプリング
■ 耐環境IP67仕様
■ 多彩な計測モード
■ 仕 様
センサヘッド
形状 寸法 測定範囲 分解能 型式
円柱型 ネジ型 円柱＋ネジ型 薄型
形状
φ. ×８
５４ １ mm M ０ １ mm φ ４.５ ２
１×８ １ × ０mm φ ２ ３ mm １ × ０ ４.８mm
２×５ ４ ３×
センサヘッド EX-305V EX-110V EX-416V EX-422V EX-614V
型式
アンプユニット 0∼1mm
EX-V01 EX-V02 EX-V05 EX-V10 EX-V64 φ5.4×18mm 0.4 m
μ EX-305V
測定範囲 ０１
∼ mm ０２∼ mm ０５∼ mm ０ １ mm
∼０ ０４
∼ mm
A/D変換方式 逐次変換方式
表示範囲 − ９９ ∼ ９９
１９９ １９９
直線性 ± . ％ of F.S.
０３
分解能 ４
（６ 回平均時） ０４. μm ０４
. μm １μm ２μm 1μm 0∼2mm
M10×18mm 0.4 m
μ EX-110V
最高 ０ ０ 回/秒※１
サンプリ ング速度 ４００
表示速度/方式 ２ 回/秒/ セグメ ト 色LED
０ ７ ン２
オーバー レンジ警告 ±FFFFを表示
タイ ング入力
ミ
リッ
セ ト入力
0∼5mm
φ14.5×20mm 1m
μ EX-416V
制御入力 オートゼロ入力 NPNオープンコレクタまたは無電圧接点信号
判定出力禁止入力
同期/外部設定入力
設定方式 上下限 段設定× パターン
２ ４ （切換）
信号 NPNオープンコ レクタ（HIGH、 GO、 LOW） １ ０ （４ V以下）
最大 ０ mA ０
制御出力
0∼10mm
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms φ22×35mm 2m
μ EX-422V
オフディ レイ時間 ６ ms ON/OFF切換可）
０（
出力電圧 ±V５
アナログ
インピーダンス １０
０Ω
電圧出力
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms
００ ％ of F.S./℃※２
温度特性 .７ 0∼4mm
14×30×4.8mm 1m
μ EX-614V
電源電圧/消費電流
定格 DC ４ １ ％、 ッ （P-P）０
２ V± ０ リ プル １ ％以下/ ４ mA以下
２０
センサヘッド
使用周囲 −０１ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
６ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
アンプユニット
温度/湿度 ０ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
５ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
耐環境性
耐振動 １∼５
０ ５ Hz 複振幅 . mm、 Y、
１５ X、 Z各方向 時間
２
センサヘッ ド
約５
４g 約５
５g 約５
７g 約０g
２０ 約０
６g
質量 （コー ３m含む）
ド
約３g
２５
アンプユニッ ト
FLL機能、デジタルフ ルタ機能、 トゼロ機能、
ィ オー オフセ ト機能、
ッ
主な機能 演算機能、 計測モー （１ 種類） 判定値メ リ
ド５ 、 モ ー機能 組）
（４ 、
小数点位置 表示桁変更機能、
・ 各種エラー表示機能など
※１ デジタルフ ルタ
ィ を使用した場合は、０ ０ 回/秒 ※ 対象物との距離が測定範囲の / 以内の時
２００ ２ １２
※３ 上記仕様は、 検出対象物が鉄 ４ C、
（S ５ SS400、＝ mm）
t１ の場合です。
アルミ 銅 ステンレスなどの場合は別途お問い合わせ ださい。
・・ く
24 www.keyence.co.jp/henni
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・ タル変位センサ
EX-Vシリーズ
■ 分 解能0.02％ of F.S.
■ 超 高速25μsサンプリング
■ 耐環境IP67仕様
■ 多彩な計測モード
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 寸法 測定範囲 分解能 型式
円柱型 ネジ型 円柱＋ネジ型 薄型
形状
φ. ×８
５４ １ mm M ０ １ mm φ ４.５ ２
１×８ １ × ０mm φ ２ ３ mm １ × ０ ４.８mm
２×５ ４ ３×
センサヘッド EX-305V EX-110V EX-416V EX-422V EX-614V
型式
アンプユニット 0∼1mm
EX-V01 EX-V02 EX-V05 EX-V10 EX-V64 φ5.4×18mm 0.4 m
μ EX-305V
測定範囲 ０１
∼ mm ０２∼ mm ０５∼ mm ０ １ mm
∼０ ０４
∼ mm
A/D変換方式 逐次変換方式
表示範囲 − ９９ ∼ ９９
１９９ １９９
直線性 ± . ％ of F.S.
０３
分解能 ４
（６ 回平均時） ０４. μm ０４
. μm １μm ２μm 1μm 0∼2mm
M10×18mm 0.4 m
μ EX-110V
最高 ０ ０ 回/秒※１
サンプリ ング速度 ４００
表示速度/方式 ２ 回/秒/ セグメ ト 色LED
０ ７ ン２
オーバー レンジ警告 ±FFFFを表示
タイ ング入力
ミ
リッ
セ ト入力
0∼5mm
φ14.5×20mm 1m
μ EX-416V
制御入力 オートゼロ入力 NPNオープンコレクタまたは無電圧接点信号
判定出力禁止入力
同期/外部設定入力
設定方式 上下限 段設定× パターン
２ ４ （切換）
信号 NPNオープンコ レクタ（HIGH、 GO、 LOW） １ ０ （４ V以下）
最大 ０ mA ０
制御出力
0∼10mm
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms φ22×35mm 2m
μ EX-422V
オフディ レイ時間 ６ ms ON/OFF切換可）
０（
出力電圧 ±V５
アナログ
インピーダンス １０
０Ω
電圧出力
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms
００ ％ of F.S./℃※２
温度特性 .７ 0∼4mm
14×30×4.8mm 1m
μ EX-614V
電源電圧/消費電流
定格 DC ４ １ ％、 ッ （P-P）０
２ V± ０ リ プル １ ％以下/ ４ mA以下
２０
センサヘッド
使用周囲 −０１ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
６ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
アンプユニット
温度/湿度 ０ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
５ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
耐環境性
耐振動 １∼５
０ ５ Hz 複振幅 . mm、 Y、
１５ X、 Z各方向 時間
２
センサヘッ ド
約５
４g 約５
５g 約５
７g 約０g
２０ 約０
６g
質量 （コー ３m含む）
ド
約３g
２５
アンプユニッ ト
FLL機能、デジタルフ ルタ機能、 トゼロ機能、
ィ オー オフセ ト機能、
ッ
主な機能 演算機能、 計測モー （１ 種類） 判定値メ リ
ド５ 、 モ ー機能 組）
（４ 、
小数点位置 表示桁変更機能、
・ 各種エラー表示機能など
※１ デジタルフ ルタ
ィ を使用した場合は、０ ０ 回/秒 ※ 対象物との距離が測定範囲の / 以内の時
２００ ２ １２
※３ 上記仕様は、 検出対象物が鉄 ４ C、
（S ５ SS400、＝ mm）
t１ の場合です。
アルミ 銅 ステンレスなどの場合は別途お問い合わせ ださい。
・・ く
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高速 高精度デジ
・ タル変位センサ
EX-Vシリーズ
■ 分 解能0.02％ of F.S.
■ 超 高速25μsサンプリング
■ 耐環境IP67仕様
■ 多彩な計測モード
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 寸法 測定範囲 分解能 型式
円柱型 ネジ型 円柱＋ネジ型 薄型
形状
φ. ×８
５４ １ mm M ０ １ mm φ ４.５ ２
１×８ １ × ０mm φ ２ ３ mm １ × ０ ４.８mm
２×５ ４ ３×
センサヘッド EX-305V EX-110V EX-416V EX-422V EX-614V
型式
アンプユニット 0∼1mm
EX-V01 EX-V02 EX-V05 EX-V10 EX-V64 φ5.4×18mm 0.4 m
μ EX-305V
測定範囲 ０１
∼ mm ０２∼ mm ０５∼ mm ０ １ mm
∼０ ０４
∼ mm
A/D変換方式 逐次変換方式
表示範囲 − ９９ ∼ ９９
１９９ １９９
直線性 ± . ％ of F.S.
０３
分解能 ４
（６ 回平均時） ０４. μm ０４
. μm １μm ２μm 1μm 0∼2mm
M10×18mm 0.4 m
μ EX-110V
最高 ０ ０ 回/秒※１
サンプリ ング速度 ４００
表示速度/方式 ２ 回/秒/ セグメ ト 色LED
０ ７ ン２
オーバー レンジ警告 ±FFFFを表示
タイ ング入力
ミ
リッ
セ ト入力
0∼5mm
φ14.5×20mm 1m
μ EX-416V
制御入力 オートゼロ入力 NPNオープンコレクタまたは無電圧接点信号
判定出力禁止入力
同期/外部設定入力
設定方式 上下限 段設定× パターン
２ ４ （切換）
信号 NPNオープンコ レクタ（HIGH、 GO、 LOW） １ ０ （４ V以下）
最大 ０ mA ０
制御出力
0∼10mm
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms φ22×35mm 2m
μ EX-422V
オフディ レイ時間 ６ ms ON/OFF切換可）
０（
出力電圧 ±V５
アナログ
インピーダンス １０
０Ω
電圧出力
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms
００ ％ of F.S./℃※２
温度特性 .７ 0∼4mm
14×30×4.8mm 1m
μ EX-614V
電源電圧/消費電流
定格 DC ４ １ ％、 ッ （P-P）０
２ V± ０ リ プル １ ％以下/ ４ mA以下
２０
センサヘッド
使用周囲 −０１ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
６ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
アンプユニット
温度/湿度 ０ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
５ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
耐環境性
耐振動 １∼５
０ ５ Hz 複振幅 . mm、 Y、
１５ X、 Z各方向 時間
２
センサヘッ ド
約５
４g 約５
５g 約５
７g 約０g
２０ 約０
６g
質量 （コー ３m含む）
ド
約３g
２５
アンプユニッ ト
FLL機能、デジタルフ ルタ機能、 トゼロ機能、
ィ オー オフセ ト機能、
ッ
主な機能 演算機能、 計測モー （１ 種類） 判定値メ リ
ド５ 、 モ ー機能 組）
（４ 、
小数点位置 表示桁変更機能、
・ 各種エラー表示機能など
※１ デジタルフ ルタ
ィ を使用した場合は、０ ０ 回/秒 ※ 対象物との距離が測定範囲の / 以内の時
２００ ２ １２
※３ 上記仕様は、 検出対象物が鉄 ４ C、
（S ５ SS400、＝ mm）
t１ の場合です。
アルミ 銅 ステンレスなどの場合は別途お問い合わせ ださい。
・・ く
24 www.keyence.co.jp/henni
高速 高精度デジ
・ タル変位センサ
EX-Vシリーズ
■ 分 解能0.02％ of F.S.
■ 超 高速25μsサンプリング
■ 耐環境IP67仕様
■ 多彩な計測モード
■ 仕 様
センサヘッドバリエーシ ン
ョ
形状 寸法 測定範囲 分解能 型式
円柱型 ネジ型 円柱＋ネジ型 薄型
形状
φ. ×８
５４ １ mm M ０ １ mm φ ４.５ ２
１×８ １ × ０mm φ ２ ３ mm １ × ０ ４.８mm
２×５ ４ ３×
センサヘッド EX-305V EX-110V EX-416V EX-422V EX-614V
型式
アンプユニット 0∼1mm
EX-V01 EX-V02 EX-V05 EX-V10 EX-V64 φ5.4×18mm 0.4 m
μ EX-305V
測定範囲 ０１
∼ mm ０２∼ mm ０５∼ mm ０ １ mm
∼０ ０４
∼ mm
A/D変換方式 逐次変換方式
表示範囲 − ９９ ∼ ９９
１９９ １９９
直線性 ± . ％ of F.S.
０３
分解能 ４
（６ 回平均時） ０４. μm ０４
. μm １μm ２μm 1μm 0∼2mm
M10×18mm 0.4 m
μ EX-110V
最高 ０ ０ 回/秒※１
サンプリ ング速度 ４００
表示速度/方式 ２ 回/秒/ セグメ ト 色LED
０ ７ ン２
オーバー レンジ警告 ±FFFFを表示
タイ ング入力
ミ
リッ
セ ト入力
0∼5mm
φ14.5×20mm 1m
μ EX-416V
制御入力 オートゼロ入力 NPNオープンコレクタまたは無電圧接点信号
判定出力禁止入力
同期/外部設定入力
設定方式 上下限 段設定× パターン
２ ４ （切換）
信号 NPNオープンコ レクタ（HIGH、 GO、 LOW） １ ０ （４ V以下）
最大 ０ mA ０
制御出力
0∼10mm
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms φ22×35mm 2m
μ EX-422V
オフディ レイ時間 ６ ms ON/OFF切換可）
０（
出力電圧 ±V５
アナログ
インピーダンス １０
０Ω
電圧出力
応答時間 ００ ５ （最高速時）
. ７ ms
００ ％ of F.S./℃※２
温度特性 .７ 0∼4mm
14×30×4.8mm 1m
μ EX-614V
電源電圧/消費電流
定格 DC ４ １ ％、 ッ （P-P）０
２ V± ０ リ プル １ ％以下/ ４ mA以下
２０
センサヘッド
使用周囲 −０１ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
６ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
アンプユニット
温度/湿度 ０ ∼＋ ０ ３ ∼ ５
５ ℃/ ５ ８ ％RH （結露しないこ と）
耐環境性
耐振動 １∼５
０ ５ Hz 複振幅 . mm、 Y、
１５ X、 Z各方向 時間
２
センサヘッ ド
約５
４g 約５
５g 約５
７g 約０g
２０ 約０
６g
質量 （コー ３m含む）
ド
約３g
２５
アンプユニッ ト
FLL機能、デジタルフ ルタ機能、 トゼロ機能、
ィ オー オフセ ト機能、
ッ
主な機能 演算機能、 計測モー （１ 種類） 判定値メ リ
ド５ 、 モ ー機能 組）
（４ 、
小数点位置 表示桁変更機能、
・ 各種エラー表示機能など
※１ デジタルフ ルタ
ィ を使用した場合は、０ ０ 回/秒 ※ 対象物との距離が測定範囲の / 以内の時
２００ ２ １２
※３ 上記仕様は、 検出対象物が鉄 ４ C、
（S ５ SS400、＝ mm）
t１ の場合です。
アルミ 銅 ステンレスなどの場合は別途お問い合わせ ださい。
・・ く
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